The utility model relates to the field of monocrystalline silicon rod grinding and processing, aiming at providing a multifunctional grinding power head device for a single crystal silicon rod grinding equipment. The device includes three parts grinding feed components, grinding and grinding head vertical moving component of spindle components, each component separately and position control of proofreading; grinding feed assembly for lateral positioning installed on the grinding feed slider is installed on the mobile component of vertical grinding; grinding vertical moving component for positioning head mounted on the vertical spindle assembly the power head; grinding wheel spindle assembly for driving rotation in order to achieve the grinding; motor by frequency conversion motor coupling and power head spindle and the grinding wheel is fixedly connected and fixed on the grinding power head installing seat. The device can realize the dynamic head horizontal and vertical positioning, grinding wheel grinding plane, cylindrical and V slot; greatly reduce the complexity of grinding processing equipment, silicon rods, and greatly reduce manufacturing cost and bring the operation of equipment, manpower cost.
【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能磨削动力头装置
本技术属于单晶硅棒滚磨加工领域,具体涉及一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能磨削动力头装置。
技术介绍
近年来半导体行业和太阳能行业发展突飞猛进,硅单晶是最重要的半导体与光伏材料,它的产量需求也在不断提升。在硅单晶制备完成后需要对其进行加工,一般要完成平面与外圆的磨削工序,外圆工序后还需要在圆柱状晶棒的表面磨出一个轴向的V槽或者磨边,传统办法是用平面磨床和外圆磨床两台设备加工,需要频繁地在设备间进行人工搬运及加工前的装夹和定位操作,工作效率低,耗时长,且带来了定位误差。本装置提供了一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能磨削动力头装置,能够在一体设备中精确定位,同时加工平面、外圆及V槽,相比传统磨削效率不只高一倍,减少人力成本,提高加工精度。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是,克服现有技术中的不足,提供一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能磨削动力头装置。为解决技术问题,本技术的解决方案是:提供一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能磨削动力头装置,包括用于磨削的磨削砂轮,该装置包括磨削进给组件、磨削竖直移动组件和磨削动力头主轴组件三个部分,各组件分别控制和定位校对;其中,所述磨削进给组件用于横向定位安装于磨削进给滑块安装台上的磨削竖直移动组件;其中,磨削前后电机通过水平方向联轴器与磨削进给丝杆固定连接后安装在磨削进给导轨座上;磨削进给滑块安装台通过磨削进给丝杆螺母与磨削进给丝杆固定连接后,通过磨削进给导轨滑块和磨削进给导轨安装在磨削进给导轨座上;所述磨削竖直移动组件用于纵向安装于其上的定位动力头主轴组件;其中,磨削竖直导轨座与磨削进给 ...
【技术保护点】
一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能磨削动力头装置,包括用于磨削的磨削砂轮,其特征在于,该装置包括磨削进给组件、磨削竖直移动组件和磨削动力头主轴组件三个部分,各组件分别控制和定位校对;其中,所述磨削进给组件用于横向定位安装于磨削进给滑块安装台上的磨削竖直移动组件;其中,磨削前后电机通过水平方向联轴器与磨削进给丝杆固定连接后安装在磨削进给导轨座上;磨削进给滑块安装台通过磨削进给丝杆螺母与磨削进给丝杆固定连接后,通过磨削进给导轨滑块和磨削进给导轨安装在磨削进给导轨座上;所述磨削竖直移动组件用于纵向安装于其上的定位动力头主轴组件;其中,磨削竖直导轨座与磨削进给滑块安装台固定连接;磨削垂直电机、减速器通过竖直方向联轴器与磨削竖直丝杆固定连接后安装在磨削竖直导轨座上;磨削动力头安装座通过磨削竖直丝杆螺母与磨削竖直丝杆固定连接后,通过磨削竖直滑块和磨削竖直导轨安装在磨削竖直导轨座上;所述动力头主轴组件用于驱动磨削砂轮转动以实现磨削;其中,电机通过变频电机联轴器与动力头主轴和磨削砂轮固连后,固定于磨削动力头安装座上。
【技术特征摘要】
1.一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能磨削动力头装置,包括用于磨削的磨削砂轮,其特征在于,该装置包括磨削进给组件、磨削竖直移动组件和磨削动力头主轴组件三个部分,各组件分别控制和定位校对;其中,所述磨削进给组件用于横向定位安装于磨削进给滑块安装台上的磨削竖直移动组件;其中,磨削前后电机通过水平方向联轴器与磨削进给丝杆固定连接后安装在磨削进给导轨座上;磨削进给滑块安装台通过磨削进给丝杆螺母与磨削进给丝杆固定连接后,通过磨削进给导轨滑块和磨削进给导轨安装在磨削进给导轨座上;所述磨削竖直移动组件用于纵向安装于其上的定位动力头主轴组件;其中,磨削竖直导轨座与磨削进给滑块安装台固定连接;磨削垂直电机、减速器通过竖直方向联轴器与磨削竖直丝杆固定连接后安装在磨削竖直导轨座上;磨削动力头安装座通过磨削竖直丝杆螺母与磨削竖直丝杆固定连接后,通过磨削竖直滑块和磨削竖直导轨安装在磨削竖直导轨座上;所述动力头主轴组件用于驱动磨削砂轮转动以实现磨削;其中,电机通过变频电机联轴器与动...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹建伟,沈文杰,严浩,傅林坚,吴兵兵,何守龙,谢龙辉,王凯,邱敏秀,
申请(专利权)人:浙江晶盛机电股份有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。