升降销驱动装置以及具有该装置的平板显示器制造设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种升降销驱动装置以及具有该装置的平板显示器（ＦＰＤ）制备设备。升降销驱动装置能利用单台电动机精确地使多个升降销移动，从而实现简单的升降销驱动结构以及简单的电动机控制。这使制造设备室主体下方的空间可以按多种方式设计，从而减小设备成本以及产品生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于半导体/平板显示器(FPD)制造设备的升降销模块。
技术介绍
平板显示器(FPD)可以包括例如LCD (液晶显示器)、PDP (等离子 显示板)、OLED (有机发光二极管)。用于制造FPD的制造设备可以包括 多个真空处理装置，例如负载锁定室、输送室和加工室，用于处理基板 表面。负载锁定室从外部接收原始基板，并将加工后的基板输送到外部。输 送室可以包括在各个室之间输送基板的输送机器人，从而将原始基板从 负载锁定室输送到加工室，并将加工后的基板从加工室返回到负载锁定 室。在加工室中可以加工基板，例如在基板上形成各个层，或者在真空 下利用等离子或热能蚀刻基板。用于升降基板的升降销可以装在各个室 中，便于从各个室装载和卸载基板。相应地，基板的稳定移动和安置可 以简化制造工艺并产生较高质量的FPD。附图说明下面参考下附图详细描述本专利技术实施例，其中相同的参考数字代表相同的零件。在附图中图1是示例性加工室的剖视图2是图1所示的示例性加工室的升降销驱动装置的立体图； 图3是另一个示例性加工室的剖视图4是根据这里广义描述的第一实施例、具有升降销驱动装置的加工 室的剖视图5是图4所示升降销驱动装置的平面图6是图4和5所示升降销驱动装置的立体图7是根据这里广义描述的第二实施例的升降销驱动装置的立体图； 图8是根据这里广义描述的第三实施例的升降销驱动装置的立体图9是根据这里广义描述的第四实施例、具有升降销驱动装置的加工 室的剖视图10是图9所示升降销驱动装置的立体图11是根据这里广义描述的第五实施例、具有升降销驱动装置的加 工室的剖视图12是图11所示升降销驱动装置的平面图13是图11和12所示的一部分升降销驱动装置的局部立体图； 图14是根据这里广义描述的第六实施例的一部分升降销驱动装置的 局部立体图；以及图15是根据这里广义描述的第七实施例的一部分升降销驱动装置的局部立体图。具体实施例方式下面将详细参考各个实施例，其例子图示在附图中。无论何处，在所 有附图和描述中使用的相同参考数字是指相同或类似的零件。图1所示的示例性加工室可以包括室主体10、以及能保持室主体10内真空状态的门11。加工室还可以包括上电极组件12和下电极组件14。 下电极组件14可以在其上支撑基板S。上电极组件12可以包括将加工气 体喷射到基板S上的喷射头(未图示)。下电极组件14可以包括沿垂直方向移动基板S的多个升降销20，以 便装载或卸载基板S。下电极组件14可以包括多个销孔16，升降销20 可移动地从销孔经过。因此，升降销20可以在各个销孔16内向上或向 下移动，从而使位于下电极组件14的上表面上的基板S移动。例如，当基板S已经通过输送单元(未图示)从外部输送到室主体 IO内时，升降销20可以升高到预定高度以接收基板S，并将位于其上的 基板S保持在预定高度。在输送单元移出室主体10之后，升降销20可 以使基板S下降、并将基板S装到下电极组件14的上表面上。同样，为 了将加工后的基板S移到室主体10外部，升降销20可以将加工后的基 板S升离下电极组件14的上表面，从而将基板S输出到室主体10外部。升降销20可以被同时移动多个升降销20的升降销驱动装置30驱动。 升降销驱动装置30可以包括销板35，多个升降销20可以固定到销板上。 升降销驱动装置30也可以包括驱动电动机32和滚珠丝杠33，以使销板 35通过滚珠丝杠型驱动方法向上或向下移动。波纹管22可以环绕暴露在 室主体10的下表面与销板35的上表面之间的每个升降销20，从而保持室主体IO内的真空状态。为了使销板35和多个升降销20均匀而稳定地向上或向下移动，升降 销驱动装置30可以包括两台或多台恰当定位的驱动电动机32，如图1和 2所示。这允许实现较大FPD基板S的加工，因为否则仅使用一台驱动电 动机32难以均匀和稳定地移动图1和2所示的销板35以及升降销20。为了将升降销驱动装置30的升降销20均匀而稳定地同时移动到预定 高度，应该精确地控制驱动电动机32。当使用两台驱动电动机32时，非 常难以同步地控制两台电动机32以使电动机32同时将升降销20移动到 精确的相同高度。如果两台电动机32未被精确地控制，结果造成销板35 可能处于倾斜位置时，在升降销20之间产生相位差，这可能导致在装载 或卸载过程中损坏基板S。因此，当升降销20具有这种相位差时难以执 行高质量的基板处理。补偿控制系统可以用于监测和控制电动机32并补偿升降销20的任何 相位差。但是，使用这种补偿控制系统使制造装置的控制结构变复杂并 增大设备成本。根据所用的等离子产生方法，加工室可以基本分成PE (等离子增强) 型室和RIE (反应离子蚀刻)型室。在RIE型加工室中，用于施加RF功 率的电子模块可装在室主体10下方的空间中。因此，在这种RIE型加工 室的室主体10下方的空间中安装两台驱动电动机32受到限制，并且将 升降销驱动装置30改变到在室主体10下方的空间中运行，如图3所示。 其中升降销20和波纹管22被延长的这种类型安装为例如匹配箱R的电 子模块在室主体10下方的安装提供了空间。但是，由于升降销20和波 纹管22较长，升降销驱动装置30的运行可能变得不稳定。图4到6表示的加工室可以包括室主体50、分别处于室主体50的上 和下部分的上电极组件52和下电极组件54。室主体50可以包括门51， 用于接收和排出基板S。上电极组件52可以包括喷射头(未图示)，用于 将加工气体喷射到基板S上表面并处理基体S的表面。下电极组件54可 以起到基板支撑单元的功能，从而支撑在室主体50中进行表面处理的基 板S。多个升降销60可以垂直穿过下电极组件54，并使基板S在装载或卸 载过程中向上或向下移动。为了使升降销60穿过下电极组件54，下电极 组件54可以包括具有多个销孔56的销穿过单元。升降销驱动装置70可以设置室主体50下方的空间中。室主体50也 可以包括多个销孔58，销孔58与销孔56—起形成销穿过单元，并且使 升降销60穿过室主体50下端，从而使升降销驱动装置70可以操纵升降 销60。升降销驱动装置70可以包括多个凸轮80，多个凸轮80由一台驱动 电动机71操纵，从而使升降销60向上或向下移动。如图5和图6所示， 驱动轴75可以设置在室主体50下方的空间中，成如图所示的具有4根 驱动轴75的方形排列，或者适合的其它排列。动力传动单元可以设置在 例如4根驱动轴75方形排列的每个角部上，使动力传动单元同时旋转。 每个动力传动单元可以包括例如伞齿轮77，它们相互啮合以提供旋转。驱动轴75之一 (在附图中，位于左侧的驱动轴75L)可以通过具有 蜗杆72和蜗轮74的蜗轮单元从驱动电动机71接收旋转动力。蜗轮单元可以位于驱动电动机71和驱动轴75L之间，从而电动机71的动力可以 垂直地传递到驱动轴75L。当驱动电动机71运行时，蜗杆72以及与蜗杆72啮合的蜗轮74旋转。 这引起通过伞齿轮77彼此连接的4根驱动轴75同时旋转，从而向上或 向下移动升降销60。因此，图4到图6所示的蜗轮型运力传动机构可以 在降低的驱动电动机71转速下传递动力，而不需要安装另外的减速齿轮。在图4到图6所示的实施例中，3个凸轮80设置在2根驱动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种升降销驱动装置，包括：驱动结构，所述驱动结构包括：至少一根轴；连接到所述至少一根轴上的至少一个凸轮；以及构造成使所述至少一根轴旋转的驱动器；以及连接到所述驱动结构的多个升降销，其中，所述多个升降销构造成在所述驱动器使所述至少一根轴旋转时穿过位于所述驱动结构上方的基板支撑部垂直地移动。

【技术特征摘要】
KR 2006-11-10 10-2006-0111227;KR 2006-11-10 10-2001.一种升降销驱动装置，包括驱动结构，所述驱动结构包括至少一根轴；连接到所述至少一根轴上的至少一个凸轮；以及构造成使所述至少一根轴旋转的驱动器；以及连接到所述驱动结构的多个升降销，其中，所述多个升降销构造成在所述驱动器使所述至少一根轴旋转时穿过位于所述驱动结构上方的基板支撑部垂直地移动。2. 根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述多个升降销构造 成在所述驱动器使所述至少一根轴旋转时穿过所述基板支撑部同时向上 和同时向下移动。3. 根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述多个升降销的每 一个的上端与位于所述基板支撑部上的基板的下表面接触，从而当所述 多个升降销穿过所述基板支撑部垂直地移动时升高或降低所述基板。4. 根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述至少一根轴包括 多根轴，所述多根轴在它们各自端部连接在一起，以形成多根轴的多边 形布置，并限定敞开的中心部分。5. 根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述多个升降销的每 一个通过凸轮连接到所述多根轴中的一根轴上。6. 根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述驱动器包括电动机；以及连接在所述电动机与所述多根轴中的一根轴之间的驱动轴，所述驱动 轴构造成将旋转力从电动机传递到所述多根轴中的所述一根轴，以使所 述多根轴中的所述一根轴旋转。7. 根据权利要求6所述的装置，其特征在于，驱动轴通过蜗轮单元 或伞齿轮单元连接到所述多根轴中的所述一根轴上。8. 根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述驱动轴和所述电 动机位于所述多根轴的多边形布置的外周边的外侧。9. 根据权利要求6所述的装置，其特征在于，还包括动力传动单元， 所述动力传动单元构造成用于将由所述多根轴中的所述一根轴接收的旋 转力传递到所述多根轴的其余轴，使得所述多根轴一起旋转，以使所述 驱动结构向上和向下移动。10. 根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述动力传动单元包 括伞齿轮，所述伞齿轮设置在位于所述多根轴的相应端部之间的连接处， 使得所述多根轴中的所述一根轴的旋转使所述多根轴的其余轴旋转。11. 根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述多根轴的旋转 根据所述驱动轴的旋转方向使固定到所述多根轴上的所述多个升降销同 时向上或同时向下移动。12. 根据权利要求9所述的装置，其特征在于，还包括位于所述多根 轴和所述多个升降销之间的销板，所述多个升降销的每一个的下端固定 到所述销板的上表面上，所述销板的下表面连接到所述多根轴，并且所 述多根轴的旋转根据所述驱动轴的旋转方向使所述销板和固定到所述销 板上的所述多个升降销同时向上或同时向下移动。13. 根据权利要求12所述的装置，其特征在于，还包括横过所述销板敞开中心部分延伸的辅助销板、以及固定到所述辅助销板上的辅助升 降销，所述辅助销板和所述辅助升降销构造成分别与所述销板和所述多 个升降...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙亨圭，
申请(专利权)人：爱德牌工程有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]