【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种紫外光/臭氧表面清洗与氧化改性真空设备,其特征在于,包括真空腔室、紫外光源、水冷系统、样品架、真空系统和气压监控系统,其中:真空腔室主要由双层材料制作:内层为高反射铝板,外层为不锈钢加强筋;紫灯光源包括紫外灯管和控制电源,紫外灯管安装于真空腔室内部的顶端,并与外部电源相连接;水冷系统设置在紫外灯管的上部,水冷系统用于防止紫外灯管以及腔室内的热量积聚引起温度不断升高;样品架位于紫外灯管正下方;真空系统连接所述真空腔室,真空系统用于快速、有效排空紫外光化学反应前后的气体;气压监控系统连接所述真空腔室,气压监控系统用于有效控制光化学反应过程中真空腔室腔内气体压强。
【技术特征摘要】
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