一种配备有外挂计时蜂鸣器的烘干烤箱制造技术

本技术公开了晶圆烘干烤箱领域内的一种配备有外挂计时蜂鸣器的烘干烤箱，包括烤箱外壳，所述烤箱外壳的内部设置有烘干腔，烤箱外壳上位于烘干腔的前侧设置有可打开的门体，门体上安装有固定支架，所述固定支架包括水平设置的底板，底板的四周分别竖直设置有外联接板、内挡板、左挡板和右挡板，外联接板与L形安装架相连接，安装架竖直部通过若干螺栓与外联接板相固定，安装架水平部通过若干螺钉与安装部底部相固定，所述底板上放置有计时蜂鸣器，底板下侧设置有与门体贴合的定位板，定位板通过若干螺钉与门体相固定。本技术防止人员忘记开启蜂鸣器导致烤箱对晶圆超时烘烤，可操作性高，实用性强。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于晶圆烘干烤箱领域，特别涉及一种配备有外挂计时蜂鸣器的烘干烤箱。

技术介绍

1、晶圆的加工工艺制程中，要确保晶圆表面不能含有杂质颗粒，比如在电镀、涂光刻胶的制程步骤前，都要对晶圆进行清洗，清洗后的晶圆则需要烘干。

2、现有技术中，清洗后的晶圆放入烤箱烘干后，通过计时蜂鸣器的定时鸣叫提示人员烘烤时间到达，及时取出产品，但是其问题在于：因计时蜂鸣器属外置设备，一般放置在机台旁操作台上，人员作业时需要走到工作台边开启蜂鸣器，增加了劳动工作量，操作起来比较麻烦；而且人员还容易忘记打开计时蜂鸣器进行计时报警，导致晶圆在烤箱内超时烘干，影响晶圆性能。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种配备有外挂计时蜂鸣器的烘干烤箱，通过将计时蜂鸣器放置在烤箱门旁，人员关闭烤箱门后可直接开启蜂鸣器，简化作业，防止人员忘记开启蜂鸣器导致烤箱对晶圆超时烘烤，可操作性高，实用性强。

2、本技术的目的是这样实现的：一种配备有外挂计时蜂鸣器的烘干烤箱，包括烤箱外壳，所述烤箱外壳的内部设置有烘干腔，烤箱外壳上位于本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种配备有外挂计时蜂鸣器的烘干烤箱，包括烤箱外壳，所述烤箱外壳的内部设置有烘干腔，烤箱外壳上位于烘干腔的前侧设置有可打开的门体，门体的上部设置有向前凸出的安装部，安装部上设有控制烤箱的操作面板，其特征在于，所述门体上安装有固定支架，所述固定支架包括水平设置的底板，底板的四周分别竖直设置有外联接板、内挡板、左挡板和右挡板，外联接板、内挡板、左挡板和右挡板围成矩形，外联接板和内挡板前后相对设置，外联接板的高度高于内挡板的高度，外联接板与L形安装架相连接，安装架竖直部通过若干螺栓与外联接板相固定，安装架水平部通过若干螺钉与安装部底部相固定，所述底板上放置有计时蜂鸣器，外联接板、内挡板、左挡...

【技术特征摘要】

1.一种配备有外挂计时蜂鸣器的烘干烤箱，包括烤箱外壳，所述烤箱外壳的内部设置有烘干腔，烤箱外壳上位于烘干腔的前侧设置有可打开的门体，门体的上部设置有向前凸出的安装部，安装部上设有控制烤箱的操作面板，其特征在于，所述门体上安装有固定支架，所述固定支架包括水平设置的底板，底板的四周分别竖直设置有外联接板、内挡板、左挡板和右挡板，外联接板、内挡板、左挡板和右挡板围成矩形，外联接板和内挡板前后相对设置，外联接板的高度高于内挡板的高度，外联接板与l形安装架相连接，安装架竖直部通过若干螺栓与外联接板相固定，安装架水平部通过若干螺钉与安装部底部相固定，所述底板上放置有计时蜂鸣器，外联接板、内挡板、左挡板和右挡板围住计时蜂鸣器，底板下侧设置有与门体贴合的定位板，定位板通过若干螺钉与门体相固定。

2.根据权利要求1所述的一种配备有外挂计时蜂鸣器的烘干烤箱，其特征在于，所述计时蜂鸣器的底座上设置有控制开关和...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱桐，陈飞，蔡寅宇，王徐，
申请(专利权)人：江苏汇成光电有限公司，
类型：新型
国别省市：