真空低温环境下底板温度控制方法及其系统技术方案

本发明专利技术提供一种真空低温环境下底板温度控制方法及其系统，系统包括油循环泵以及设在真空容器内底板上的底板温度传感器，所述油循环泵与所述真空容器通过油管路连接，所述油管路上设有管路温度传感器和换热器，所述换热器上连接压缩机，所述压缩机与所述换热器之间设有制冷阀，所述制冷阀上连接控制器，所述控制器分别与所述管路温度传感器和所述底板温度传感器连接。其解决了现有真空容器内底板温度控制需要加热器辅助，导致功耗大、底板上温度采集滞后、调温时间长的技术问题。本发明专利技术可广泛应用于真空低温环境下的温度控制领域。泛应用于真空低温环境下的温度控制领域。泛应用于真空低温环境下的温度控制领域。

【技术实现步骤摘要】
真空低温环境下底板温度控制方法及其系统


[0001]本专利技术涉及一种温度控制方法及其系统，特别是涉及一种真空低温环境下底板温度控制方法及其系统。

技术介绍

[0002]现有技术中，使用压缩机进行真空低温环境下底板温度控制需要加热器辅助才能达到要求的控温温度。这种工作模式需要使用循环泵作为油循环的动力，循环泵工作时无法避免油温升高问题，造成设备运行时能耗增多，控制变量增多，导致流程管路和控温过程复杂。真空环境下温度传导慢，底板上的温度传感器采集温度会出现滞后，恒温过程中底板温度需要经过多次波动才能稳定，温度达到稳定所需时间较长，降温过程容易出现超过设定温度的情况。

技术实现思路

[0003]本专利技术针对现有真空容器内底板温度控制需要加热器辅助，导致功耗大、底板上温度采集滞后、调温时间长的技术问题，提供一种功耗较低、减少调温过程中的温度波动、能够较快实现恒温的真空低温环境下底板温度控制方法及其系统。
[0004]为此，本专利技术的技术方案是，一种真空低温环境下底板温度控制系统，包括油循环泵以及设在真空容器内底板上的底板温本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空低温环境下底板温度控制系统，其特征在于，包括油循环泵以及设在真空容器内底板上的底板温度传感器，所述油循环泵与所述真空容器通过油管路连接，所述油管路上设有管路温度传感器和换热器，所述换热器上连接压缩机，所述压缩机与所述换热器之间设有制冷阀，所述制冷阀上连接控制器，所述控制器分别与所述管路温度传感器和所述底板温度传感器连接。2.根据权利要求1所述的真空低温环境下底板温度控制系统，其特征在于，所述油管路与所述真空容器的底板连接。3.根据权利要求2所述的真空低温环境下底板温度控制系统，其特征在于，所述油管路包括油管路I和油管路II，所述油管路I与所述油循环泵的出口相连，所述油管路II与所述油循环泵的进口相连，所述换热器和所述管路温度传感器均设在所述油管路I上。4.根据权利要求3所述的真空低温环境下底板温度控制系统，其特征在于，所述管路温度传感器设在换热器与真空容器之间的油管路I上，用于监测经过所述换热器换热后、进入真空容器前的油管路I内循环油的温度；所述底板温度传感器用于监测真空容器内底板的温度。5.一种应用权利要求1
‑
4中任一的真空低温环境下底板温度控制方法，其特征在于，具体步骤为：(1)系统运行时，油循环泵、压缩机开始工作，同时打开制冷阀，在换热器的作用下，油管路中的循环油温度开始下降，进而带动油管路和真空容器内的底板温度下降；(2)设底板的目标温度为TS，管路温度传感器实测温度为T1，底板温度传感器实测温度为T2，控制器比较底板的目标温度和管路温度传感器的温度差值
△
t1，即TS
‑<...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏其嵩，闫格，颜昌林，马宏，朱乐乐，潘宁盈，黎艳，
申请(专利权)人：兰州真空设备有限责任公司华宇分公司，
类型：发明
国别省市：