一种自动上下料系统技术方案

本发明专利技术涉及一种自动上下料系统，解决了常见的人工对晶圆片缺边或者缺口位置进行查找，导致工作效率低下的问题，其技术方案要点是，包括：用于容置晶圆片的料盒；对所述料盒起到承载作用的、驱动所述料盒沿水平方向或竖直方向动作的驱动装置；对所述驱动装置起到承载作用的工作台；承载于所述工作台上的、位于所述料盒一侧且用于定位所述晶圆片的缺边或缺口位置的检测组件；承载于所述工作台且位于所述检测组件一侧的、用于承载所述晶圆片、以对所述晶圆片进行性能检测的载台；以及，机械手装置，达到对晶圆片自动检测以及定位、上下料的目的。

An Automatic Loading and Loading System

【技术实现步骤摘要】
一种自动上下料系统
本专利技术涉及晶圆片生产设备
，特别涉及一种自动上下料系统。
技术介绍
一种晶圆片，是将二氧化矽经过纯化,融解,蒸馏之后,制成矽晶棒,晶圆厂再拿这些矽晶棒研磨,抛光和切片制成的标准的圆形片，由于圆形的晶圆片本身没有方向性,不适合电子的传输,因此一般会在这些晶圆片的圆周上切出一个边或者V型槽缺口。而在加工的过程中，常常需要人为将晶圆片依次放置于载台上进行检测以及加工，并且根据晶圆片上的缺边或者V型槽缺口位置调整晶圆片的位置，使得工作效率低下，不利于批量生产。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种自动上下料系统，具有自动上下料，以及自动定位以及调整晶圆片位置的优点。本专利技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种自动上下料系统，包括：用于容置晶圆片的料盒；对所述料盒起到承载作用的、驱动所述料盒沿水平方向或竖直方向动作的驱动装置；对所述驱动装置起到承载作用的工作台；承载于所述工作台上的、位于所述料盒一侧且用于定位所述晶圆片的缺边或缺口位置的检测组件；承载于所述工作台且位于所述检测组件一侧的、用于承载所述晶圆片、以对所述晶圆片进行性能检测的载台；以及，承载于所述工作台上的、用于将所述料盒中的所述晶圆片转移至所述检测组件处进行定位处理后、将所述检测组件上的所述晶圆片转移至所述载台、并在对所述晶圆片进行性能检测后、将所述载台上的所述晶圆片转移至所述料盒中的机械手装置。通过采用上述技术方案，需要对晶圆片进行上料或者下料时，首先通过驱动装置带动料盒移动至预设位置，进而便于机械手装置对料盒中的晶圆片进行拾取，机械手装置拾取料盒中的晶圆片后将晶圆片转移到检测组件处，检测组件用于定位晶圆片缺边或缺口位置，使得晶圆片的能够顺利的进行后续的性能检测，经检测组件定位后，机械手装置拾取检测组件上的晶圆片并转移至载台上，载台对晶圆片起到承载作用且以供晶圆片进行性能检测，从而实现自动上料过程；在对晶圆片进行下料时，机械手装置从载台上拾取经性能检测后的晶圆片，再将晶圆片转移至料盒内，同时驱动装置驱动料盒移动而对料盒的位置进行调整，使得机械手装置能够将晶圆片放置于料盒内，进而完成下料操作，采用检测组件与机械手装置相配合的方式对晶圆片进行检测与定位的方式自动化程度较高，能够准确的将晶圆片放置于载台上而进行性能检测，减少了工作人员的工作量，提高了生产效率。本专利技术的进一步设置，所述料盒至少为两个。通过采用上述技术方案，机械手装置对其中一个料盒内的晶圆片进行取放，当其中一个料盒内的晶圆片全部加工完成后，驱动装置驱动料盒移动，使承载有未加工的晶圆片的料盒移动至待拾取位置，并供工作人员更换承载有加工后的晶圆片的料盒，不需要停机对料盒进行更换而有效提高了工作效率。本专利技术的进一步设置，所述驱动装置包括：用于承载所述料盒的承载板；装配于所述承载板下方的、用于驱动所述承载板沿水平方向移动的第一驱动组件；以及，装配于所述第一驱动组件下方且承载于所述工作台的、对所述第一驱动组件起到承载作用且用于驱动所述第一驱动组件升降的第二驱动组件。通过采用上述技术方案，当其中一个料盒内的晶圆片全部加工完成后，第一驱动组件驱动料盒沿水平方向移动，使得承载有未加工的晶圆片的料盒移动至待拾取位置，并供工作人员更换承载有加工后的晶圆片的料盒，机械手装置对料盒内的晶圆片进行取放时，第二驱动组件驱动第一驱动组件上升或下降，进而通过第一驱动组件带动料盒上升或下降，使得机械手装置依次取放料盒内不同层的晶圆片。本专利技术的进一步设置，所述第一驱动组件包括：设于所述承载板下方的、供所述承载板滑动的固定板；装配于所述承载板朝向所述固定板一侧的、供所述承载板沿所述固定板滑动的滑动块；设于所述固定板上的、供所述滑动块滑动的固定滑轨；以及，承载于所述固定板上的、用于驱动所述承载板在所述固定板上滑动的滑动气缸；所述第二驱动组件包括：装配于所述固定板下方的、对所述固定板起到承载作用的升降板；承载于所述升降板下端面且沿竖直方向设置的、穿设于所述工作台的升降杆；承载于所述工作台上的支架；装配于所述支架上的、沿竖直方向设置的、用于驱动所述升降杆进行升降的丝杆；固定于所述升降杆下端的、与所述丝杆相装配的、以用于带动所述升降杆升降的螺母座；以及，承载于所述支架上的、用于驱动所述丝杆转动的升降电机。通过采用上述技术方案，升降电机驱动承载于支架上的丝杆转动，进而带动螺母座相对丝杆升降，从而带动升降杆、升降板以及升降板所承载的第一驱动组件、承载板和料盒进行升降，进而带动料盒上升或下降至预设位置，便于机械手装置对料盒内的不同层的晶圆片进行取放，当其中一个料盒内的晶圆片加工完成后，滑动气缸驱动承载板移动，使得承载有未加工的晶圆片的料盒移动至待拾取位。本专利技术的进一步设置，所述上下料系统还包括：承载于所述工作台上、沿所述承载板宽度方向两侧设置的、用于检测所述料盒中是否存有所述晶圆片的对射传感器；以及，电连接于所述对射传感器的、在所述对射传感器的感应信号指示所述料盒中存有所述晶圆片时、控制所述机械手装置拾取所述料盒中的所述晶圆片、并在所述对射传感器的电信号指示所述料盒中未存有所述晶圆片时、控制所述机械手装置停止动作的控制器。通过采用上述技术方案，两个对射传感器对料盒中是否存有晶圆片进行判断，当感应信号指示为料盒中存有晶圆片时，控制器控制机械手装置拾取料盒中的晶圆片，当感应信号指示为料盒中未存有晶圆片时，控制器控制机械手装置停止拾取动作。本专利技术的进一步设置，所述机械手装置包括：承载于所述工作台上的旋转气缸；装配于所述旋转气缸上方的放置台；设于所述放置台上的、用于将所述料盒中的所述晶圆片转移至所述检测组件处进行定位处理后、将所述检测组件上的所述晶圆片转移至所述载台的上机械手；设于所述放置台上的、在对所述晶圆片进行性能检测后、将所述载台上的所述晶圆片转移至所述料盒中的下机械手；以及，承载于所述放置台上的、驱动所述上机械手与所述下机械手运作的滑移组件。通过采用上述技术方案，上机械手在滑移组件的驱动作用下，滑移至料盒处拾取晶圆片，并将所拾取的晶圆片转移至检测组件进行定位处理，上机械手在旋转气缸的驱动作用下将经检测组件定位处理过后的晶圆片转移至载台以进行后续的性能检测，当晶圆片在载台上进行性能检测后，滑移组件驱动下机械手滑动至载台处拾取晶圆片，此时旋转气缸驱动放置台往回旋转至初始位置，进而带动下机械手旋转至料盒处，滑动组件驱动下机械手将晶圆片放置于料盒内，从而完成下料操作，操作简单，解决了人为上料和下料的繁琐操作。本专利技术的进一步设置，所述滑移组件包括：承载于所述放置台上的、分别供所述上机械手与所述下机械手滑动的第一滑轨与第二滑轨；固设于所述上机械手一端的、用于带动所述上机械手在所述第一滑轨上滑动的第一滑块；固设于所述下机械手一端的、用于带动所述下机械手在所述第二滑轨上滑动的第二滑块；分别驱动所述第一滑块与所述第二滑块在所述第一滑轨与所述第二滑轨上滑动的第一驱动电机和第二驱动电机；分别与所述第一驱动电机、所述第二驱动电机的输出轴一端相装配的第一皮带轮组、第二皮带轮组；以及，分别套设于所述第一皮带轮组与所述第二皮带轮组上的、且穿设于所述第一滑块与所述第二滑块中的、用于带动所述第一滑块和所述第二滑块移动的第一皮带、第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动上下料系统，其特征在于，包括：用于容置晶圆片的料盒(1)；对所述料盒(1)起到承载作用的、驱动所述料盒(1)沿水平方向或竖直方向动作的驱动装置(2)；对所述驱动装置(2)起到承载作用的工作台(3)；承载于所述工作台(3)上的、位于所述料盒(1)一侧且用于定位所述晶圆片的缺边或缺口位置的检测组件(4)；承载于所述工作台(3)且位于所述检测组件(4)一侧的、用于承载所述晶圆片、以对所述晶圆片进行性能检测的载台(5)；以及，承载于所述工作台(3)上的、用于将所述料盒(1)中的所述晶圆片转移至所述检测组件(4)处进行定位处理后、将所述检测组件(4)上的所述晶圆片转移至所述载台(5)、并在对所述晶圆片进行性能检测后、将所述载台(5)上的所述晶圆片转移至所述料盒(1)中的机械手装置(6)。

【技术特征摘要】
1.一种自动上下料系统，其特征在于，包括：用于容置晶圆片的料盒(1)；对所述料盒(1)起到承载作用的、驱动所述料盒(1)沿水平方向或竖直方向动作的驱动装置(2)；对所述驱动装置(2)起到承载作用的工作台(3)；承载于所述工作台(3)上的、位于所述料盒(1)一侧且用于定位所述晶圆片的缺边或缺口位置的检测组件(4)；承载于所述工作台(3)且位于所述检测组件(4)一侧的、用于承载所述晶圆片、以对所述晶圆片进行性能检测的载台(5)；以及，承载于所述工作台(3)上的、用于将所述料盒(1)中的所述晶圆片转移至所述检测组件(4)处进行定位处理后、将所述检测组件(4)上的所述晶圆片转移至所述载台(5)、并在对所述晶圆片进行性能检测后、将所述载台(5)上的所述晶圆片转移至所述料盒(1)中的机械手装置(6)。2.根据权利要求1所述的一种自动上下料系统，其特征在于，所述料盒(1)至少为两个。3.根据权利要求2所述的一种自动上下料系统，其特征在于，所述驱动装置(2)包括：用于承载所述料盒(1)的承载板(21)；装配于所述承载板(21)下方的、用于驱动所述承载板(21)沿水平方向移动的第一驱动组件(22)；以及，装配于所述第一驱动组件(22)下方且承载于所述工作台(3)的、对所述第一驱动组件(22)起到承载作用且用于驱动所述第一驱动组件(22)升降的第二驱动组件(23)。4.根据权利要求3所述的一种自动上下料系统，其特征在于，所述第一驱动组件(22)包括：设于所述承载板(21)下方的、供所述承载板(21)滑动的固定板(221)；装配于所述承载板(21)朝向所述固定板(221)一侧的、供所述承载板(21)沿所述固定板(221)滑动的滑动块；设于所述固定板(221)上的、供所述滑动块滑动的固定滑轨(222)；以及，承载于所述固定板(221)上的、用于驱动所述承载板(21)在所述固定板(221)上滑动的滑动气缸(223)；所述第二驱动组件(23)包括：装配于所述固定板(221)下方的、对所述固定板(221)起到承载作用的升降板(231)；承载于所述升降板(231)下端面且沿竖直方向设置的、穿设于所述工作台(3)的升降杆(232)；承载于所述工作台(3)上的支架(233)；装配于所述支架(233)上的、沿竖直方向设置的、用于驱动所述升降杆(232)进行升降的丝杆(234)；固定于所述升降杆(232)下端的、与所述丝杆(234)相装配的、以用于带动所述升降杆(232)升降的螺母座(235)；以及，承载于所述支架(233)上的、用于驱动所述丝杆(234)转动的升降电机(236)。5.根据权利要求3所述的一种自动上下料系统，其特征在于，所述上下料系统还包括：承载于所述工作台(3)上、沿所述承载板(21)宽度方向两侧设置的、用于检测所述料盒(1)中是否存有所述晶圆片的对射传感器(7)；以及，电连接于所述对射传感器(7)的、在所述对射传感器(7)的感应信号指示所述料盒(1)中存有所述晶圆片时、控制所述机械手装置(6)拾取所述料盒(1)中的所述晶圆片、并在所述对射传感器(7)的电信号指示所述料盒(1)中未存有所述晶圆片时、控制所述机械手装置(6)停止动作的控制器。6.根据权利要求5所述的一种自动上下料系统，其特征在于，所述机械手装置(6)包括：承载于所述工作台(3)上的旋转气缸(61)；装配于所述旋转气缸(61)上方的放置台(62)；设于所述放置台(6...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘振辉，
申请(专利权)人：深圳市矽电半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44