超纯水总有机碳浓度在线检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种超纯水总有机碳浓度在线检测装置，该检测装置包括依序相接的可变流量隔膜泵、离子交换柱和一高效紫外光氧化装置；所述的可变流量隔膜泵和离子交换柱之间设置有一流量传感器；所述的高效紫外光氧化装置前后分别设置有高灵敏度电阻率传感器，其中的一高灵敏度电阻率传感器设置在离子交换柱和高效紫外光氧化装置之间。与现有技术相比，该装置提供了稳定的测量条件，改善了测量精度，克服了现有技术中存在的测量周期长，指标滞后的问题。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及超纯水水质检测装置，该装置尤其适用于TOC浓度O-lOOppb，电阻率彡10ΜΩ. cm@25°C的超纯水测量。
技术介绍
现有超纯水总有机碳(TOC)在线检测装置通常有2种一是通过旁路取样测量，即将少量超纯水(电阻率彡10ΜΩ. cm@25°C)引流至一个紫外光氧化装置(UV)内，并使用185nm波长UV照射数分钟，以将水样中所有TOC全部氧化成为C02，C02重新溶解进入水样中，会导致水样电阻率下降，在一定范围内，TOC浓度越高， 可产生的C02的浓度越高，电阻率下降越多，然后装置通过比较UV作用前后水样的电阻率变化的差值，对照测量电路芯片中预置的“电阻率差值vs.超纯水TOC浓度”规律曲线，换算出水样中的TOC浓度值。该测量方法的不足之处是测量时间长达6-8分钟，其给出的TOC浓度指标往往不能即时反映当前水质状况，而是6-8分钟前的水质指标。二是将一个含185nm波长的UV装置直接置于超纯水循环回路上，并在其前后各安装一个在线电阻率传感器，然后同样利用上述方法I的原理进行比对和换算TOC浓度值，但这种方法的不同之处在于由于UV照射时间短、介质流速快而无法全部分解介质本文档来自技高网...

【技术保护点】
超纯水总有机碳浓度在线检测装置，其特征在于：该检测装置包括依序相接的可变流量隔膜泵、离子交换柱和一高效紫外光氧化装置；所述的可变流量隔膜泵和离子交换柱之间设置有一流量传感器；所述的高效紫外光氧化装置前后分别设置有高灵敏度电阻率传感器，其中的一高灵敏度电阻率传感器设置在离子交换柱和高效紫外光氧化装置之间。

【技术特征摘要】
1.超纯水总有机碳浓度在线检测装置，其特征在于该检测装置包括依序相接的可变流量隔膜泵、离子交换柱和一高效紫外光氧化装置；所述的可变流量隔膜泵和离子交换柱...

【专利技术属性】
技术研发人员：岳勇斌，
申请(专利权)人：岳勇斌，
类型：实用新型
国别省市：