The invention discloses a corrosion resistant glass melt micro pressure transmitter pressure sensitive core body comprises a metal base, a sensor chip and corrosion medium layer; the upper end of the metal base is provided with a pressure diaphragm diaphragm is arranged on the back cover, the pressure sensor chip, the metal base end is provided with a downward opening between the groove and the groove. The metal base to form a pressure chamber, the inner surface of the cavity is provided with a guide pressure corrosion medium layer; the corrosion medium layer with a dielectric layer and a corrosion resistant metal dielectric layer. The invention also discloses a method for sensing a core body of a corrosion resistant glass micro melting pressure transmitter. The invention has the advantages of providing a simple process and low cost, can continue to maintain a sense of molten glass micro pressure core structure simplicity, and can greatly enhance the glass micro melting pressure core is high temperature resistant and corrosion resistant properties, corrosion resistant glass greatly expand its applicability in different working environments the laser micro pressure transmitter pressure sensitive core body and manufacturing method thereof.
【技术实现步骤摘要】
一种耐腐蚀玻璃微熔压力变送器感压芯体及其制作方法
本专利技术涉及感压芯体
,尤其涉及一种耐腐蚀玻璃微熔压力变送器感压芯体及其制作方法。
技术介绍
玻璃微熔压力传感器是一种新型压力变送器,在汽车电子、航天军工、工业控制等领域都有广泛的应用。这种压力变送器的感压芯体创新性的使用17-4PH不锈钢作为芯体制造材料并基于整体车削工艺制造,利用具有高灵敏度的硅应变计作为压力感测芯片,采用耐高温、高可靠性的玻璃微熔工艺作为压力感测芯片和金属基座的粘接工艺。这种压力变送器为不锈钢一体结构适应高压力过载,能有效抵御瞬间压力冲击,无充油、无隔离膜片,无密封圈,绝无泄漏隐患能够实现最高600MPa的压力测量。17-4PH不锈钢具有一定的耐腐蚀特性,但是也有一定的局限性。在一些工业控制或者航天军工的工作场合,如钻井平台井下压力测量,压力变送器工作环境极度恶劣,工作介质具有强酸性、强碱性等强腐蚀性,且工作环境温度较高,工作介质会不断腐蚀感压芯体,使之产生零点及灵敏度偏移,使得压力变送器快速失效;或者在一些弱碱性或弱酸性的工作环境中,工作介质也会逐渐腐蚀感压芯体,降低压力变送器的使用寿命。专利压力传感器感应头201220187821.7中所提出的玻璃微熔压力变送器感压芯体,17-4PH不锈钢直接暴露于工作介质中,就存在这样的问题。为了进一步增强玻璃微熔压力变送器的适用性和可靠性,急需专利技术一种提高其感压芯体耐腐蚀特性的方法。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的不足,提供了一种工艺简单、成本低廉、既能继续保持玻璃微熔感压芯体的结构简洁性,又能大大增强玻璃微熔感压芯体 ...
【技术保护点】
一种耐腐蚀玻璃微熔压力变送器感压芯体,其特征在于,包括金属基座、传感器芯片和耐腐蚀介质层;所述金属基座的上端设有构成压力膜片的封底,压力膜片上设有传感器芯片,金属基座的下端设有开口向下的凹槽,凹槽与金属基座之间构成导压腔体,导压腔体的内表面设有耐腐蚀介质层;所述耐腐蚀介质层为特氟龙介质层或耐腐蚀金属介质层。
【技术特征摘要】
1.一种耐腐蚀玻璃微熔压力变送器感压芯体,其特征在于,包括金属基座、传感器芯片和耐腐蚀介质层;所述金属基座的上端设有构成压力膜片的封底,压力膜片上设有传感器芯片,金属基座的下端设有开口向下的凹槽,凹槽与金属基座之间构成导压腔体,导压腔体的内表面设有耐腐蚀介质层;所述耐腐蚀介质层为特氟龙介质层或耐腐蚀金属介质层。2.根据权利要求1所述的耐腐蚀玻璃微熔压力变送器感压芯体,其特征在于,还包括位于金属基座的外周的过程连接,所述过程连接具体为螺纹连接、快速接头或法兰连接。3.根据权利要求1所述的耐腐蚀玻璃微熔压力变送器感压芯体,其特征在于,所述传感器芯片具体为硅应变计,硅应变计上设有硅片,硅片上集成有四片应变片;所述四片应变片通过金属化沉积连成惠斯登电桥。4.根据权利要求3所述的耐腐蚀玻璃微熔压力变送器感压芯体,其特征在于,所述四片应变片均匀设置于硅片的四周。5.根据权利要求1所述的耐腐蚀玻璃微熔压力变送器感压芯体,其特征在于,所述特氟龙介质层采用的介质材料具体为PTFE、FEP、PFA和ETFE中的一种或多种。6.根据权利要求1所述的耐腐蚀玻璃微熔压力变送器感压芯体,其特征在于,所述耐腐蚀金属介质层采用的介质材料具体为金、铬中的一种或多种。7.根据权利要求1所述的耐腐蚀玻璃微熔压力变送器感压芯体,其特征在于,所述金属基座为17-4PH不锈钢制基座,传感器芯片采用玻...
【专利技术属性】
技术研发人员:盛文军,胡国俊,刘莹,
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第三十八研究所,
类型:发明
国别省市:安徽,34
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