用于表面异物检测的自动光学检测系统技术方案

一种用于表面异物检测的自动光学检测系统，用以检测面板表面的异物分布，该自动光学检测系统包括有一高指向性光源装置、以及一影像撷取装置。该高指向性光源装置水平设置于该面板的一侧，提供一高指向性光束，经过该面板的上表面或下表面。该影像撷取装置设置于该面板的一侧，用以拍摄该面板以获得一面板影像，并将该面板影像传送至一检测装置，借由该检测装置影像分析该面板影像，以检测该面板上的异物分布。

Automatic optical inspection system for surface foreign body detection

An automatic optical detection system for detecting surface foreign objects is used to detect the distribution of foreign objects on the surface of the panel. The automatic optical detection system includes a high directivity light source device and an image capture device. The high directivity light source device is horizontally arranged on one side of the panel, providing a high directivity beam passing through the upper surface or the lower surface of the panel. The image capture device is set on one side of the panel to capture the panel to obtain a panel image and to transmit the panel image to a detection device to analyze the panel image by the detection device image to detect the distribution of foreign objects on the panel.

【技术实现步骤摘要】
用于表面异物检测的自动光学检测系统
本专利技术有关于一种自动光学检测系统，尤指一种用于表面异物检测的自动光学检测系统。
技术介绍
自动光学检测(AutomatedOpticalInspection，AOI)，泛指运用机器视觉拍摄待测物的表面以对待测物进行检测的技术。自动光学检测的优点在于改良传统上以人力使用光学仪器进行检测所造成的种种缺失(例如人眼检测的不可靠性、以及检测的效率)，除了瑕疵检测外，自动光学检查亦可应用于国防、民生、医疗、环保、电力等相关领域。目前于市场上，完整的面板制程，必须至少经过以下几种检测：1.玻璃基板及彩色滤光片的检测。2.面板(panel)、偏光片(polarizationsheet)上的亮点、碎亮点检测。3.不均匀(Mura)的检测。4.数组电路工程中的瑕疵检测。其中，面板及偏光片上的亮点、碎亮点，为面板制程中常见的瑕疵。于偏光片或面板制作完成时，会先借由自动光学检测系统(AutomatedOpticalInspection，AOI)对偏光片或面板的表面进行非接触式的检查。一般代表性的作法，是利用光学仪器取得成品的表面状态，再以计算机图像处理技术来检出异物或图案异常等瑕疵。这类的亮点、碎亮点的瑕疵影像，被检测出时将会被自动的分类，并被标示为待测点，以供后续的最终质量管理人员(FinalQualityControl，FQC)以人工目测的方式进行最后的判定。现有有关于面板检测的技术，针对这类的亮点、碎亮点，具有固定的检测步骤，其检测步骤如下：将待测面板输送至检测平台，并提供上、下光源(即正光源、背光源)打光于该面板上借以显示出偏光板、或面板上的瑕疵点，显示出的瑕疵点借由摄像装置拍摄后取得。所取得的瑕疵影像借由图像处理器经二值化处理后，将可以取得对应的亮点、碎亮点。借由进一步定义前述亮点、及碎亮点的位置及坐标，所述的瑕疵面板(亮点、碎亮点)可借由激光熔接法进行瑕疵补修，借以提升产品的良率。但是，借由上、下光源所打出的瑕疵影像，除上述于制程中所产生的亮点、碎亮点外，尚有可能会显示出附着于面板、偏光片上的异物(如灰尘、毛发)，这类的异物将会导致于检测过程中产生误检的情况。
技术实现思路
本专利技术的主要目的，在于解决面板检测中透过正面光源或背面光源检测时，无法过滤表面异物导致检测过程中产生误检的情况。为解决上述问题，本专利技术提供一种用于表面异物检测的自动光学检测系统，用以检测面板表面的异物分布，该自动光学检测系统包括一高指向性光源装置、以及一影像撷取装置。该高指向性光源装置水平设置于该面板的一侧，提供一高指向性光束，经过该面板的上表面或下表面。该影像撷取装置设置于该面板的一侧，用以拍摄该面板以获得一面板影像，并将该面板影像传送至一检测装置，借由该检测装置影像分析该面板影像，以检测该面板上的异物分布。本专利技术可用于面板瑕疵的确认测试，通过将高指向性光束朝面板的表面水平照射，以凸显面板表面上的异物。通过将本专利技术高指向性光源所获得的面板影像与提供背光源所获得的影像进行比对，可滤除正光源或背光源所获得的面板影像中异物噪声的部分，进而得到面板确实的瑕疵影像，以提升面板的检测正确率。附图说明图1，为本专利技术自动光学检测系统的方块示意图。图2，为本专利技术自动光学检测系统的侧面示意图。图3，为瑕疵分布影像的生成示意图。图4，为本专利技术自动光学检测系统第一实施例的配置示意图。图5，为本专利技术自动光学检测系统第二实施例的配置示意图。图6，为本专利技术自动光学检测系统第三实施例的配置示意图。图7，为本专利技术自动光学检测系统第四实施例的配置示意图。附图标记说明：100自动光学检测系统10高指向性光源装置DB高指向性光束20影像撷取装置30控制器40检测装置PN面板PN1上表面PN2下表面10A高指向性光源装置11A点型光束发射器PB点型光束12A枢转装置10B高指向性光源装置11B点型光束发射器12B扇状光束产生透镜LB扇状光束10C高指向性光源装置11C点型光束发射器12C平移装置α1倾斜角PT灰尘A1混合瑕疵表面影像A2异物分布影像H1异物分布A3瑕疵分布影像H2瑕疵分布具体实施方式有关本专利技术的详细说明及
技术实现思路
，现就配合图式说明如下。再者，本专利技术中的图式，为说明方便，其比例未必照实际比例绘制，该等图式及其比例并非用以限制本专利技术的范围，在此先行叙明。请参阅图1及图2，为本专利技术自动光学检测系统的方块示意图及侧面示意图，如图所示。本专利技术提供一种用于表面异物检测的自动光学检测系统100，用以检测面板PN表面的异物分布。具体而言，该自动光学检测系统100包括有一或多个高指向性光源装置10、一或多个影像撷取装置20、以及一连接至该高指向性光源装置10及该影像撷取装置20的控制器30。该高指向性光源装置10水平设置于该面板PN的一侧。在本实施例中，该高指向性光源装置10设置于该面板PN的右侧。当然，本专利技术不以此为限，该高指向性光源装置10可设置于该面板PN的任何一侧。该高指向性光源装置10输出一高指向性光束DB至该面板PN的上表面PN1或下表面PN2借以扫射该面板PN。该高指向性光源装置10用以提供高指向性光束DB(例如扇状光束或点型光束)照亮该面板PN的表面，该高指向性光源装置10可以配合机械或是借由特殊的机构形成该高指向性光束DB，于本专利技术中不予以限制。于一较佳实施例中，可于同一站台中同时提供两组该高指向性光源装置10，用以同时对该面板PN的上表面PN1及下表面PN2提供高指向性光束DB，并由上侧及下侧的影像撷取装置20获取该上表面PN1及下表面PN2的影像。于另一较佳实施例中，该高指向性光源装置10可借由平移装置(图未示)于上表面PN1及下表面PN2之间移动，借以将该高指向性光束DB至该面板PN的上表面PN1或下表面PN2扫射该面板PN的上表面PN1或下表面PN2，借以对该面板PN的上表面PN1及下表面PN2进行检测。于另一较佳实施例中，可以将该面板PN于第一站台进行上表面PN1的检测后，通过移载装置(图未示)或翻面装置(图未示)将该面板PN移动至第二站台进行下表面PN2的检测，于本专利技术中不欲限制于上述的实施例。如图2所示，值得一提的，该高指向性光源装置10所输出的高指向性光束DB应与该面板PN的表面间实质齐平，使得所送出的高指向性光束DB可直接扫射于该面板PN上的灰尘PT，于扫射到灰尘PT时于该灰尘PT的表面将会产生反射或是漫射，使灰尘PT于面板影像中被凸显出来，由于高指向性光束DB只经过面板PN的上表面PN1或下表面PN2，得以避免内部的瑕疵因高指向性光束DB照射而被显示出来。该影像撷取装置20设置于该面板PN的上表面PN1及/或下表面PN2，用以拍摄该面板PN以获得一面板影像，并将该面板影像传送至一检测装置40，借由该检测装置40经由影像分析获取该面板PN上的异物分布。具体而言，该影像撷取装置20可为CCD摄影机、CMOS摄影机、或其他类似的影像检测装置，于本专利技术中不予以限制。该检测装置40可以为连接于该影像撷取装置20的图像处理器或是包括有上述图像处理器的计算机设备，用以于获得该面板PN的面板影像后，以计算机图像处理技术检出面板PN表面上的异物或异常瑕疵。该控制器30用以控制并协调该高指向性光源装置10及影像撷取装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于表面异物检测的自动光学检测系统，用以检测面板表面的异物分布，其特征在于，该自动光学检测系统包括：一高指向性光源装置，水平设置于该面板的一侧，提供一高指向性光束，经过该面板的上表面或下表面；以及一影像撷取装置，设置于该面板的一侧，用以拍摄该面板以获得一面板影像，并将该面板影像传送至一检测装置，借由该检测装置影像分析该面板影像，以检测该面板上的异物分布。

【技术特征摘要】
2017.01.11 TW 1061008491.一种用于表面异物检测的自动光学检测系统，用以检测面板表面的异物分布，其特征在于，该自动光学检测系统包括：一高指向性光源装置，水平设置于该面板的一侧，提供一高指向性光束，经过该面板的上表面或下表面；以及一影像撷取装置，设置于该面板的一侧，用以拍摄该面板以获得一面板影像，并将该面板影像传送至一检测装置，借由该检测装置影像分析该面板影像，以检测该面板上的异物分布。2.如权利要求1所述的自动光学检测系统，其特征在于，该高指向性光源装置包括一点型光束发射器及一扇状光束产生透镜；其中该扇状光束产生透镜用以将点型光束进行扩束以形成一扇状光束。3.如权利要求2所述的自动光学检测系统，其特征在于，该扇状光束对齐至该面板的该上表面或该下表面，借以照亮该面板的该上表面或该下表面，并由该影像撷取装置拍摄该面板，以获得该面板的表面影像。4.如权利要求1所述的自动光学检测系统，其特征在于，该高指向性光源装置包括一点型光束发射器以及一设置于该点型光束发射器一侧的枢转装置。5.如权利要求4所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：林伯聪，陈延松，
申请(专利权)人：由田新技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71