一种氮氧化物传感器片芯制造技术

本实用新型专利技术涉及一种氮氧化物传感器片芯，其特征在于：第一基片、第二基片、第三基片、第四基片、第五基片、第六基片从上到下依次堆叠，第四基片比第三基片和第五基片短，第四基片后端的空当即为参比通道；主泵外电极布置在第一基片的顶面，第二基片前端从前至后通过第一扩散障碍层、第二扩散障碍层、第三扩散障碍层、第四扩散障碍层将第二基片前端分隔出第一腔室、第二腔室、第三腔室、第四腔室、第五腔室，第四扩散障碍层顶部留有空气狭缝；其具有较高准确性，高灵敏度的适用于尾气中氮氧化物含量检测的传感器片芯。

Nitrogen oxide sensor core

The utility model relates to a nitrogen oxide sensor chip, which is characterized in that: a first substrate, a second substrate, a three piece, a fourth substrate, a fifth substrate, a sixth substrate from top to bottom stack, fourth substrate than the three substrate and the fifth substrate, the substrate is fourth when is the reference channel; the main pump outer electrode arranged on the top surface of the first substrate and the second substrate in front of the front to the back through the first diffusion barrier layer, diffusion barrier layer second and third diffusion barrier layer and the fourth diffusion barrier layer second substrate front separating the first chamber, second chamber, third chamber, fourth the chamber, fifth chamber, fourth diffusion barrier layer is left at the top of the air gap; with high accuracy, suitable for high sensitivity of the sensor to detect the tablet core content of nitrogen oxide in exhaust gas.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种氮氧化物传感器片芯，属于片式氮氧化物传感器

技术介绍
氮氧化物NOX（NO和NO2）是大气的主要污染物之一，主要危害包括引发人类呼吸道疾病，形成酸雨和化学烟雾，破坏环境等。氮氧化物主要来源于汽车尾气的排放，因此对尾气中NOX浓度的检测就显得十分重要。以氧化锆为基底的氮氧化物传感器具有可在500-600℃的尾气高温环境下稳定工作的特点，因此一直是国内外研究的热点。氮氧化物传感器在US2010/0243447 A1中有详细的描述，该传感器的片芯部分的结构是通过把固体电解质的素坯进行切割成形，再印刷上电极图案，层层叠压后煅烧而成的，其内部结构包括四个腔室和三个气体扩散通道。其中第四腔室内分布非活化电极和检测电极，由于非活化电极中含有对氮氧化物无催化作用的贵金属金，熔点低于传感器煅烧温度，导致烧结过程中金的挥发污染检测电极，使检测电极的性能降低，严重影响NOX传感器的使用性能。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种氮氧化物传感器片芯，其具有较高准确性，高灵敏度的适用于尾气中氮氧化物含量检测的传感器片芯。本技术的技术方案是这样实现的: 一种氮氧化物传感器片芯，由第一基片、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氮氧化物传感器片芯，由第一基片、第二基片、第三基片、第四基片、第五基片、第六基片组成，其特征在于：第一基片、第二基片、第三基片、第四基片、第五基片、第六基片从上到下依次堆叠，第四基片比第三基片和第五基片短，第四基片后端的空当即为参比通道；主泵外电极布置在第一基片的顶面，第二基片前端从前至后通过第一扩散障碍层、第二扩散障碍层、第三扩散障碍层、第四扩散障碍层将第二基片前端分隔出第一腔室、第二腔室、第三腔室、第四腔室、第五腔室，第四扩散障碍层顶部留有空气狭缝；主泵内电极A连接在第三腔室顶部的第一基片上，主泵内电极B 连接在第三腔室底部的第三基片上，辅泵内电极A连接在第四腔室顶部的第一基片上，辅泵...

【技术特征摘要】
1.一种氮氧化物传感器片芯，由第一基片、第二基片、第三基片、第四基片、第五基片、第六基片组成，其特征在于：第一基片、第二基片、第三基片、第四基片、第五基片、第六基片从上到下依次堆叠，第四基片比第三基片和第五基片短，第四基片后端的空当即为参比通道；主泵外电极布置在第一基片的顶面，第二基片前端从前至后通过第一扩散障碍层、第二扩散障碍层、第三扩散障碍层、第四扩散障碍层将第二基片前端分隔出第一腔室、第二腔室、第三腔室、第四腔室、第五腔室，第四扩散障碍层顶部留有空气狭缝；主泵内电极A连接在第三腔室顶部的第一基片上，主泵内电极B 连接在第三腔室底部的第三基片上，辅泵内电极A连接在第四腔室顶部的第一基片上，辅泵内电极B连接在第四腔室底部的第三基片上，检测电极连接在第五腔室底...

【专利技术属性】
技术研发人员：王金兴，张斌，刘宏宇，张克金，
申请(专利权)人：中国第一汽车股份有限公司，
类型：新型
国别省市：吉林;22