The invention relates to a novel nitrogen oxide sensor chip, the chip consists of a first substrate, a second substrate, a fourth substrate three tablets, which are sequentially stacked, second substrate as the substrate with a slot, including first and second regions separated, through holes on the first substrate is provided with a first through to the second region of the substrate, the through hole is provided with a cylindrical groove in the axis of the first cylindrical groove area, a through hole axis which are sequentially arranged with a first diffusion barrier layer, second diffusion barrier layer, the first diffusion barrier layer and the second diffusion barrier layer between the upper electrode second is provided with a first oxygen pump. The diffusion barrier layer between the upper groove wall and cylindrical groove is provided with second oxygen electrode diffusion pump, second lower barrier layer between the groove and the groove is provided with a cylindrical electrode. The utility model adopts a new chip in the invention, and the electrode has a concentric circle structure, and the structure is simple, and the process difficulty can be greatly reduced.
【技术实现步骤摘要】
用于氮氧化物传感器的新型芯片
本专利技术涉及汽车尾气控制系统的设计领域,尤其涉及传感器的芯片,具体是指一种用于氮氧化物传感器的新型芯片。
技术介绍
随着我国城镇化进程的加速,化石燃料消耗迅速增加,很多的有毒、有害的气体被释放到大气中污染环境,其中最典型的一类,就是NOx气体,它不仅会导致光化学烟雾以及酸雨、破坏臭氧层,还会对人类的呼吸系统产生副作用,出现脱发、喉咙发炎、视力受损、呼吸系统抵抗力下降等症状。因此氮氧化物减排被列为环境保护的要求之一。很多的毒理以及流行病学研究发现了NOx的副作用。NO2以及NO气体(合称NOx)目前受到较大的关注。这种气体在一些道路特别是高人口密度的居住区的浓度较高,这就显得问题更加严重了。研究表明,75%的NOx气体是由汽车排放产生的,这其中大约一半是由非道路运输的车辆产生的,如工程机械、农业机械等,同时这些机械的寿命要远远大于道路运输车辆,对这些机械车辆降低NOx的排放就变得更加有效了。因此人们投入了很大的精力和财力来降低这种气体的产生并通过更为严厉的法规来限制这类气体的排放。在汽车行业中降低NOx的方法主要有两种,NOx气体捕获以及NOx还原。但是无论哪种方法,准确的测定NOx的浓度是首先要解决的问题。NOx的测试方法有很多种,如共振电离光谱法、傅立叶转换红外光谱法、气相色谱/质谱法、化学发光分析等,这些方法可以很精确的测定NOx的浓度,但是也有很多的缺点,如不能在线测试,测试设备体积庞大等。这些缺点导致不能应用于汽车尾气的处理。目前基于氧化锆基的电化学电流测试方法NOx传感器是采用6层氧化锆基片叠层共烧而成,中间加入了 ...
【技术保护点】
一种用于氮氧化物传感器的新型芯片,其特征在于,所述的芯片由第一基片、第二基片、第三基片、第四基片依次层叠而成,所述的第二基片为具有开槽的基片,包括相间隔开的第一区域和第二区域,所述的第一基片上设有一贯穿于所述的第二基片的第一区域的通孔,所述的第一区域中以该通孔为轴线设置有圆柱形凹槽,所述的圆柱形凹槽以通孔为轴线向外依次设置有第一扩散障碍层、第二扩散障碍层,所述的第一扩散障层与第二扩散障层之间的上部设有第一氧泵电极,所述的第二扩散障层与圆柱形凹槽的槽壁之间的上部设有第二氧泵电极,所述的第二扩散障层与圆柱形凹槽的槽壁之间的下部设有测试电极,所述的第二区域设置有参比气体通道,所述的参比气体通道内设置有参比电极,所述的第三基片和第四基片之间设置有加热体,所述的加热体的上下表面均设有绝缘层。
【技术特征摘要】
1.一种用于氮氧化物传感器的新型芯片,其特征在于,所述的芯片由第一基片、第二基片、第三基片、第四基片依次层叠而成,所述的第二基片为具有开槽的基片,包括相间隔开的第一区域和第二区域,所述的第一基片上设有一贯穿于所述的第二基片的第一区域的通孔,所述的第一区域中以该通孔为轴线设置有圆柱形凹槽,所述的圆柱形凹槽以通孔为轴线向外依次设置有第一扩散障碍层、第二扩散障碍层,所述的第一扩散障层与第二扩散障层之间的上部设有第一氧泵电极,所述的第二扩散障层与圆柱形凹槽的槽壁之间的上部设有第二氧泵电极,所述的第二扩散障层与圆柱形凹槽的槽壁之间的下部设有测试电极,所述的第二区域设置有参比气体通道,所述的参比气体通道内设置有参比电极,所述的第三基片和第四基片之间设置有加热体,所述的加热体的上下表面均设有绝缘层。2.根据权利要求1所述的用于氮氧化物传感器的新型芯片,其特征在于,所述的通孔的直径为0.01~0.5...
【专利技术属性】
技术研发人员:冯涛,潘莉莉,王广平,王红勤,王作林,王贵强,
申请(专利权)人:东风电子科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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