门式移动装置和三维测量仪制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种门式移动装置和三维测量仪。本发明专利技术涉及提高门式移动装置的精度的技术。门式移动装置(100)包括：基台(110)；门式移动体(120)，其隔着空气层地载置在所述基台上，并以与所述基台非接触的方式在所述基台上移动；以及空气轴承(1)，其用于形成所述空气层，本发明专利技术的特征在于，所述门式移动体(120)包括立设于所述基台的上表面的两个腿部(130A、130B)、连接所述腿部的梁部(130)、以及沿着所述梁部(130)移动的梁方向移动体(150)，所述空气轴承(1)设于至少一个所述腿部的背面，具有朝向所述基台(110)的上表面开口的空气吹出口和空气抽吸口，所述空气抽吸口用于抽吸该空气抽吸口周边的空气而对该空气轴承(1)施加预压。

Portal Mobile Device and Three-Dimensional Measuring Instrument

The invention provides a portal mobile device and a three-dimensional measuring instrument. The invention relates to a technique for improving the accuracy of a portal mobile device. The portal mobile device (100) includes: a base (110); a portal mobile device (120), which is mounted on the base through an air layer and moves on the base in a non-contact manner with the base; and an air bearing (1), which is used to form the air layer. The portal mobile device (120) of the invention comprises two legs (1) positioned on the upper surface of the base. 30A, 130B, the beam connecting the leg (130), and the beam direction moving body (150) moving along the beam (130), the air bearing (1) is arranged on the back of at least one of the legs, with an air blowing outlet and an air suction outlet facing the upper surface opening of the base (110), and the air suction outlet is used to suck the air around the air suction outlet while the air bearing is used to suck the air around the air suction outlet. (1) Applying preload.

【技术实现步骤摘要】
门式移动装置和三维测量仪相关申请本申请主张2017年7月7日提出申请的日本专利技术专利申请2017-133323号的优先权，并将其引入本申请中。
本专利技术涉及一种提高门式移动装置和三维测量仪的测量精度的技术。
技术介绍
三维测量仪是通过使安装于驱动机构的测量探头相对于载置于工作台的测量对象物沿着X轴方向、Y轴方向及Z轴方向移动来高精度地测量该测量对象物的立体形状的测量仪，被利用于各种工业领域。并且，近来，通过在三维测量仪设置气浮轴承(也称作空气轴承)来使驱动机构顺畅地动作，从而进一步提高测量精度。近年来，设计了气浮轴承的配置，或者开发了各种气浮轴承，在工业设备中结合其用途能恰当地选择并利用。例如在专利文献1中公开了一种这样的技术：在三维坐标测量装置中，通过配置气浮轴承来作为从上下方向夹住平台的结构，从而提高刚度(专利文献1的图3)。另外，在专利文献2中公开了一种即使在设计气浮轴承(空气轴承)的内部排气流路形状、具有盖构件而使气浮轴承主体大型化的情况下也能够容易地加工气浮轴承主体的气浮轴承的技术，记载了该气浮轴承具有吸气用流路而能够吸附于对象物的要旨。另外，在专利文献3中公开了一种这样的技术：利用三个气浮轴承将被引导的机械部分支承在工作台上，并且在配置有该三个气浮轴承的大致中心位置设置利用负压发挥作用的钟形吸附器，从而能够提高该气浮轴承的刚度，将机械部分稳定地支承在工作台上。另外，在专利文献4中公开了一种与带真空预加载功能的气浮轴承(空气轴承)相关的技术，即：通过设置用于接收来自外部的压缩气体的第1流路、用于在轴承面的凹部(真空预加载部分)产生负压的第2流路、用于向轴承面的轴承部分供给正压的第3流路以及用于产生负压的负压产生装置，从而能够以简单的构造提高气浮轴承的刚度。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2016-142542号公报专利文献2：日本特开2011-127699号公报专利文献3：日本特开平04-217440号公报专利文献4：日本特许第4276667号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题像这样，近来，开发出各种气浮轴承，如上述那样在工业设备等中结合其用途进行利用。然而，如果单纯地将专利文献1及专利文献2～专利文献4所公开的具有预加载功能的气浮轴承利用于门式移动装置、三维测量仪，则有可能导致该门式移动装置等设备的结构变得复杂。并且，据本专利技术人的调查，到目前为止，还没有开发出搭载有专利文献2～专利文献4那样的具有真空预加载功能的气浮轴承的门式移动装置。用于解决问题的方案本专利技术是鉴于上述以往技术问题而进行的，其目的在于提供一种与以往的门式移动装置相比整体结构简化并且能够进行高精度的移动的门式移动装置。为了解决上述问题，本专利技术的门式移动装置包括：基台；门式移动体，其隔着空气层地载置在所述基台上，并且以与所述基台非接触的方式在所述基台上移动；以及空气轴承，其用于形成所述空气层，该门式移动装置的特征在于，所述门式移动体包括立设于所述基台的上表面的两个腿部、连接所述腿部的梁部、以及沿着所述梁部移动的梁方向移动体，所述空气轴承设于至少一个所述腿部的背面，具有朝向所述基台的上表面开口的空气吹出口和朝向所述基台的上表面开口的空气抽吸口，所述空气抽吸口用于抽吸该空气抽吸口周边的空气而对该空气轴承施加预压。并且，本专利技术的门式移动装置的特征还在于，所述空气轴承内置有用于产生负压的喷射部，该门式移动装置不具有用于向所述空气轴承供给负压的负压产生装置。并且，本专利技术的门式移动装置的特征还在于，所述喷射部以可拆卸的方式设在所述空气轴承的内部。并且，本专利技术的门式移动装置的特征还在于，所述空气轴承设于所述两个腿部的背面。并且，本专利技术的门式移动装置的特征还在于，所述空气轴承设于至少一个所述腿部，所述空气吹出口和空气抽吸口与所述基台的侧面相对。并且，本专利技术的门式移动装置的特征还在于，所述门式移动体的驱动单元为摩擦驱动单元。并且，本专利技术的门式移动装置的特征还在于，在所述梁方向移动体设有能够相对于所述基台在铅垂方向上移动的测杆，该门式移动装置能够检测载置在所述基台上的测量对象的位置坐标，测量该测量对象的立体形状。专利技术的效果采用本专利技术，通过在门式移动装置所包括的门式移动体的至少一个腿部的背面设置具有用于施加预压(预加载)的真空预压功能的空气轴承，使得该空气轴承能够得到良好的刚度，因此能够提供一种能够进行高精度的移动的门式移动装置。在此，针对本专利技术的门式移动装置所利用的具有真空预压功能的空气轴承而言，优选将作为负压产生部的喷射部内置于该空气轴承。通过利用这样的结构的具有真空预压功能的空气轴承，从而能够实现一种能够进行充分的预加载的简化了的门式移动装置而不需要在外部设置用于产生负压的专用的负压产生装置等。附图说明图1表示本专利技术的实施方式的三维测量仪的概略结构图。图2表示对本专利技术的实施方式的三维测量仪从正面进行观察时(从X方向进行观察时)的示意图。图3表示本专利技术的实施方式的三维测量仪所使用的带真空预压功能的气浮轴承的概略示意图。图4表示本专利技术的实施方式的带真空预压功能的气浮轴承的轴承面侧的概略图。图5表示本专利技术的实施方式的带真空预压功能的气浮轴承的内部结构图。图6表示图5中的I-I剖视图。图7表示图5中的II-II剖视图。图8表示本专利技术的实施方式的气浮轴承内的压缩空气的流动的概略说明图。图9表示本专利技术的实施方式的气浮轴承内的压缩空气的流动的概略说明图。图10表示本专利技术的实施方式的气浮轴承内的压缩空气的流动的概略说明图。图11表示将本专利技术的实施方式的三维测量仪简化了的情况下的气浮轴承的配置的示意图。附图标记说明1、带真空预压功能的气浮轴承(VPAB)；10、主体部；20、轴承面；21、供气孔；26、抽吸孔；30、流入口；31～33、流路部；40、真空喷射部；46、喷嘴部；50、节气部；55、空气室；100、三维测量仪(门式移动装置)；110、基部(基台)；120、门式滑动件(门式移动体)；130、X梁；130A、腿部；130B、腿部；140、Y引导件；150、X滑动件(梁方向移动体)；160、X引导件；170、测杆；180、测头；190、测量探头；200、设置台；210、基部凹部；220、凹部壁；230、气浮轴承(空气轴承)；240、基部凹部壁；500、导轨；501、引导面；510、供给路。具体实施方式以下，利用附图对本专利技术的门式移动装置进行说明，但只要不超过本专利技术的主旨就不受以下示例的任何限定。并且，作为门式移动装置的具体的实施方式，利用附图对三维测量仪进行说明。图1表示本专利技术的实施方式的三维测量仪的概略图。该图所示的三维测量仪100形成为包括：基部110，其为基台；门式滑动件120，其为门式移动体，能够沿着Y轴方向移动；Y引导件140，其设于该门式滑动件120的一个腿部130A的下部；X滑动件150(梁方向移动体)，其沿着作为门式滑动件120的横梁部分(连接腿部的梁部)的X梁130移动；X引导件160，其用于沿着X轴方向引导该X滑动件150；测杆170，其以相对于该X滑动件160在Z轴方向上升降自如的方式设于该X滑动件160；测头180，其设于该测杆170的下端；以及设置台200。设在基部110的上表面的一边缘侧的Y引导件140和在该Y本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种门式移动装置，其包括：基台；门式移动体，其隔着空气层地载置在所述基台上，并且以与所述基台非接触的方式在所述基台上移动；以及空气轴承，其用于形成所述空气层，该门式移动装置的特征在于，所述门式移动体包括立设于所述基台的上表面的两个腿部、连接所述腿部的梁部、以及沿着所述梁部移动的梁方向移动体，所述空气轴承设于至少一个所述腿部的背面，具有朝向所述基台的上表面开口的空气吹出口和朝向所述基台的上表面开口的空气抽吸口，所述空气抽吸口用于抽吸该空气抽吸口周边的空气而对该空气轴承施加预压。

【技术特征摘要】
2017.07.07 JP 2017-1333231.一种门式移动装置，其包括：基台；门式移动体，其隔着空气层地载置在所述基台上，并且以与所述基台非接触的方式在所述基台上移动；以及空气轴承，其用于形成所述空气层，该门式移动装置的特征在于，所述门式移动体包括立设于所述基台的上表面的两个腿部、连接所述腿部的梁部、以及沿着所述梁部移动的梁方向移动体，所述空气轴承设于至少一个所述腿部的背面，具有朝向所述基台的上表面开口的空气吹出口和朝向所述基台的上表面开口的空气抽吸口，所述空气抽吸口用于抽吸该空气抽吸口周边的空气而对该空气轴承施加预压。2.根据权利要求1所述的门式移动装置，其特征在于，所述空气轴承内置有用于产生负压的喷射部，该门式移动装置不具有用于向所述空气...

【专利技术属性】
技术研发人员：大坪圣一，植田兼史，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：日本,JP