The utility model relates to a bonding clamp taking and releasing device, which comprises a first clamping claw connecting plate, a first handle, a second clamping claw connecting plate and a second handle; a first clamping claw is arranged at the end of the first clamping claw connecting plate, a second clamping claw is arranged at the end of the second clamping claw connecting plate, and a positioner is arranged at the inner side corresponding to the first clamping claw and the second clamping claw; the utility model also includes a movement guiding mechanism When the first handle and the second handle are close to each other, the first claw and the second claw can be close to each other; when the first handle and the second handle are reset by connecting the motion guide mechanism, the first claw and the second claw can be reset by the relative motion energy between the first claw connecting plate and the second claw connecting plate. The utility model has compact structure, can take out the bonding clamp from the bonding machine cavity conveniently and quickly, can avoid scalding the operator, can reduce the pollution to the substrate when taking and placing the bonding clamp, and is convenient, safe and reliable.
【技术实现步骤摘要】
键合夹具取放装置
本技术涉及一种取放装置,尤其是一种键合夹具取放装置,属于微纳米工艺中夹具取放的
技术介绍
在微纳米
,经常要用到键合机及键合夹具。键合夹具在取放过程中多带有高温,会带来烫伤危害,同时用手取放键合夹具时会对衬底带来污染。因此,目前急需解决键合夹具的取放问题。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种键合夹具取放装置,其结构紧凑,能方便快捷地将键合夹具从键合机腔中取出,能避免烫伤操作人员,能减少取放键合夹具时对衬底的污染,使用方便,安全可靠。按照本技术提供的技术方案,所述键合夹具取放装置,包括第一夹爪连板、设置于所述第一夹爪连板上的第一拉手、第二夹爪连板以及设置于所述第二夹爪连板上的第二拉手;在所述第一夹爪连板远离第二夹爪连板的端部设置第一夹爪,在所述第二夹爪连板远离第一夹爪连板的端部设置第二夹爪,在第一夹爪、第二夹爪相对应的内侧均设置能与键合夹具适配连接的定位器;还包括能对第一夹爪连板与第二夹爪连板间运动进行导向的连接运动导向机构,通过第一拉手、第二拉手间的相对运动能驱动第一夹爪连板与第二夹爪连板之间相对运动,第一拉手与第二拉手靠近时,能使得第一夹爪能与第二夹爪相互靠近;第一拉手与第二拉手在连接运动导向机构作用下复位时,通过第一夹爪连板与第二夹爪连板间的相对运动能驱动第一夹爪与第二夹爪复位。所述第一拉手通过第一拉手紧固螺丝固定在第一夹爪连板上,第二拉手通过第二拉手紧固螺丝固定在第二夹爪连板上;第一夹爪与第一夹爪连板间相互 ...
【技术保护点】
1.一种键合夹具取放装置,其特征是:包括第一夹爪连板(4)、设置于所述第一夹爪连板(4)上的第一拉手(1)、第二夹爪连板(6)以及设置于所述第二夹爪连板(6)上的第二拉手(2);在所述第一夹爪连板(4)远离第二夹爪连板(6)的端部设置第一夹爪(5),在所述第二夹爪连板(6)远离第一夹爪连板(4)的端部设置第二夹爪(16),在第一夹爪(5)、第二夹爪(16)相对应的内侧均设置能与键合夹具适配连接的定位器(7);/n还包括能对第一夹爪连板(4)与第二夹爪连板(6)间运动进行导向的连接运动导向机构,通过第一拉手(1)、第二拉手(2)间的相对运动能驱动第一夹爪连板(4)与第二夹爪连板(6)之间相对运动,第一拉手(1)与第二拉手(2)靠近时,能使得第一夹爪(5)能与第二夹爪(16)相互靠近;第一拉手(1)与第二拉手(2)在连接运动导向机构作用下复位时,通过第一夹爪连板(4)与第二夹爪连板(6)间的相对运动能驱动第一夹爪(5)与第二夹爪(16)复位。/n
【技术特征摘要】
1.一种键合夹具取放装置,其特征是:包括第一夹爪连板(4)、设置于所述第一夹爪连板(4)上的第一拉手(1)、第二夹爪连板(6)以及设置于所述第二夹爪连板(6)上的第二拉手(2);在所述第一夹爪连板(4)远离第二夹爪连板(6)的端部设置第一夹爪(5),在所述第二夹爪连板(6)远离第一夹爪连板(4)的端部设置第二夹爪(16),在第一夹爪(5)、第二夹爪(16)相对应的内侧均设置能与键合夹具适配连接的定位器(7);
还包括能对第一夹爪连板(4)与第二夹爪连板(6)间运动进行导向的连接运动导向机构,通过第一拉手(1)、第二拉手(2)间的相对运动能驱动第一夹爪连板(4)与第二夹爪连板(6)之间相对运动,第一拉手(1)与第二拉手(2)靠近时,能使得第一夹爪(5)能与第二夹爪(16)相互靠近;第一拉手(1)与第二拉手(2)在连接运动导向机构作用下复位时,通过第一夹爪连板(4)与第二夹爪连板(6)间的相对运动能驱动第一夹爪(5)与第二夹爪(16)复位。
2.根据权利要求1所述的键合夹具取放装置,其特征是:所述第一拉手(1)通过第一拉手紧固螺丝(3)固定在第一夹爪连板(4)上,第二拉手(2)通过第二拉手紧固螺丝(14)固定在第二夹爪连板(6)上;第一夹爪(5)与第一夹爪连板(4)间相互垂直连接,第二夹爪(16)与第二夹爪连板(6)间相互垂直连接。
3.根据权利要求1或2所述的键合夹具取放装置,其特征是:在第一夹爪连板(4)的端部设置第一夹爪连板运动导向台阶面(18),所述第一夹爪连板运动导向台阶面(18)与第一夹爪(5)分别位于第一夹爪连板(4)的两端,在第二夹爪连板(6)的端部设置第二夹爪连板运动导向台阶面(15),所述第二夹爪连板运动导向台阶面(15)与第二夹爪(16)...
【专利技术属性】
技术研发人员:王云翔,冒薇,段仲伟,马冬月,许爱玲,李晓帅,
申请(专利权)人:苏州美图半导体技术有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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