下载一种改良的薄膜硅片切割方法的技术资料

文档序号:4004598

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本发明涉及一种切割方法,特别涉及一种改良的薄膜硅片切割方法。该改良的薄膜硅片切割方法,其特征是:在切割硅片过程中使用9.5μm粒径的研磨砂、直径为100μm的钢丝及1500#0.8μm的碳化硅,从而将硅片厚度由原来的200±20μm降到16...
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