The invention discloses a solar battery coated graphite boat, including graphite boat body, in which the graphite boat in the sheet body is provided with a plurality of spring slot, each spring is provided with a clamping groove corresponding to the spring to pull the electromagnet fixed card slot solar cell coating process of silicon film. Compared with the prior art, the invention in artificial insert or machine inserted when the electromagnet not energized, spring slot open slot large space to avoid friction between silicon and graphite boat; inserted after the completion of the electromagnet in the electromagnet force spring slot contraction will be fixed on the silicon wafer the graphite boat in the sheet body, which can avoid scratches the surface of the silicon wafer, the advantages of reducing the non-performing rate of solar products. The invention also provides a solar cell coating graphite boat with the graphite boat sheet.
【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池镀膜石墨舟片及石墨舟
本专利技术涉及太阳能电池镀膜治具
,尤其涉及一种太阳能电池镀膜石墨舟片和石墨舟。
技术介绍
在光伏太阳能行业,太阳能电池的制造要经过制绒,扩散,刻蚀,镀膜,丝网印刷和烧结六大工序。其中,镀膜工序的目的是采用等离子增强化学气相沉积的方法在硅片正面镀氮化硅膜,减少太阳光反射以及对硅片表面起钝化作用。目前,光伏行业大多采用管式PECVD对硅片镀膜,硅片通过手动或者机械动力插入石墨舟内,然后将石墨舟放入炉管中镀膜。石墨舟的单元舟片上设置有若干个固定卡槽,将硅片进行固定。由于卡槽的槽内尺寸较小,在插片过程中,硅片的表面容易被划伤,形成划痕,导致产生较多不合格产品。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能减少太阳能电池在镀膜工艺过程中硅片表面划伤的石墨舟片。为实现上述目的,本专利技术所采用的技术方案为:一种太阳能电池镀膜石墨舟片,包括石墨舟片本体,在所述石墨舟片本体内设置有若干个弹簧卡槽,每个弹簧卡槽内相应设有一可将弹簧卡槽吸合从而固定太阳能电池镀膜工艺中硅片的电磁铁。与现有技术相比,本专利技术通过在石墨舟片本体内设置有若干个弹簧卡槽,每个弹簧卡槽内相应设有一可将弹簧卡槽吸合从而固定太阳能电池镀膜工艺中硅片的电磁铁,在人工插片或机器插片时,电磁铁没通电,弹簧卡槽打开,较大的卡槽空间避免硅片与石墨舟片之间的摩擦;插片完成后,电磁铁通电,在电磁铁吸力的作用下弹簧卡槽收缩将硅片固定在石墨舟片本体内,具有避免硅片的表面产生划痕,减少太阳能电池产品的不良率的优点。作为本专利技术的一种改进,所述石墨舟片本体为中空结构。作为本专利技术的一 ...
【技术保护点】
一种太阳能电池镀膜石墨舟片,其特征在于:包括石墨舟片本体,在所述石墨舟片本体内设置有若干个弹簧卡槽,每个弹簧卡槽内相应设有一可将弹簧卡槽吸合从而固定太阳能电池镀膜工艺中硅片的电磁铁。
【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池镀膜石墨舟片,其特征在于:包括石墨舟片本体,在所述石墨舟片本体内设置有若干个弹簧卡槽,每个弹簧卡槽内相应设有一可将弹簧卡槽吸合从而固定太阳能电池镀膜工艺中硅片的电磁铁。2.按照权利要求1所述的一种太阳能电池镀膜石墨舟片,其特征在于:所述石墨舟片本体为中空结构。3.按照权利要求1所述的一种太阳能电池镀膜石墨舟片,其特征在于:所述弹簧卡槽包括两个支架及两端分别与所述支架连接的弹簧。4.按照权利要求3所述的一种太阳能电池镀膜石墨舟片,其特征在于:所述支架为L型。5.按照权利要求3所述的一种太阳能电池镀膜石墨舟片,其特征在于:所述电磁铁位于两个所述支架之间。6.按照权利要求3所述的一种太阳能...
【专利技术属性】
技术研发人员:何达能,方结彬,秦崇德,王建迪,陈刚,
申请(专利权)人:广东爱康太阳能科技有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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