The invention discloses a method of laser control of nanostructured silicon surface morphology based on silicon substrate, a nano structure materials in contact with different thermal conductivity; the surface of silicon substrate two, laser irradiation of nano structure; three, to observe and measure the surface morphology of silicon, silicon surface raised the ratio of length to diameter. Four. Summarize the change law of surface morphology of silicon substrate. The invention has the following characteristics: firstly, the surface morphology of the nano structure silicon substrate is changed by contacting the thermal conductivity of the material. Second, the laser irradiation of nano structured silicon substrate, clean, environmental protection, without any pollution. Thirdly, the time required for changing the surface morphology of the nanostructured silicon substrate is short and the efficiency is high.
【技术实现步骤摘要】
基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法
本专利技术属于纳米结构研究
,具体涉及一种基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法。
技术介绍
纳米结构的硅基材料是以硅材料为基础发展起来的新型材料,在MEMS(微机电系统)领域内发挥着越来越重要的作用。随着MEMS(微机电系统)的不断发展和完善,这些微型器件上所要求的硅基表面形态也变的越来越复杂和多样化。目前已经能够在纳米结构的硅基材料上成型出硅基表面形态,但该技术还不太成熟,主要表现在如何去控制硅基表面形态。对于改变纳米结构硅基材料上的硅基表面形态,目前比较通用的是美国的湿法刻蚀技术。该技术是通过反复的湿法刻蚀,从而实现控制纳米结构硅基表面形态。该技术的缺陷在于第一次刻蚀出来的硅基表面形态会影响第二次刻蚀的表面形态,使第二次刻蚀的硅基表面形态出现失真,这样的硅基表面形态显然不是很理想。
技术实现思路
基于上述现有技术存在的缺陷,本专利技术将提出一种基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法。本专利技术采取如下技术方案:第一技术方案:激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法,具体可按如下步骤:步骤一、分别用不同导热率的材料接触纳米结构的硅基板;步骤二、激光照射纳米结构的硅基板表面;步骤三、可以在AFM(原子力显微镜)下观察硅基表面形态,并且测量硅基表面相应凸起的长径比。步骤四、总结硅基表面形态的变化规律。优选的,不同导热率的材料选用:绝热材料、同种材料、导热材料。优选的,绝热材料选用石棉、同种材料选用硅、导热材料选用铝。第二技术方案:激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法,其按如下步骤:步骤一,用不同导热率的 ...
【技术保护点】
基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法,其特征是按如下步骤:一、分别用不同导热率的材料接触纳米结构的硅基板;二、激光照射纳米结构的硅基板表面;三、观察硅基表面形态,并测量硅基表面凸起的长径比。四、总结硅基表面形态的变化规律。
【技术特征摘要】
1.基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法,其特征是按如下步骤:一、分别用不同导热率的材料接触纳米结构的硅基板;二、激光照射纳米结构的硅基板表面;三、观察硅基表面形态,并测量硅基表面凸起的长径比。四、总结硅基表面形态的变化规律。2.如权利要求1所述基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法,其特征是:不同导热率的材料选用:绝热材料、同种材料、导热材料。3.如权利要求2所述基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法,其特征是:绝热材料选用石棉、同种材料选用硅、导热材料选用铝。4.基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法,其特征是按如下步骤:步骤一,用不同导热率的材料接触纳米结构的硅基板四周;步骤二,激光对纳米结构的硅基板进行照射;步骤三,关闭激光,观察激光照射后的硅基板;步骤四,测量硅基板的表面形态。5.如权利要求4所述基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研...
【专利技术属性】
技术研发人员:张俐楠,程从秀,郑伟,吴立群,王洪成,
申请(专利权)人:杭州电子科技大学,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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