【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于操作具有进给与施配传感器、过滤与施配确认及过滤器的减压注给的泵的系统及方法相关申请案的交叉参考本申请案主张来自2014年5月28日提出申请的第62/004,117号美国临时申请案的优先权权益,所述临时申请案(包含附件)以全文引用的方式并入本文中。
本专利技术一般来说涉及流体泵。更特定来说,本文中揭示的实施例涉及单级泵及多级泵,包含用于半导体制造的泵。甚至更特定来说,本专利技术的实施例涉及操作泵,及/或确认泵的各种操作或动作,包含过滤确认、施配确认、空气检测及泵中的过滤器的减压注给。
技术介绍
存在针对其对泵送设备施配流体的量及/或速率的精确控制是必要的许多应用。举例来说,在半导体处理中,控制将例如光致抗蚀剂化学品等光化学品施加到半导体晶片的量及速率是重要的。在处理期间施加到半导体晶片的各涂层通常需要以埃为单位测量的跨越晶片的表面的均匀一致平坦度。必须仔细地校准且精确地控制将处理化学品施加到晶片的速率,以确保准确且均匀地施加处理液体(即,含有所述化学品的半导体制造工艺流体)。用于半导体工业中的许多光化学品目前是非常昂贵的,通常花费高达一公升1,000美元。因此,确保使用最小但充足量的化学品并确保泵送设备不破坏含有化学品的工艺液体或流体是优选的。然而,在泵送设备的操作期间的各种状况可造成压力尖峰或压力降,此可破坏工艺流体(即,可不利地改变工艺流体的物理性质),导致施配太多或太少工艺流体,或将不利动力引入到工艺流体的施配操作中。泵送设备内发生的其它状况还可阻止工艺流体的恰当施配。这些状况可由工艺本身的时序改变引起。当这些状况发生时,结果可为工艺流体到晶片上的 ...
【技术保护点】
一种多级泵,其包括:入口阀,其用于调节工艺流体的进入;进给级部分,其在所述入口阀下游;过滤器,其在所述进给级部分下游;施配级部分,其在所述过滤器下游;及出口阀,其用于调节所述工艺流体的流出;其中所述进给级部分包括进给级泵及压力传感器;其中所述进给级泵包括:进给室;进给级隔膜,其在所述进给室内移动且使所述工艺流体在所述进给室中位移;活塞,其使所述进给级隔膜移动;导螺杆,其耦合到所述活塞以致使所述活塞致动;及进给电动机,其驱动所述导螺杆;且其中所述压力传感器安装于所述进给室的侧壁上以检测所述进给室中的流体压力。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.05.28 US 62/004,1171.一种多级泵,其包括:入口阀,其用于调节工艺流体的进入;进给级部分,其在所述入口阀下游;过滤器,其在所述进给级部分下游;施配级部分,其在所述过滤器下游;及出口阀,其用于调节所述工艺流体的流出;其中所述进给级部分包括进给级泵及压力传感器;其中所述进给级泵包括:进给室;进给级隔膜,其在所述进给室内移动且使所述工艺流体在所述进给室中位移;活塞,其使所述进给级隔膜移动;导螺杆,其耦合到所述活塞以致使所述活塞致动;及进给电动机,其驱动所述导螺杆;且其中所述压力传感器安装于所述进给室的侧壁上以检测所述进给室中的流体压力。2.根据权利要求1所述的多级泵,其中所述压力传感器相对于所述进给室的所述侧壁以一角度安装于所述进给室的所述侧壁上,使得所述压力传感器的感测部分指向上。3.根据权利要求1所述的多级泵,其中由所述压力传感器检测的所述进给室中的所述流体压力用于过滤确认中,其中所述过滤确认包括:至少部分地基于由所述压力传感器检测的所述进给室中的所述流体压力而确定操作填充压力分布曲线;将所述操作填充压力分布曲线与参考填充压力分布曲线进行比较;及确定是否产生警报。4.根据权利要求3所述的多级泵,其中所述警报是警告类型或错误类型。5.根据权利要求1所述的多级泵,其中由所述压力传感器检测的所述进给室中的所述流体压力用于空气检测测试中,其中所述空气检测测试包括:隔离所述多级泵的包含所述进给室的一部分;控制所述进给电动机以使所述经隔离部分达到第一压力;将所述进给电动机移动固定距离;使用所述压力传感器检测第二压力;及确定指示所述第一压力与所述第二压力之间的改变的压差,其中所述压差与包含所述进给室的所述经隔离部分中的空气量相关。6.根据权利要求5所述的多级泵,其中所述多级泵的所述经隔离部分包含所述进给室及所述过滤器。7.根据权利要求1所述的多级泵,其中由所述压力传感器检测的所述进给室中的所述流体压力用于过滤器注给例程中。8.根据权利要求7所述的多级泵,其中所述过滤器注给例程包括:确定所述多级泵的包含所述进给室及所述过滤器的经隔离部分是否已达到负压或减压;及在所述负压或减压下将所述过滤器浸泡于所述工艺流体中达一段时间,以在所述多级泵的所述经隔离部分中从所述工艺流体脱气或者去除气体或气泡。9.一种泵送系统,其包括:流体源;多级泵,其与所述流体源流体连通;泵控制器,其经由一或多个网络通信链路以通信方式连接到所述多级泵;其中所述多级泵包括:入口阀,其用于调节工艺流体的进入;进给级部分,其在所述入口阀下游;过滤器,其在所述进给级部分下游;施配级部分,其在所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:詹姆斯·切德罗内,伊莱·盖许盖伊,乔治·L·葛诺拉,
申请(专利权)人:恩特格里斯公司,
类型:发明
国别省市:美国,US
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