【技术实现步骤摘要】
新型焊臂结构
本专利技术涉及半导体固晶
,特别涉及一种固晶机用新型焊臂结构。
技术介绍
半导体固晶装置在进行作时需要将固晶用的物料通过上料装置输送至相应位置后,由机械手将晶体,如LED晶圆移动到基板对应位置进行固定。现有的半导体固晶装置焊臂将晶圆与基板之间键合时无法精确地控制键合压力,造成部分晶圆损坏,因而键合的稳定性和可靠性不高。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供一种新型焊臂结构,该新型焊臂结构可以避免键合时压坏晶圆,提高晶圆键合的稳定性和可靠性。为了解决上述问题,本专利技术提供一种新型焊臂结构,该新型焊臂结构包括与焊臂连接座固定的焊臂支座,在该焊臂支座的端部设有滑块和使滑块上下滑动的气缸,该滑块设有杠杆臂和晶圆吸嘴,设有收纳空腔的托臂与焊臂支座连接,该收纳空腔内设有与控制模块连接的压力传感器,在该托臂与杠杆臂之间设有复位弹簧。进一步地说,所述杠杆臂上设有销钉,所述复位弹簧套设于该销钉之上。进一步地说,所述杠杆臂上还设有接触螺钉,该接触螺钉一端与压力传感器配合。本专利技术新型焊臂结构,包括与焊臂连接座固定的焊臂支座,在该焊臂支座的端部设有滑块和使滑块上下滑动的气`缸,该滑块设有杠杆臂和晶圆吸嘴,设有收纳空腔的托臂与焊臂支座连接,该收纳空腔内设有与控制模块连接的压力传感器,在该托臂与杠杆臂之间设有复位弹簧。工作时,由所述压力传感器适时将杠杆臂与托臂之间的压力反馈给控制模块,并控制气缸控制晶圆吸嘴的位置。由于该托臂与焊臂支架固定,杠杆臂与晶圆吸嘴都固定在滑块上同步移动,可以避免在压力较大时键合损坏晶圆,提高焊臂与晶圆夹持的稳 ...
【技术保护点】
新型焊臂结构,包括与焊臂连接座固定的焊臂支座,其特征在于:在该焊臂支座的端部设有滑块和使滑块上下滑动的气缸,该滑块设有杠杆臂和晶圆吸嘴,设有收纳空腔的托臂与焊臂支座连接,该收纳空腔内设有与控制模块连接的压力传感器,在该托臂与杠杆臂之间设有复位弹簧。
【技术特征摘要】
1.新型焊臂结构,包括与焊臂连接座固定的焊臂支座,其特征在于: 在该焊臂支座的端部设有滑块和使滑块上下滑动的气缸,该滑块设有杠杆臂和晶圆吸嘴,设有收纳空腔的托臂与焊臂支座连接,该收纳空腔内设有与控制模块连接的压力传感器,在该托臂与杠杆臂...
【专利技术属性】
技术研发人员:区大公,
申请(专利权)人:深圳市恒睿智达科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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