The invention provides a method for forming an inclined crack in a brittle material substrate and a substrate disconnection method. Including the method of inclined crack formation on the brittle material substrate: slot forming process, which has included the tip of the ridge line tool slide on a main surface of a brittle material substrate or rolling forming slot, the slot line is the slot line; and crack formation process, just below the slot line the crack in the slot forming step, in the direction of the formation of diamond graver in the horizontal plane from the slot line according to the provisions of the tilt angle of the tilt state, forming a slot to slot line just below to maintain no crack state, in the crack forming process, so as to inclined crack main surface of brittle material substrate inclined from the extended slot line.
【技术实现步骤摘要】
脆性材料基板中倾斜裂纹的形成方法和基板断开方法
本专利技术涉及用于断开脆性材料基板的方法,尤其涉及在断开脆性材料基板时形成倾斜裂纹的方法。
技术介绍
平板显示器面板或者太阳能电池面板等的制造流程一般包括断开由玻璃基板、陶瓷基板、半导体基板等脆性材料构成的基板(母基板)的工序。对于这样的断开,广泛采用了使用金刚石刻刀、刀轮等划线工具在基板表面形成划线,并使裂纹(垂直裂纹)从该划线向基板厚度方向扩展的方法。当形成了划线时,垂直裂纹往往会在厚度方向上完全扩展而使基板断开,但是,垂直裂纹有时也会在厚度方向上仅局部扩展。在后者的情况下,当形成了划线之后会进行被称为断开工序的应力施加。通过断开工序使垂直裂纹在厚度方向上完全扩展下去,从而沿着划线将基板断开。作为上述这样的通过形成划线来使垂直裂纹扩展的方法,已经公知的有:形成也被称为辅助线的、在使垂直裂纹扩展时成为起点(触发)的线状加工痕的方法(例如参照专利文献1)。先行技术文献专利文献专利文献1:日本特开2015-74145号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题在多数情况下,使上述各种脆性材料基板在厚度方向上断开是垂直于基板主面进行的,但有时也会有意想要以断开面相对于基板主面倾斜的方式来进行断开。这样的断开是通过使裂纹相对于基板主面斜向扩展来实现的,但在专利文献1中,关于利用形成辅助线的方法来形成上述那样的裂纹(倾斜裂纹)的方式,既没有进行任何公开也没有给出任何启示。本专利技术是鉴于上述技术问题而作出的,其目的在于,提供在脆性材料基板中形成倾斜裂纹的新的方法。用于解决技术问题的方案为解决上述技术问题,本专利技术的第 ...
【技术保护点】
一种脆性材料基板中倾斜裂纹的形成方法,用于在脆性材料基板中形成倾斜裂纹,其特征在于,包括:槽线形成工序,通过使具有包含棱线的刀尖的划线工具沿着所述脆性材料基板的一个主面的预定的断开位置滑动或者滚动,从而形成槽线,所述槽线是线状的槽部;以及裂纹形成工序,使所述槽线的正下方产生裂纹,所述槽线形成工序中,在使所述划线工具的所述棱线于水平面内从规定方向按规定的倾斜角倾斜的状态下,以于所述槽线的正下方维持无裂纹状态的方式形成所述槽线,所述裂纹形成工序中,使倾斜裂纹从所述槽线扩展,所述倾斜裂纹是相对于所述脆性材料基板的主面倾斜的裂纹。
【技术特征摘要】
2015.08.31 JP 2015-1704371.一种脆性材料基板中倾斜裂纹的形成方法,用于在脆性材料基板中形成倾斜裂纹,其特征在于,包括:槽线形成工序,通过使具有包含棱线的刀尖的划线工具沿着所述脆性材料基板的一个主面的预定的断开位置滑动或者滚动,从而形成槽线,所述槽线是线状的槽部;以及裂纹形成工序,使所述槽线的正下方产生裂纹,所述槽线形成工序中,在使所述划线工具的所述棱线于水平面内从规定方向按规定的倾斜角倾斜的状态下,以于所述槽线的正下方维持无裂纹状态的方式形成所述槽线,所述裂纹形成工序中,使倾斜裂纹从所述槽线扩展,所述倾斜裂纹是相对于所述脆性材料基板...
【专利技术属性】
技术研发人员:岩坪佑磨,曾山浩,
申请(专利权)人:三星钻石工业股份有限公司,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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