【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种切割方法,特别涉及。
技术介绍
随着能源的紧缺及可再生能源的广泛应用,光伏发电越来越多的受到人们的关 注,太阳能电池硅片的市场需求量也越来越大。太阳能电池硅片是将方形单晶硅棒切割成 薄片而成的,但硅晶材料价格昂贵,尤其在国内硅晶材料极其稀缺,为能够降低太阳能电池 硅片的成本,需使一根方形单晶硅棒能够切得更多的硅片,也就是让每片硅片尽量薄,这对 硅片的切割技术提出了非常高的要求。现有的硅片切割普遍采用线切割工艺进行加工,该 加工技术相对于传统的内圆切割技术具有极高的生产效率,且切割损失小,大大提高了硅 材料的利用率。进行硅片的线切割加工,先将截面为圆形的硅棒加工为截面为正方形的硅 棒后,再将硅棒的一面用高粘接强度的粘接胶粘接在一个卡具上进行切割,然后脱胶清洗。 现行硅片切割使用的研磨砂不仅出片率低,同时切割的硅片质量指标达不到要求,致使硅 材料损失及生产成本居高不下。
技术实现思路
本专利技术为了弥补现有技术的不足,提供了一种低成本高产率的改良的薄膜硅片切 割方法。本专利技术是通过如下技术方案实现的,其特殊之处在于在切割硅片过程中使用9. 5i!m 粒径的研磨砂、直径为100 u m的钢丝及1500#0. 8um的碳化硅。在切割硅片过程中使用更细的9. 5 ii m粒径的研磨砂,使用直径为100 u m的钢丝 替代直径为120 u m的钢丝切割,使用1500#0. 8um的碳化硅替代1200#0. 95 u m的碳化硅 进行线切割,从而将硅片厚度由原来的200士20 ym降到160士 10 ym,使其出片率在原有的 68片/千克基础上增加至7 ...
【技术保护点】
一种改良的薄膜硅片切割方法,其特征是:在切割硅片过程中使用9.5μm粒径的研磨砂、直径为100μm的钢丝及1500#0.8μm的碳化硅。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:吴春林,应雪倡,王丽萍,时嘉恒,陈献领,
申请(专利权)人:山东舜亦新能源有限公司,
类型:发明
国别省市:37[中国|山东]
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