连结部件、流体设备连接夹具及流体设备连接构造制造技术

本发明专利技术的目的是提供能够在液体泄漏发生时进行快速的应对且能够设置在狭小的空间中的作业性好的流体设备连接构造。流体设备连接构造具有：具有第1连接部的第1流体设备；具有第2连接部的第2流体设备；将第1连接部及第2连接部连接起来的环状密封部件；和维持第1连接部及第2连接部的连接状态的连结部件，在该流体设备连接构造中，连结部件包括第1连结片和第2连结片，在第1连结片和第2连结片的一端具有第1铰链部和第2铰接部；第1连接部和第2连接部的外形为圆形，第1连结片为具有开口部的大致U字形，并且超过第1连接部和第2连接部整周的180度与第1连接部和第2连接部接触。

Connecting parts, connecting fixture for fluid equipment and connecting structure of fluid equipment

The purpose of the present invention is to provide a workable fluid device connection structure that can be quickly responded to and can be set in a narrow space when liquid leakage occurs. A fluid equipment connection structure has a first fluid device with first connecting parts; a second fluid device with a second connecting part; a ring seal connecting the first connection and the 2 connection; and a connecting part that maintains the connection state of the first connection and the 2 connection part, in the connection structure of the fluid equipment, the connecting part. The part includes first connecting pieces and second connecting pieces, one end of the first connecting piece and the second connecting piece has a first hinge part and a second hinge part, the shape of the first connection part and the second connection part is round, the first connecting piece is a roughly U shape with the opening, and the 180 degree of the first connection part and the second connection part is connected to the first connection part and the second. Contact contact.

【技术实现步骤摘要】
连结部件、流体设备连接夹具及流体设备连接构造
本专利技术涉及在流体设备连接构造中使用的连结部件，所述流体设备连接构造具有：具有第1连接部的第1流体设备；具有第2连接部的第2流体设备；连接第1连接部及第2连接部的环状密封部件；和维持第1连接部及第2连接部的连接状态的连结部件。
技术介绍
以往，在半导体制造工序、液晶制造工序等使用的药液控制中，会使用流量控制阀和开闭阀等阀类、过滤器、压力传感器和流量传感器等传感器类、接头块体和流路块体等配管块体类等等的流体设备。近年，为了装置的紧凑化，利用连结部件将这些流体设备的连接部之间直接连结，进行单元化。图33是以往的流体设备连接构造的连结部件106的通常使用状态的剖视图。图34是以往的流体设备连接构造的连结部件106的增加紧固状态的剖视图。如图33所示，连结部件106通过使第1连结片107与第2连结片108的两端部卡合而构成。第1连结片107及第2连结片108的一端(第1卡合部)经由支撑轴111而能够转动地卡合。另一方面，第1连结片107及第2连结片108的另一端(第2卡合部)通过下述动作维持连接状态，即：使在第2连结片108的第1延伸设置部108c突出设置的卡定爪108e一边弹性变形一边穿插于在第1连结片107的第2延伸设置部107c上形成的穿插孔107e，而后使卡定爪108e复原而卡定于第2延伸设置部107c。该连接状态是通过连结部件106将连接部彼此连接的通常使用状态。连接部、环状密封部件和第1及第2连结片107、108的材质为树脂。因此，例如当对连接部长时间交替地施加异常高温的药液和异常低温的纯水时，连接部存在蠕变变形、密封力降低的情况。一旦密封力降低，就会发生液体泄漏。在这样的紧急情况时，要进行增加紧固。在连结部件106上安装有增加紧固部件110，该增加紧固部件110用于使第1及第2连结片107、108互相接近而将连接部彼此拉近，增加密封力。将增加紧固部件110穿插于第1连结片107的穿插孔107d中并紧固于第2连结片108的螺栓孔108d，由此将第1及第2连结片107、108拉近，使连接部彼此靠近。由此，连结部件106利用增加紧固部件110进行紧固，能够提高密封力。【现有技术文献】【专利文献】【专利文献1】日本专利第5134573号公报【专利文献2】日本专利第4575973号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题然而，在以往的连结部件106中存在下述这样的问题。如图33所示，在连结部件106，由于设置用于事先使第1连结片107与第2连结片108成为一体的支撑轴111、以及为了维持连结部件106关闭状态而形成于半径方向外侧的第1延伸设置部108c和第2延伸设置部107c，所以连结部件106自身体型变大。而且，由于作为安全机构的增加紧固用第2卡合部设于半径方向外侧，所以连结部件106自身体型变大。由此，需要用于安装连结部件106的大的作业空间。而且，如图35所示，当在设置面300并列地设置多个流体设备的情况下，特别是中央的流体设备的作业空间在设置面300的相反侧受限，在以往的连结部件106中，若在两侧流体设备上安装有连结部件106，则连结部件106的第1连结片107与第2连结片108无法接近关闭。即使安装了连结部件106，由于从与插入方向相反的方向操作使之成为通常使用状态，所以也无法使卡定爪108e卡合，而且，也无法为了形成增加紧固状态而在手不能伸到里面的狭小空间内作业，因此存在作业性差的问题。本专利技术正是为了解决上述问题点，其目的在于提供能够在狭小空间内设置的、作业性好的流体设备连接构造。用于解决课题的技术手段本专利技术的流体设备连接构造为了解决上述课题而具有下述构成。(1)一种连结部件，其用于流体设备连接构造，该流体设备连接构造具有：具有第1连接部的第1流体设备；具有第2连接部的第2流体设备；配置在第1连接部及第2连接部之间的环状密封部件；和将第1连接部及第2连接部隔着环状密封部件连接起来的连结部件，连结部件的特征在于，连结部件包括第1连结片和第2连结片，在第1连结片和第2连结片的一端具有转动连结部；第1连接部和第2连接部的外形为圆形；第1连结片为具有开口部的大致U字形形状，并且超过第1连接部和第2连接部整周的180度与第2连结片卡合。(2)在(1)所述的连结部件中，其特征在于，开口部的大小被形成得比第1连接部及第2连接部的各管状部的直径(外径)小；第1连结片能够以向外侧以开口部与第1连接部及第2连接部的各管状部的直径之差的量扩张的方式变形。(3)在(1)或(2)所述的连结部件中，其特征在于，在第1连结片形成有具有切缺部的薄壁部。(4)在(1)至(3)中任一项所述的连结部件中，其特征在于，在第1连结片与第2连结片的转动连结部，形成有用于防止因自重而转动的阻力产生部；在第2连结片的内周面的与第1连接部及第2连接部抵接的面上，形成有与第1连接部及第2连接部不抵接的部分。(5)在(1)至(4)中任一项所述的连结部件中，其特征在于，在第1连结片的外周形成有T字形或L字形的装拆卡定部。(6)在(1)至(5)中任一项所述的连结部件中，其特征在于，在第2连结片的外周形成有转动作用部。(7)在(1)至(6)中任一项所述的连结部件中，其特征在于，在第1连结片的与第1连接部的外周部相对的位置、及第1连结片的与第2连接部的外周部相对的位置分别形成有凸状突起部。(8)在(7)所述的连结部件中，其特征在于，在第2连结片的与第1连接部的外周部相对的位置、及第2连结片的与第2连接部的外周部相对的位置分别形成有凸状突起部。(9)在(1)至(8)中任一项所述的连结部件中，其特征在于，第1连结片的另一端包括第1卡定部，第2连结片的另一端包括供第1卡定部卡定的第1卡定承受部，连结部件在第1卡定部与第1卡定承受部卡合的第1卡定位置被定位，连结部件具有第2卡定位置，与连结部件处于第1卡定位置时相比，处于第2卡定位置时更靠近环状密封部件方向。(10)在(9)所述的连结部件中，其特征在于，第1卡定位置是通常的使用状态，第2卡定位置是增加紧固状态。(11)在用于(1)至(10)中任一项所述的连结部件的流体设备连接夹具中，其特征在于，第1连结片在外周面形成有第2夹具卡挂部，第2连结片在外周面形成有第1夹具卡挂部；流体设备连接夹具包括：卡合于第1夹具卡挂部的通用卡挂部；和卡合于第2夹具卡挂部的第1卡定位置卡挂部和第2卡定位置卡挂部。(12)在用于(1)至(10)中任一项所述的连结部件的流体设备连接夹具中，流体设备连接夹具通过从与连结部件安装于第1连接部及第2连接部的方向相同的方向被插入，使第1连结片与第2连结片卡合。(13)在用于(1)至(10)中任一项所述的连结部件的流体设备连接夹具中，通过处于流体设备连接夹具被安装于连结部件的状态来表示增加紧固状态。(14)一种流体设备连接构造，其特征在于，包括(1)至(10)中任一项所述的连结部件。专利技术效果本专利技术的流体设备连接构造具有如下作用、效果。根据上述(1)的构成，由于第1连结片为具有开口部的大致U字形形状，并且第1连结片超过第1连接部与第2连接部整周的180度与第2连结片卡合，所以在连结部件的半径方向外侧不设置卡合部，从而连结部件自身能够被紧凑地形成。由此本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种连结部件，其用于流体设备连接构造，所述流体设备连接构造具有：具有第1连接部的第1流体设备；具有第2连接部的第2流体设备；配置在所述第1连接部及所述第2连接部之间的环状密封部件；和将所述第1连接部及所述第2连接部隔着所述环状密封部件连接起来的连结部件，所述连结部件的特征在于，所述连结部件包括第1连结片和第2连结片，在所述第1连结片和所述第2连结片的一端具有转动连结部；所述第1连接部和第2连接部的外形为圆形；所述第1连结片为具有开口部的大致U字形形状，并且超过所述第1连接部和所述第2连接部整周的180度与所述第2连结片卡合。

【技术特征摘要】
2016.12.01 JP 2016-233961;2017.11.01 JP 2017-211511.一种连结部件，其用于流体设备连接构造，所述流体设备连接构造具有：具有第1连接部的第1流体设备；具有第2连接部的第2流体设备；配置在所述第1连接部及所述第2连接部之间的环状密封部件；和将所述第1连接部及所述第2连接部隔着所述环状密封部件连接起来的连结部件，所述连结部件的特征在于，所述连结部件包括第1连结片和第2连结片，在所述第1连结片和所述第2连结片的一端具有转动连结部；所述第1连接部和第2连接部的外形为圆形；所述第1连结片为具有开口部的大致U字形形状，并且超过所述第1连接部和所述第2连接部整周的180度与所述第2连结片卡合。2.根据权利要求1所述的连结部件，其特征在于，所述开口部的大小被形成得比所述第1连接部及所述第2连接部的各管状部的直径小；所述第1连结片能够以向外侧以所述开口部与所述第1连接部及所述第2连接部的各管状部的直径之差的量扩张的方式变形。3.根据权利要求1或权利要求2所述的连结部件，其特征在于，在所述第1连结片形成有具有切缺部的薄壁部。4.根据权利要求1或权利要求2中任一项所述的连结部件，其特征在于，在所述第1连结片与第2连结片的所述转动连结部，形成有用于防止因自重转动的阻力产生部；在所述第2连结片的内周面的与所述第1连接部及所述第2连接部抵接的面上，形成有与所述第1连接部及所述第2连接部不抵接的部分。5.根据权利要求1或权利要求2中任一项所述的连结部件，其特征在于，在所述第1连结片的外周形成有T字形或L字形的装拆卡定部。6.根据权利要求1或权利要求2中任一项所述的连结部件，其特征在于，在所述第2连结片的外周形成有转动作用部。7.根据权利要求1或权利要求2中任...

【专利技术属性】
技术研发人员：竹田秀行，岩田洋辉，安江博人，西村康典，
申请(专利权)人：CKD株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP