下载门式移动装置和三维测量仪的技术资料

文档序号:20110990

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种门式移动装置和三维测量仪。本发明涉及提高门式移动装置的精度的技术。门式移动装置(100)包括:基台(110);门式移动体(120),其隔着空气层地载置在所述基台上,并以与所述基台非接触的方式在所述基台上移动;以及空气轴承(1)...
该专利属于株式会社三丰所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社三丰授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。