传送装置、传送方法以及真空蒸镀装置制造方法及图纸

本公开提供一种传送装置，该传送装置包括至少一个第一传送部件和至少一个第二传送部件。所述第一传送部件包括与被传送物接触的第一承载垫，所述第二传送部件包括与所述被传送物接触的第二承载垫；所述第一承载垫的材料的得电子的能力相对于失电子的能力更强，所述第二承载垫的材料的失电子的能力相对于得电子的能力更强。本公开通过改变传送部件的和被传送物接触部分(例如，第一承载垫和/或第二承载垫)的材料的相对得电子和失电子的能力，在保证摩擦力足够大的情况下，减少静电带来的不利影响，从而可以加快被传送物被传送的速率，提高生产效率，同时还可以提高产品的良率。

Transmission device, transmission method and vacuum evaporation device

The present disclosure provides a transmission device comprising at least one first transmission component and at least one second transmission component. The first transmission member includes a first bearing pad in contact with the conveyed object, the second transmission member includes a second bearing pad in contact with the conveyed object, the ability of the material of the first bearing pad to obtain electrons is stronger than the ability of losing electrons, and the ability of the material of the second bearing pad to lose electrons is relative to the ability of losing electrons. The ability to get electrons is stronger. The present disclosure reduces the adverse effects of static electricity by altering the relative electron gain and loss capacities of the materials of the conveying part and the contact part of the conveying object (e.g., the first bearing pad and/or the second bearing pad) so as to speed up the conveying of the conveyed object and increase the transmission rate, while ensuring sufficient friction. Production efficiency, at the same time, can also improve the yield of products.

【技术实现步骤摘要】
传送装置、传送方法以及真空蒸镀装置
本专利技术的实施例涉及一种传送装置、传送方法以及真空蒸镀装置。
技术介绍
在显示
中，通常需要在在真空环境下在衬底基板上连续形成各层膜层结构，因此，需要使用传送装置将待成膜的衬底基板进行传送。例如，OLED(OrganicLightEmittingDiode，有机发光二极管)显示装置具有自发光、无需背光模组、对比度高、清晰度高、视角宽、全固化、适用于挠曲性面板、温度特性好、低功耗、响应速度快以及制造成本低等一系列优异特性，而得到了广泛的应用。OLED显示器件的基本结构包括阳极层，功能膜层以及阴极层等，上述功能膜层可以包括空穴传输层、有机发光层以及电子传输层等，有机发光层的成膜方法有很多种，包括蒸镀成膜法、分子束外延法、有机化学气相沉积法以及溶胶-凝胶法等，蒸镀成膜法由于具有操作简单、膜厚容易控制、对薄膜的污染小以及易于实现掺杂等优点，目前多采用蒸镀成膜法形成有机发光层等有机功能膜层，即在真空环境下，将有机材料加热使其气化或者升华，并沉积到衬底基板上形成对应的功能膜层。在真空环境下，需要通过衬底基板与传送装置之间的摩擦力控制衬底基板传输的稳定性，如果衬底基板与传送装置之间的摩擦力太小，容易导致衬底基板滑动或者偏移，从而造成各膜层之间对位不精准的问题，进而影响了产品的良率，并且摩擦容易产生静电，随着传送过程的进行，也会在真空腔室中积累大量的静电，大量静电的存在可能会造成衬底基板产生碎片、破坏衬底基板上的电路，甚至损坏掩膜板。
技术实现思路
本专利技术至少一实施例提供一种传送装置，该传送装置包括：至少一个第一传送部件和至少一个第二传送部件，其中，所述第一传送部件包括与被传送物接触的第一承载垫，所述第二传送部件包括与所述被传送物接触的第二承载垫；所述第一承载垫的材料的得电子的能力相对于失电子的能力更强，所述第二承载垫的材料的失电子的能力相对于得电子的能力更强。例如，在本专利技术至少一实施例提供的传送装置中，所述第一承载垫的材料与所述被传送物相比得电子的能力更强，所述第二承载垫的材料与所述被传送物相比失电子的能力更强。例如，在本专利技术至少一实施例提供的传送装置中，所述第一传送部件和所述第二传送部件彼此相邻设置和/或间隔设置。例如，在本专利技术至少一实施例提供的传送装置中，所述传送装置的全部所述第一承载垫使所述被传送物获得的正电荷的电量大小近似等于所述传送装置的全部所述第二承载垫使所述被传送物获得的负电荷的电量大小。例如，在本专利技术至少一实施例提供的传送装置中，所述第一承载垫使所述被传送物获得的正电荷的电量大小近似等于所述第二承载垫使所述被传送物获得的负电荷的电量大小。例如，在本专利技术至少一实施例提供的传送装置中，所述传送装置包括多个组合结构，所述第一传送部件和所述第二传送部件属于同一个组合结构或属于不同的组合结构，所述传送装置包括至少一个第一组合结构和至少一个第二组合结构，所述第一组合结构由至少一个所述第一传送部件组成，所述第二组合结构由至少一个所述第二传送部件组成。例如，在本专利技术至少一实施例提供的传送装置中，所述第一组合结构和所述第二组合结构彼此相邻设置和/或间隔设置。例如，在本专利技术至少一实施例提供的传送装置中，当所述被传送物的材料为玻璃基板时，所述第一承载垫的材料包括胶木、松香、聚四氟乙烯或者硫磺，所述第二承载垫的材料包括羊皮、橡胶或者石英。例如，在本专利技术至少一实施例提供的传送装置中，所述第一传送部件包括第一机械手臂，所述第二传送部件包括第二机械手臂，所述第一承载垫设置在所述第一机械手臂上，所述第二承载垫设置在所述第二机械手臂上。例如，在本专利技术至少一实施例提供的传送装置中，所述第一传送部件还包括第一传输平台，所述第二传送部件还包括第二传输平台，所述第一传输平台的上表面的材料和所述第一承载垫的材料具有相同的得失电子的性能；所述第二传输平台的上表面的材料和所述第二承载垫的材料具有相同的得失电子的性能。例如，在本专利技术至少一实施例提供的传送装置中，所述第一传输平台的上表面的材料和所述第一承载垫的材料相同或者不同，所述第二传输平台的上表面的材料和所述第二承载垫的材料相同或者不同。例如，在本专利技术至少一实施例提供的传送装置中，所述第一传输平台和所述第一承载垫使所述被传送物获得的正电荷的电量大小近似等于所述第二传输平台和所述第二承载垫使所述被传送物获得的负电荷的电量大小。例如，在本专利技术至少一实施例提供的传送装置中，所述第一传送部件包括传输平台，所述第二传送部件包括机械手臂，所述第一承载垫设置在所述传输平台上，所述第二承载垫设置在所述机械手臂上。例如，在本专利技术至少一实施例提供的传送装置中，所述第一承载垫使所述被传送物获得的正电荷的电量大小近似等于所述第二承载垫使所述被传送物获得的负电荷的电量大小。本专利技术至少一实施例还提供一种真空蒸镀装置，包括上述任一传送装置、真空蒸镀腔和设置于所述真空蒸镀腔中的蒸发源。本专利技术至少一实施例还提供一种传送方法，包括：使用第一传送部件和第二传送部件传送被传送物；其中，所述第一传送部件包括与被传送中的所述被传送物接触的第一承载垫，所述第二传送部件包括与被传送中的所述被传送物接触的第二承载垫；所述第一承载垫的材料的得电子的能力相对于失电子的能力更强，所述第二承载垫的材料的失电子的能力相对于得电子的能力更强。例如，在本专利技术至少一实施例提供的传送方法中，使用所述第一传送部件和所述第二传送部件连续传送所述被传送物，或分别在不同阶段传送所述被传送物。例如，在本专利技术至少一实施例提供的传送方法中，所述第一承载垫的材料与所述被传送物相比得电子的能力更强，所述第二承载垫的材料与所述被传送物相比失电子的能力更强。例如，在本专利技术至少一实施例提供的传送方法中，使用所述第一传送部件带动所述被传送物升降、旋转或者水平移动；使用所述第二传送部件带动所述被传送物升降、旋转或者水平移动。本公开通过改变传送部件的和被传送物接触部分(例如，第一承载垫和/或第二承载垫)的材料的相对得电子和失电子的能力，以中和由于增大摩擦而产生的更多的静电，同时可以减少由于之前摩擦力太小而导致被传送物滑动带来的对位成功率降低的问题，也可以减少碎片产生的几率，这样可以在保证摩擦力足够大的情况下，同时减少静电带来的不利影响，从而可以加快被传送物被传送的速率，提高生产效率，同时还可以提高产品的良率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本专利技术的一些实施例，而非对本专利技术的限制。图1为本专利技术一实施例提供的一种传送装置的结构示意图；图2为本专利技术一实施例提供的一种第一传送部件上设置有第一承载垫的结构示意图；图3为本专利技术一实施例提供的一种第二传送部件上设置有第二承载垫的结构示意图；图4为本专利技术一实施例提供的另一种传送装置的结构示意图；图5为本专利技术一实施例提供的又一种传送装置的结构示意图；图6为本专利技术一实施例提供的又一种传送装置的结构示意图；图7为本专利技术一实施例提供的又一种传送装置的结构示意图；图8为本专利技术一实施例提供的一种真空蒸镀装置的截面结构示意图。附图标记：101-第一传送部件；102-第二传送部件；103-第一承载垫；104-第二承载垫；20-组合结构；21本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传送装置，包括：至少一个第一传送部件和至少一个第二传送部件，其中，所述第一传送部件包括与被传送物接触的第一承载垫，所述第二传送部件包括与所述被传送物接触的第二承载垫；所述第一承载垫的材料的得电子的能力相对于失电子的能力更强，所述第二承载垫的材料的失电子的能力相对于得电子的能力更强。

【技术特征摘要】
1.一种传送装置，包括：至少一个第一传送部件和至少一个第二传送部件，其中，所述第一传送部件包括与被传送物接触的第一承载垫，所述第二传送部件包括与所述被传送物接触的第二承载垫；所述第一承载垫的材料的得电子的能力相对于失电子的能力更强，所述第二承载垫的材料的失电子的能力相对于得电子的能力更强。2.根据权利要求1所述的传送装置，其中，所述第一承载垫的材料与所述被传送物相比得电子的能力更强，所述第二承载垫的材料与所述被传送物相比失电子的能力更强。3.根据权利要求1或2所述的传送装置，其中，所述第一传送部件和所述第二传送部件彼此相邻设置和/或间隔设置。4.根据权利要求3所述的传送装置，其中，所述传送装置的全部所述第一承载垫使所述被传送物获得的正电荷的电量大小近似等于所述传送装置的全部所述第二承载垫使所述被传送物获得的负电荷的电量大小。5.根据权利要求4所述的传送装置，其中，所述第一承载垫使所述被传送物获得的正电荷的电量大小近似等于所述第二承载垫使所述被传送物获得的负电荷的电量大小。6.根据权利要求5所述的传送装置，其中，所述传送装置包括多个组合结构，所述第一传送部件和所述第二传送部件属于同一个组合结构或属于不同的组合结构，所述传送装置包括至少一个第一组合结构和至少一个第二组合结构，所述第一组合结构由至少一个所述第一传送部件组成，所述第二组合结构由至少一个所述第二传送部件组成。7.根据权利要求6所述的传送装置，其中，所述第一组合结构和所述第二组合结构彼此相邻设置和/或间隔设置。8.根据权利要求3-7中任一项所述的传送装置，其中，当所述被传送物的材料为玻璃基板时，所述第一承载垫的材料包括胶木、松香、聚四氟乙烯或者硫磺，所述第二承载垫的材料包括羊皮、橡胶或者石英。9.根据权利要求8的传送装置，其中，所述第一传送部件包括第一机械手臂，所述第二传送部件包括第二机械手臂，所述第一承载垫设置在所述第一机械手臂上，所述第二承载垫设置在所述第二机械手臂上。10.根据权利要求9所述的传送装置，其中，所述第一传送部件还包括第一传输平台，所述第二传送部件还包括第...

【专利技术属性】
技术研发人员：王震，林治明，黄俊杰，井昱，吴文泽，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京,11