真空热压炉用水冷压头制造技术

本实用新型专利技术涉及真空热压炉技术领域，公开了一种真空热压炉用水冷压头，它包括压头本体、压盖，压头本体分为压头上部、压头中部和石墨压头三部分，压头上部与压头中部焊接在一起，压头中部与石墨压头通过法兰连接在一起，石墨压头延伸至真空热压炉炉腔内，压头中部的中心设有中心冷水管道，压头中部的侧壁外设有外水套，中心冷水管道的底部通过连通管与外水套相连接，压盖与安装短管的管口通过螺栓相连接。本实用新型专利技术采用中心冷水管道与外水套的双水冷形式，既增加了密封圈的冷却效果，又能降低压头本体的温度，提高了压头的耐高温特性，延长了密封圈的使用寿命；采用V形夹织物橡胶材料的密封圈，保证了设备的真空密封性能。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空热压炉
，具体的说是一种具有高温密封性和高耐压能力的真空热压炉用水冷压头。
技术介绍
ITO靶材（氧化铟锡靶材）是生产ITO透明导电膜玻璃真空镀膜的原料，要求在工作压力50T～300T中压、10-1Pa中真空和1600℃～2000℃高温环境下成型。由于耐高温高压压头部件是制取高强度ITO靶材设备的必要部件，该部件的密封性和耐热耐压能力直接影响设备的正常运行。生产该ITO靶材设备的压头承受的最高温度2200℃，最大压力630吨，其对压头部件的强度和密封需要有更高的要求，必须在保证密封性的同时兼具高强度。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种真空热压炉用水冷压头，以满足生产ITO靶材真空热压炉的压头所承受的高温、高压的需求。为解决上述问题，本技术所采取的技术方案为：一种真空热压炉用水冷压头，该压头贯穿真空热压炉炉壁上的安装短管，它包括压头本体、压盖，所述压头本体分为压头上部、压头中部和石墨压头三部分，压头上部与压头中部焊接在一起，压头中部与石墨压头通过法兰连接在一起，石墨压头延伸至真空热压炉炉腔内，压头中部的中心设有中心冷水管道，压头中部的侧壁外设有外水套，中心冷水管道的底部通过连通管与外水套相连接，压盖与安装短管的管口通过螺栓相连接。作为本技术的进一步改进，所述外水套的外壁与安装短管的内壁之间依次填充有两个密封圈、钢套。作为本技术的更进一步改进，所述两个密封圈之间设有隔环。作为本技术的更进一步改进，所述密封圈为V型夹织物橡胶密封圈。作为本技术的更进一步改进，所述压头中部与石墨压头的连接处设有绝热棉。作为本技术的更进一步改进，所述中心冷水管道的顶部设有进水管、出水管。本技术在使用时，在中心冷水管道与外水套中注入冷水，既增加了密封圈的冷却效果，又能降低压头本体的温度。本技术的有益效果为：（1）本技术采用中心冷水管道与外水套的双水冷形式，既增加了密封圈的冷却效果，又能降低压头本体的温度，提高了压头的耐高温特性，延长了密封圈的使用寿命；（2）本技术采用耐高压的V形夹织物橡胶材料的密封圈，保证了压头与真空热压炉炉腔的真空密封性；（3）本技术在压头中部与石墨压头的连接处设有绝热棉，将石墨压头与金属压头隔开，由于绝热棉的抗压特性，其可以在绝热的同时确保整体压头的强度不受影响，降低了真空热压炉在2200℃作业高温时金属压头端部的温度，减少了金属压头在高温时的变形，延长了设备的使用寿命；（4）本技术具有结构紧凑，维护方便的特点。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2密封结构的局部放大示意图图中：1、压头本体，2、压盖，3、密封圈，4、隔环，5、铜套，6、法兰，7、绝热棉，8、石墨压头，9、压头上部，10、压头中部，11、安装短管，101、中心冷水管道，102、外水套，103、连通管，104、出水管，105、进水管。具体实施方式下面结合附图对本技术作进一步详细的说明。如图1所示的一种真空热压炉用水冷压头，该压头贯穿真空热压炉炉壁上的安装短管11，它包括压头本体1、压盖2,压头本体1分为压头上部9、压头中部10和石墨压头8三部分，压头上部9与压头中部10焊接在一起，压头中部10与石墨压头8通过法兰6连接在一起，压头中部10与石墨压头8的连接处设有绝热棉7。石墨压头8延伸至真空热压炉炉腔内，压头中部10的中心设有中心冷水管道101，压头中部10的侧壁外设有外水套102，中心冷水管道101的底部通过连通管103与外水套102相连接，顶部设有进水管105,出水管104。压盖2与安装短管11的管口通过螺栓相连接。外水套102的外壁与安装短管11的内壁之间依次填充有两个V型夹织物橡胶材料的密封圈3、钢套5。两个密封圈3之间设有隔环4。本技术在使用时，在中心冷水管道101与外水套102中注入冷水，既增加了密封圈3的冷却效果，又能降低压头本体1的温度。本技术采用中心冷水管道与外水套的双水冷形式，既增加了密封圈的冷却效果，又能降低压头本体的温度，提高了压头的耐高温特性，延长了密封圈的使用寿命；本技术采用耐高压的V形夹织物橡胶材料的密封圈，保证了压头与真空热压炉炉腔的真空密封性。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空热压炉用水冷压头，该压头贯穿真空热压炉炉壁上的安装短管（11），它包括压头本体（1）、压盖（2）,其特征在于：所述压头本体（1）分为压头上部（9）、压头中部（10）和石墨压头（8）三部分，压头上部（9）与压头中部（10）焊接在一起，压头中部（10）与石墨压头（8）通过法兰（6）连接在一起，石墨压头（8）延伸至真空热压炉炉腔内，压头中部（10）的中心设有中心冷水管道（101），压头中部（10）的侧壁外设有外水套（102），中心冷水管道（101）的底部通过连通管（103）与外水套（102）相连接，压盖（2）与安装短管（11）的管口通过螺栓相连接。

【技术特征摘要】
1.一种真空热压炉用水冷压头，该压头贯穿真空热压炉炉壁上的安装短管（11），它包括压头本体（1）、压盖（2）,其特征在于：所述压头本体（1）分为压头上部（9）、压头中部（10）和石墨压头（8）三部分，压头上部（9）与压头中部（10）焊接在一起，压头中部（10）与石墨压头（8）通过法兰（6）连接在一起，石墨压头（8）延伸至真空热压炉炉腔内，压头中部（10）的中心设有中心冷水管道（101），压头中部（10）的侧壁外设有外水套（102），中心冷水管道（101）的底部通过连通管（103）与外水套（102）相连接，压盖（2）与安装短管（11）的管口通过螺栓相连接。
2.根据权利要求1所述的真空热压炉用水冷压头...

【专利技术属性】
技术研发人员：王顺英，马强，李世珍，李春辉，张文静，龙国梁，
申请(专利权)人：兰州真空设备有限责任公司，
类型：新型
国别省市：甘肃;62