一种抛光磨轮保养防护装置制造方法及图纸

技术编号:18907897 阅读:67 留言:0更新日期:2018-09-12 01:01
本实用新型专利技术公开了磨具保护领域内的一种抛光磨轮保养防护装置,包括与旋转驱动机构相连接的抛光磨轮,抛光磨轮的转轴竖直设置,所述抛光磨轮上匹配固定有保护罩,保护罩包括水平的遮挡部,遮挡部的两端均设有与遮挡部连为一体的挂钩部,所述遮挡部与抛光磨轮的下端面相贴合,挂钩部钩住抛光磨轮的上端面,挂钩部与抛光磨轮之间面接触。所述挂钩部为L形,遮挡部与挂钩部的宽度相等,抛光磨轮的轮径与遮挡部的长度相匹配设置。本实用新型专利技术的能够在对抛光区保养时,将抛光磨轮有效地保护起来,不需要将抛光磨轮拆卸下来,即可进行保养,提高机台的使用效率。

A polishing and grinding wheel maintenance and protection device

The utility model discloses a polishing grinding wheel maintenance and protection device in the protection field of abrasives, including a polishing grinding wheel connected with a rotating drive mechanism, and a vertical setting of the rotating shaft of the polishing grinding wheel. The polishing grinding wheel is matched and fixed with a protective cover, which comprises a horizontal shielding part, and both ends of the shielding part are provided with a shielding part. The hook part is connected with the lower end face of the polishing grinding wheel, the hook part hooks the upper end face of the polishing grinding wheel, and the hook part contacts the surface between the polishing grinding wheel and the polishing grinding wheel. The hook part is L-shaped, the width of the shield part and the hook part are equal, and the wheel diameter of the polishing grinding wheel matches the length of the shield part. The utility model can effectively protect the polishing grinding wheel when the polishing area is maintained, and can be maintained without removing the polishing grinding wheel, thereby improving the use efficiency of the machine.

【技术实现步骤摘要】
一种抛光磨轮保养防护装置
本技术属于磨具保护领域,特别涉及一种用于保养防护抛光磨轮的装置。
技术介绍
芯片,又称微电路、微芯片或集成电路,是指内含集成电路的硅片,体积很小,常常是计算机或其他电子设备的一部分。半导体生产流程由晶圆制造、晶圆测试、芯片封装和封装后的测试组成。塑封之后,还要进行一系列操作,如后固化、切筋和成型、电镀以及打印等工艺。典型的封装工艺流程为:划片、装片、键合、塑封、去飞边、电镀、打印、切筋和成型、外观检查、成品测试和包装出货。晶圆是用于生产芯片的必不可少的一部分。现有技术中,需要对晶圆进行抛光磨平,清除边角、焊点、毛刺和毛边,修理晶圆表面的凹凸不平。目前,工作人员进行抛光区域保养时,需要将干抛的抛光磨轮换下,防止保养时将抛光磨轮沾湿、污染,其不足之处在于:拉长了保养时间,降低机台使用效率。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种抛光磨轮保养防护装置,能够在对抛光区保养时,将抛光磨轮有效地保护起来,不需要将抛光磨轮拆卸下来,即可进行保养,提高机台的使用效率。本技术的目的是这样实现的:一种抛光磨轮保养防护装置,包括与旋转驱动机构相连接的抛光磨轮,抛光磨轮的转轴竖直设置,所述抛光磨轮上匹配固定有保护罩,保护罩包括水平的遮挡部,遮挡部的两端均设有与遮挡部连为一体的挂钩部,所述遮挡部与抛光磨轮的下端面相贴合,挂钩部钩住抛光磨轮的上端面,挂钩部与抛光磨轮之间面接触。本技术使用时,将保护罩的两个挂钩部对准抛光磨轮,横向移动保护罩,使得抛光磨轮进入挂钩部与遮挡部之间的区域,挂钩部钩住抛光磨轮的上端面,保护罩就可以将抛光磨轮保护起来。与现有技术相比,本技术的有益效果在于:能够在对抛光区保养时,将抛光磨轮有效地保护起来,不需要将抛光磨轮拆卸下来,即可进行保养,节省保养时间,操作十分简单和方便,提高机台的使用效率。作为本技术的进一步改进,所述挂钩部为L形,遮挡部与挂钩部的宽度相等,抛光磨轮的轮径与遮挡部的长度相匹配设置。遮挡部可以将抛光磨轮充分保护起来,L形挂钩部钩住抛光磨轮,固定方便。作为本技术的进一步改进,所述遮挡部由固定板和活动板组成,固定板上开设有滑槽,活动板上对应设有插入滑槽的导向杆,导向杆与滑槽之间滑动连接。滑动活动板可以改变保护罩的长度,以适应不同轮径的抛光磨轮。作为本技术的进一步改进,所述固定板上设有锁孔一,活动板上对应锁孔一均匀间隔设置有若干锁孔二,固定板和活动板之间通过锁杆相固定,锁杆的两端均设有锁扣,两锁扣分别卡入锁孔一和相应锁孔二内。锁杆可以将固定板和活动板固定起来,避免两者之间产生相对滑动,锁杆的锁扣插入不同的锁孔二,可以适应不同轮径的抛光磨轮。作为本技术的进一步改进,所述抛光磨轮下方对应设有工作台,工作台上左右对称设置有两个夹具,两夹具相向的一侧均设置为弧形,晶圆固定在两个夹具之间,夹具底部设有3个滑块,中间的滑块截面为T形,两侧的滑块截面为矩形,工作台上设有与各滑块相对应的滑槽。夹具可以沿着滑槽滑动,以适应不同直径的晶圆。作为本技术的优选,所述旋转驱动机构包括电机,电机与减速器传动连接,减速器的输出轴与抛光磨轮相固定。附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为工作台的俯视图。图3为图2的AA向剖视图。图4为保护罩的结构示意图。图5为保护罩和锁杆的结构示意图。图6为保护罩和锁杆的另一种结构示意图。其中,1抛光磨轮,2保护罩,201遮挡部,201a固定板,201b活动板,202挂钩部,3导向杆,4锁孔一,5锁孔二,6锁杆,6a锁扣,7工作台,8夹具,8a滑块,9电机,10减速器。具体实施方式如图1-6所示,为一种抛光磨轮保养防护装置,包括与旋转驱动机构相连接的抛光磨轮1,抛光磨轮1的转轴竖直设置,抛光磨轮1上匹配固定有保护罩2,保护罩2包括水平的遮挡部201,遮挡部201的两端均设有与遮挡部201连为一体的挂钩部202,遮挡部201与抛光磨轮1的下端面相贴合,挂钩部202钩住抛光磨轮1的上端面,挂钩部202与抛光磨轮1之间面接触。挂钩部202为L形,遮挡部201与挂钩部202的宽度相等,抛光磨轮1的轮径与遮挡部201的长度相匹配设置。遮挡部201由固定板201a和活动板201b组成,固定板201a上开设有滑槽,活动板201b上对应设有插入滑槽的导向杆3,导向杆3与滑槽之间滑动连接。固定板201a上设有锁孔一4,活动板201b上对应锁孔一4均匀间隔设置有若干锁孔二5,固定板201a和活动板201b之间通过锁杆6相固定,锁杆6的两端均设有锁扣6a,两锁扣6a分别卡入锁孔一4和相应锁孔二5内。抛光磨轮1下方对应设有工作台7,工作台7上左右对称设置有两个夹具8,两夹具8相向的一侧均设置为弧形,晶圆固定在两个夹具8之间,夹具8底部设有3个滑块8a,中间的滑块8a截面为T形,两侧的滑块8a截面为矩形,工作台7上设有与各滑块8a相对应的滑槽。所述旋转驱动机构包括电机9,电机9与减速器10传动连接,减速器10的输出轴与抛光磨轮1相固定。本装置使用时,将保护罩2的两个挂钩部202对准抛光磨轮1,横向移动保护罩2,使得抛光磨轮1进入挂钩部202与遮挡部201之间的区域,挂钩部202钩住抛光磨轮1的上端面,保护罩2就可以将抛光磨轮1保护起来。本装置的优点在于:能够在对抛光区保养时,将抛光磨轮1有效地保护起来,不需要将抛光磨轮1拆卸下来,即可进行保养,节省保养时间,操作十分简单和方便,提高机台的使用效率。本技术并不局限于上述实施例,在本技术公开的技术方案的基础上,本领域的技术人员根据所公开的
技术实现思路
,不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形,这些替换和变形均在本技术的保护范围内。本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种抛光磨轮保养防护装置,包括与旋转驱动机构相连接的抛光磨轮,抛光磨轮的转轴竖直设置,其特征在于,所述抛光磨轮上匹配固定有保护罩,保护罩包括水平的遮挡部,遮挡部的两端均设有与遮挡部连为一体的挂钩部,所述遮挡部与抛光磨轮的下端面相贴合,挂钩部钩住抛光磨轮的上端面,挂钩部与抛光磨轮之间面接触。

【技术特征摘要】
1.一种抛光磨轮保养防护装置,包括与旋转驱动机构相连接的抛光磨轮,抛光磨轮的转轴竖直设置,其特征在于,所述抛光磨轮上匹配固定有保护罩,保护罩包括水平的遮挡部,遮挡部的两端均设有与遮挡部连为一体的挂钩部,所述遮挡部与抛光磨轮的下端面相贴合,挂钩部钩住抛光磨轮的上端面,挂钩部与抛光磨轮之间面接触。2.根据权利要求1所述的一种抛光磨轮保养防护装置,其特征在于,所述挂钩部为L形,遮挡部与挂钩部的宽度相等,抛光磨轮的轮径与遮挡部的长度相匹配设置。3.根据权利要求1或2所述的一种抛光磨轮保养防护装置,其特征在于,所述遮挡部由固定板和活动板组成,固定板上开设有滑槽,活动板上对应设有插入滑槽的导向杆,导向杆与滑槽之间滑动连接。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴秋明陈志远聂伟孟强姜红涛
申请(专利权)人:江苏汇成光电有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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