本发明公开了一种用于附着基板的设备，该设备在上腔室与下腔室之间设置有缓冲件。该缓冲件减少了对腔室之间的密封空间进行真空排气期间施加于升降装置的载荷。因此，可以减小施加于升降螺杆以及支撑腔室的框架上的力，从而延长基板附着设备的使用寿命，并...

提供了一种用于将基板引入处理室的系统和方法。半导体或平板显示器的制造设备的台面上是否存在基板可以通过用于加载和卸载基板抬升销来确定，从而可以防止引入另一基板，并且基板的破裂状态或错误加载状态可以被检测。闸门阀的开闭也可以被确定，并且可以...

本发明公开了一种用于附着基板的设备，该设备包括用于支撑第一基板的第一腔室以及用于支撑第二基板的第二腔室。主密封件设置于第一腔室与第二腔室之间以保持腔室之间的密封和间隙。对准控制部设置于第一腔室与第二腔室之间以便保持密封，并且还使第二腔室...

提供了用于等离子体处理装置的基片损伤防止系统和方法。该系统可包括：基片可安装于其上的下电极、可将惰性气体供应至其上可安装基片的下电极上表面的惰性气体供应单元、以及可将空气供应至下电极上表面的空气供应单元。惰性气体可供应于下电极和基片之间...

本发明提供一种升降销驱动装置以及具有该装置的制造设备。所述装置包括驱动单元、多条同步带和多个带轮，其中驱动单元包括驱动销板的单台驱动电动机。多个升降销支撑在其上的销板由通过同步带与电动机联合运行的带轮移动。张紧器控制同步带的张力。张紧器...

本发明提供一种起模针模块，为了防止工艺气体在工艺过程中通过起模针孔渗入，引发异常放电的现象，该起模针模块具备起模针，该起模针紧贴着位于下部电极的起模针孔。

在此公开了一种平板显示器（ＦＰＤ）的制造系统，其包括一个或多个沿成行路线连续地移动衬底的衬底传送线、以及多个彼此叠置以用于载入和卸下完成处理后的衬底的载荷锁定腔，从而对可衬底进行有效的处理。

一种平板显示器制造设备的起模针模块，用于基板处理装置中，该基板处理装置包括：下部电极，基板置于其上；以及支撑置于所述下部电极上的所述基板的起模针模块，其中所述起模针模块包括上部起模针，其穿过形成于所述下部电极上的起模针孔上下运动以支撑所...

一种衬底处理设备，包括第一和第二传送室，用于同第一和第二传送室中的相应者交换一个或多个衬底的第一和第二负载闭锁室，以及位于第一和第二负载闭锁室之间用于将一个或多个衬底传送到第一和第二负载闭锁室的衬底传送单元。

一种衬底处理设备包括：具有处理空间的腔室；所述腔室中用以支撑衬底的支撑板；在所述支撑板上方的喷淋头，所述喷淋头具有下部开放的主体以及连接到所述主体的下部用以在所述支撑板上方供应源气体的喷射板。所述设备还包括具有传感器和弹性件的感测单元。...

一种衬底支承设备，包括隔开对应于或者超过衬底宽度的距离的第一轴和第二轴以及用以支承衬底的至少一根线材。所述线材具有结合于第一轴和第二轴的相应者的端部。所述线材被升起和降下以将衬底放置到衬底处理设备中的下电极上，并当处理完成时移走衬底。

一种衬底处理设备，包括：第一室；第二室，第二室邻近第一室设置以在第一室和第二室之间形成处理空间；支承单元，支承第二室，其中在第一室和第二室之间存在间隙；以及真空单元，真空单元将处理空间置于真空状态，处理空间在真空状态下被密封。

一种平板显示器（ＦＰＤ）制造设备，其构造能容易地处理大尺寸基板同时实现容易的制造、运输、运转和修理过程。

一种用于密封荧光灯的方法，执行第一加热操作，以加热里面涂敷了荧光材料的玻璃管上的区域，拉延在被加热区域处的玻璃管，然后执行第二加热操作，以加热玻璃管的被拉延区域。

本发明公开了一种能够完成预定处理如真空时在衬片上沉积或者蚀刻的平板显示器制造装置。所述平板显示器制造装置具有一个置于平板显示器制造装置外部的销支承构件。销支承构件连接到多个抬升销以同时向上或者向下驱动所述抬升销，所述多个抬升销将一衬片从...

本发明提供一种平面荧光灯。该平面荧光灯包括一单一的板。因此，该平面荧光灯不需要设置其他另外的光学组件，结构安全，平面荧光灯的亮度高，并且平面荧光灯效率也高。本发明还提供了一种制造这样一种平面荧光灯的方法。

公开了一种结合ＰＤＰ衬底的设备和方法，更具体地，公开了一种在充满发光气体的结合腔内结合ＰＤＰ衬底的设备和方法，这样不需要将结合腔内气体排至外部以及将发光气体注入结合腔的步骤和设备，从而使得ＰＤＰ衬底能快速结合。

一种应用于一密封切割过程的荧光灯密封切割机，其用于在制造用于液晶显示器（ＬＣＤ）的背光设备的荧光灯的过程中去除密封的荧光灯的多余部分，以及一种密封切割方法。该密封切割机包括：一个在移动水平放置的荧光灯的同时进行密封切割过程的卧式密封切割...

一种平板显示器（ＦＰＤ）制造设备，其构造能容易地处理大尺寸基板同时实现容易的制造、运输、运转和修理过程。

本发明提供了一种衬底贴合设备与方法。衬底贴合设备可以包括：上腔室、下腔室、上夹具、下夹具、位置控制器以及排气器件。下腔室可以贴近上腔室以在其间限定贴合空间。上夹具可以设置在上腔室的下部以在其上安放第一衬底。下夹具可以凹入下腔室的上表面以...