氮氧化物传感器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种氮氧化物传感器，由多层长方形基片构成，从上至下的第一层基片至第三层基片形成气体入口、第一腔室和第二腔室，第一腔室内设置有氧泵，第二腔室内设置有氧测量泵，第一腔室和第二腔室之间设置有扩散障碍部。氧泵的电极由设置在第一层基片上、下表面的第一电极和第二电极组成，氧测量泵的电极由设置在第三层基片上、下表面的第三电极和第四电极组成，第三层基片上设有与大气相连的参比气体通道。本实用新型专利技术的氮氧化物传感器，做到了六线制，结构得到优化，为后续的信号精度提高作了很好的铺垫。

【技术实现步骤摘要】
氮氧化物传感器
本技术涉及机动车辆尾气排放检测领域，特别涉及一种氮氧化物传感器。
技术介绍
用空气作氧化剂来源燃烧燃料所产生的废气，通常含有少量但却值得注意的各种氮氧化物(顯、勵2等〉，统称为勵,。勵,不仅能破坏臭氧层，转化成酸雨，且在阳光下易与碳氢化合物或挥发性有机物作用，产生光化学烟雾，引起呼吸道疾病，严重威胁人类的生存与健康，因此是不受欢迎的。 随着社会的发展，机动车辆的数量越来越多，而机动车辆的尾气中包括多种排放物，例如氮氧化物、颗粒物等。为了保护环境，减少机动车辆有害物的排放，通过使用诸如催化转换器的排气系统组件控制排放。当然，还需要多种气体传感器，包括传感器，用于检测排气中的氮氧化物的含量。 现有的传感器一般都是八线制，引出线较多，从而影响后续的测量精度。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是:为了克服现有氮氧化物传感器的不足，本技术提供一种氮氧化物传感器。 本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种氮氧化物传感器，由多层长方形基片构成，加热体设置在其中一层基片上；其余各层中，具有三层相邻的基片形成沿基片长度方向依次设置的气体入口、第一腔室和第二腔室，第一腔室内设置有氧泵，第二腔室内设置有氧测量泵，第一腔室和第二腔室之间设置有扩散障碍部。 从上至下的第一层基片至第三层基片形成所述的气体入口、第一腔室和第二腔室，所述氧泵的电极由设置在第一层基片上、下表面的第一电极和第二电极组成，所述氧测量泵的电极由设置在第三层基片上、下表面的第三电极和第四电极组成，第三层基片上设有与大气相连的参比气体通道。 所述第一电极和第二电极上下对应设置，且第一电极和第二电极的长度布满或大致布满第一腔室的长度方向。 所述第三电极和第四电极上下对应设置，且第三电极设置在第二腔室中远离第一腔室的一端。 第四电极下表面覆盖有多孔氧化铝层，多孔氧化铝层的一端延伸到参比气体通道。 加热体设置在第四层基片与第五层基片之间，加热体的上下各有一层绝缘层。 所述加热体仅具有两个弓丨出端。 本技术的有益效果是，本技术的氮氧化物传感器，做到了六线制，结构得到优化，为后续的信号精度提高作了很好的铺垫。 【附图说明】 下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。 图1是本技术的氮氧化物传感器的工作原理图。 图2是本技术的氮氧化物传感器最优实施例的结构示意图。 图3是本技术的氮氧化物传感器中加热体的结构示意图。 图中10、第一层基片，20、第二层基片，21、气体入口，22、第一腔室，23、第二腔室，24、扩散障碍部，30、第三层基片，31、参比气体通道，40、第四层基片，50、第五层基片，60、加热体，70、绝缘层，80、氧泵，81、第一电极，82、第二电极，90、氧测量泵，91、第三电极，92、第四电极，93、多孔氧化铝层。 【具体实施方式】 现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。 如图1所示，本技术的一种氮氧化物传感器，由七层长方形基片构成，从上至下的第一层基片10至第三层基片30形成气体入口 21、第一腔室22和第二腔室23，第一腔室22内设置有氧泵80，第二腔室23内设置有氧测量泵90，第一腔室22和第二腔室23之间设置有扩散障碍部24。 所述氧泵80的电极由设置在第一层基片10上、下表面的第一电极81和第二电极82组成，所述氧测量泵90的电极由设置在第三层基片30上、下表面的第三电极91和第四电极92组成，第三层基片30上设有与大气相连的参比气体通道31。所述第一电极81和第二电极82上下对应设置,且第一电极81和第二电极82的长度布满或大致布满第一腔室22的长度方向。所述第三电极91和第四电极92上下对应设置，且第三电极91设置在第二腔室23中远离第一腔室22的一端。第四电极92下表面覆盖有多孔氧化铝层93，多孔氧化铝层93的一端延伸到参比气体通道31。第三电极91和第四电极92采用钼铑复合材料，既有钼又有铑的功能，从而能够在本技术的第二腔室23内只有一个氧测量泵90，既承担起电极分解的功能，即氧泵80的功能，又承担起测量的功能。 第四层基片40与第五层基片50之间设置有加热体60，加热体60的上下各有一层绝缘层70。如图3所示，加热体60仅具有两个引出端，传感器工作时，加热体60与加热回路串联，对加热体60两个引出端施加电压，进而测量阻值来控制加热体60温度。 如图1所示，尾气中含有勵义、02进入传感器的第一腔室22，氧泵80把尾气中含有的初始02泵出，在第一腔室22内只剩下顯2 ；在加热体60的高温作用下，^02分解成02和勵，分解后的02被第一腔室22的氧泵80泵出；勵进入第二腔室23，分解成02和队，通过氧测量泵90测出02的量，则可得出尾气中的勵X含量。 以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氮氧化物传感器，其特征在于：由多层长方形基片构成，加热体（60）设置在其中一层基片上；其余各层中，具有三层相邻的基片形成沿基片长度方向依次设置的气体入口（21）、第一腔室（22）和第二腔室（23），第一腔室（22）内设置有氧泵（80），第二腔室（23）内设置有氧测量泵（90），第一腔室（22）和第二腔室（23）之间设置有扩散障碍部（24）。

【技术特征摘要】
1.一种氮氧化物传感器，其特征在于:由多层长方形基片构成，加热体(60)设置在其中一层基片上；其余各层中，具有三层相邻的基片形成沿基片长度方向依次设置的气体入口(21)、第一腔室(22)和第二腔室(23)，第一腔室(22)内设置有氧泵(80)，第二腔室(23)内设置有氧测量泵(90)，第一腔室(22)和第二腔室(23)之间设置有扩散障碍部(24)。2.如权利要求1所述的氮氧化物传感器，其特征在于:从上至下的第一层基片(10)至第三层基片(30)形成所述的气体入口(21)、第一腔室(22)和第二腔室(23)，所述氧泵(80)的电极由设置在第一层基片(10)上、下表面的第一电极(81)和第二电极(82)组成，所述氧测量泵(90)的电极由设置在第三层基片(30)上、下表面的第三电极(91)和第四电极(92)组成，第三层基片(30)上设有与大气相连的参比气体通道(31...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘登，汤忠华，刘屿，滕卫星，陈烈，
申请(专利权)人：金坛鸿鑫电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32