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本发明提供一种真空低温环境下底板温度控制方法及其系统，系统包括油循环泵以及设在真空容器内底板上的底板温度传感器，所述油循环泵与所述真空容器通过油管路连接，所述油管路上设有管路温度传感器和换热器，所述换热器上连接压缩机，所述压缩机与所述换热器...
该专利属于兰州真空设备有限责任公司华宇分公司所有，仅供学习研究参考，未经过兰州真空设备有限责任公司华宇分公司授权不得商用。

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