电子显微镜检测样品用的研磨工具制造技术

制造显微镜检测样品用的Ｔ－形研磨工具，包括：底座Ａ，具有Ｔ形结构；上螺丝Ａ１、左螺丝Ａ２、右螺丝Ａ３、锁紧螺丝Ａ４；样品底座Ａ５；左螺丝Ａ２和右螺丝Ａ３对称地设置在Ｔ－形底座一横的两端，上螺丝Ａ１设置在Ｔ－形底座一竖的末端；锁紧螺丝Ａ４设置在Ｔ－形底座一竖的中段位置；样品底座Ａ５设置在Ｔ－形底座一竖的末端的一个侧边，用样品底座Ａ５固定待研磨的样品Ａ６，其特征是，还包括两个精密水平仪Ａ７以及固定橡胶塞Ａ８，两个水平仪分别设置在Ｔ－形底座一竖部分和一横部分连接处的平行六面体上，分别检测样品前、后方向和左、右方向的水平度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电子显微镜检测样品的研磨工具，用于研磨扫描式电子显微镜和/或透射式电子显微镜检测样品。
技术介绍
目前使用的研磨扫描式电子显微镜和/或透射式电子显微镜检测样品的T-形研磨工具，用三个螺丝对样品进行上、下、左、右、前和后方向调节。不能进行样品的前、后方向的水平调节，不能准确确定样品的水平度，通常只能通过使用者目测粗略估计样品的水平度，从而造成样品前、后方向倾斜，不能获得需要的样品观察平面。图1是现有的制造扫描式电子显微镜(以下简称“SEM”)和/或透射式电子显微镜(以下简称“TEM”)检测样品用的T-形研磨工具的透视图。使用者用现有的T-形研磨工具研磨样品时，必须研磨一段时间后将样品从研磨工具上取下，将样品放到扫描电子显微镜(SEM)下检测，确定样品研磨表面的前、后、左和右方向的水平状态，如果样品研磨表面的水平度差，则必须用T-形研磨工具再次研磨样品。这种经多次研磨后的样品通常前/后方向的水平状态符合要求了，但又破坏了左/右的水平状态。因此用现有的T-形研磨工具既费时又不能获得具有准确的水平观察表面的样品。用现有的T-形研磨工具研磨样品时，使用者用三个指头握紧现有的T-形研磨工具，由于使用者三个指头与现有的T-形研磨工具接触的三个面都是光滑表面，研磨过程中容易滑动，使用者不容易握紧T-形研磨工具。为了获得具有准确水平度的观察表面的样品，必须改进研磨样品的研磨工具。因此提出本专利技术的电子显微镜检测样品的T-形研磨工具。
技术实现思路
为了克服上述的现有的制造电子显微镜检测样品用的T-形研磨工具的缺点，提出本专利技术。本专利技术的目的是，提供一种制造电子显微镜检测样品用的T-形研磨工具，用于研磨扫描式电子显微镜(SEM)和/或透射式电子显微镜(TEM)检测样品，它设置有检测样品研磨表面的前、后、左、右方向的水平度的两个水平仪，此外，使用者握紧T-形研磨工具的三个指头接触T-形工具的三个接触面具有向下凹面，而且，三个指头接触T-形工具的三个接触表面粗糙，便于使用者的指头握紧研磨工具。按本专利技术的制造显微镜检测样品用的T-形研磨工具包括底座A，具有T形结构；上螺丝A1、左螺丝A2、右螺丝A3、锁紧螺丝A4；样品底座A5；和两个精密水平仪A7以及固定橡胶塞A8。左螺丝A2和右螺丝A3对称地设置在T-形底座一横的两端，上螺丝A1设置在T-形底座一竖的末端；锁紧螺丝A4设置在T-形底座一竖的中段位置；样品底座A5设置在T-形底座一竖的末端的一个侧边。两个水平仪分别设置在T-形底座一竖部分和一横部分连接处形成的平行六面体上，分别检测样品前、后方向和左、右方向的水平度。样品底座A5用于固定待研磨的用扫描电子显微镜和/或透射电子显微镜检测的样品A6。首先通过调整A2和A3时观察左右水平仪使样品左右水平，再调整A1观察前后水平仪使样品前后水平。附图说明通过结合附图进行的以下描述可以更好地理解本专利技术目的和本专利技术的优点，附图是洗明书的一个组成部分，附图与说明书的文字部分一起说明本专利技术的原理和特征，附图中显示出代表本专利技术原理和特征的实施例。全部附图中相同的部分用相同的参考数字指示。附图中图1是制造电子显微镜检测样品用的现有T-形研磨工具的透视图；图2是制造电子显微镜检测样品用的按本专利技术一个实施例的T-形研磨工具的透视图；图3制造电子显微镜检测样品用的按本专利技术一个实施例的T-形研磨工具上设置的精密水平仪的透视图；图4电子显微镜检测样品研磨状态示意图；图5A是制造电子显微镜检测样品用的按本专利技术一个实施例的T-形研磨工具的底座透视图，其上安装有检测样品左、右和前、后方向水平度的精密水平仪；图5B是制造电子显微镜检测样品用的按本专利技术一个实施例的T-形研磨工具的底座透视图，其上安装有检测样品前、后方向水平度的精密水平仪；图5C图6A显示检测样品前、后方向水平度的精密水平仪在制造电子显微镜检测样品用的按本专利技术一个实施例的T-形研磨工具的底座上的安装位置尺寸的透视图；图6B是显示检测样品前、后方向水平度的精密水平仪在制造电子显微镜检测样品用的按本专利技术一个实施例的T-形研磨工具的底座的A平面上的安装位置尺寸的平面示意图；图6C是显示检测样品前、后方向水平度的精密水平仪在制造电子显微镜检测样品用的按本专利技术一个实施例的T-形研磨工具的底座的B平面上的安装位置尺寸的平面示意图；图6D是显示检测样品左、右方向水平度的精密水平仪在制造电子显微镜检测样品用的按本专利技术一个实施例的T-形研磨工具的底座的B平面上的安装位置尺寸的平面示意图；图6E是显示检测样品左、右方向水平度的精密水平仪在制造电子显微镜检测样品用的按本专利技术一个实施例的T-形研磨工具的底座的C平面上的安装位置尺寸的平面示意图；图7是显示用左右水平旋转按钮调节样品左右水平度的调节状态示意图；和图8是显示制造电子显微镜检测样品用的按本专利技术的T-形研磨工具与使用者的指头接触面状态的透视图。附图中参考数字指示的部件说明A1-上螺丝；A2-左螺丝；A3-右螺丝；A4-锁紧螺丝；A5-样品底座；A6-样品；A7-精密水平仪；A8-固定橡胶塞；S1-指头接触面；I-好的研磨表面；II-差的研磨表面；III-差的研磨表面。具体实施例方式以下结合附图说明按本专利技术的电子显微镜检测样品的研磨工具。图2显示出制造显微镜检测样品用的按本专利技术一个实施例的T-形研磨工具，T-形研磨工具包括底座，具有T形结构；上螺丝A1、左螺丝A2、右螺丝A3、锁紧螺丝A4；样品底座A5；和两个精密水平仪A7以及固定橡胶塞A8。左螺丝A2和右螺丝A3对称地设置在T-形底座一横的两端，上螺丝A1设置在T-形底座一竖的末端；锁紧螺丝A4设置在T-形底座一竖的中段位置；样品底座A5设置在T-形底座一竖的末端的一个侧边。两个水平仪分别设置在T-形底座一竖部分和一横部分上，分别检测样品前、后方向和左、右方向的水平度。用样品底座A5固定待研磨的样品A6。在研磨样品时，使用者用三个手指头分别接触制造显微镜检测样品用的T-形研磨工具的一竖部分的端面和T-形底座一横的部分的两个端面S1，握紧显微镜检测样品的T-形研磨工具。样品A6固定在样品底座A5上，露出样品A6的待研磨表面，也就是要用扫描电子显微镜或透射电子显微镜观察的样品A6的表面露出，使样品A6的待研磨表面与研磨垫接触，通过操作人员移动制造显微镜检测样品用的T-形研磨工具研磨样品。制造显微镜检测样品用的T-形研磨工具的一竖部分的手指头分别接触端面S1和T-形底座一横的部分的两个手指头分别接触端面S1形成向下凹的弧形面，手指头分别接触端面S1的向下凹的弧度适合使用者的使指头，接触端面S1的表面是粗糙表面，以增大手指头与接触端面S1之间的摩擦力，使用者容易握紧显微镜检测样品的T-形研磨工具，参见图8。在研磨开始时记录水平仪上的指示刻度，以保证多次研磨后的样品A6的研磨表面达到扫描电子显微镜和/或透射电子显微镜检测样品所要求的观察表面状态，参见图7。以避免出现图4中II和III显示的差的研磨表面状态。图5和图6显示出水平仪在制造显微镜检测样品用的T-形研磨工具的T-形底座上的安装位置和安装尺寸。图5A显示安装有检测样品左、右和前、后方向水平度的精密水平仪的制造电子显微镜检测样品用的按本专利技术一个实施例的本文档来自技高网...

【技术保护点】
制造显微镜检测样品用的Ｔ－形研磨工具，Ｔ－形研磨工具包括：底座Ａ，具有Ｔ形结构；上螺丝Ａ１、左螺丝Ａ２、右螺丝Ａ３、锁紧螺丝Ａ４；样品底座Ａ５；左螺丝Ａ２和右螺丝Ａ３对称地设置在Ｔ－形底座一横的两端，上螺丝Ａ１设置在Ｔ－形底座一竖的末端；锁紧螺丝Ａ４设置在Ｔ－形底座一竖的中段位置；样品底座Ａ５设置在Ｔ－形底座一竖的末端的一个侧边，用样品底座Ａ５固定待研磨的样品Ａ６，其特征是，还包括两个精密水平仪Ａ７以及固定橡胶塞Ａ８，两个水平仪分别设置在Ｔ－形底座一竖部分和一横部分连接处构成的平行六面体上，分别检测样品前、后方向和左、右方向的水平度。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：秦立勇，邹丽君，陈强，陈险峰，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]