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改良的光阻预烤炉加热装置制造方法及图纸

技术编号:14849069 阅读:147 留言:0更新日期:2017-03-17 22:54
本发明专利技术有关于一种改良的光阻预烤炉加热装置,特别是指一种运用在液晶显示装置(LCD)制程上的光阻预烤炉内环边加热器,藉由腔体内侧边的加热装置,使加热区域能达到均匀的受热,有效提升产品品质及生产合格率。其主要是由腔体、加热器、热板、温度感应器及内环边加热器所组成,该腔体为一容槽状,底部为支撑底板,位于该支撑底板上方设有该加热器,能对该加热器上的热板进行加热,而该热板内或该加热器内设置有该温度感应器,藉以侦测热板各区域的温度,且该腔体内侧装设有该内环边加热器,能加强该热板端边的受热,达到该热板的全区域的均匀温度,使放置在热板上的玻璃基板达到均匀的烘烤。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术有关于一种改良的光阻预烤炉加热装置,其是利用于腔体外环边设置一内环边加热器,以改善热板端边不足的热度,使热板的温度达到均温。
技术介绍
按,玻璃基板是液晶显示装置(TFT-LCD)的主要制程原料,就是俗称的母玻璃或素玻璃,是一种高精密透明的电子零件,玻璃在液晶显示装置(TFT-LCD)产业中扮演的角色好比是半导体产业中的晶圆,因此液晶显示装置(TFT-LCD)产业对玻璃基板表面精密度的要求近乎完美。其次,液晶显示装置(TFT-LCD)的制程是分别利用两块无碱玻璃基板,于无碱玻璃基板表面构装彩色滤色片与IC电路,并将玻璃基板表面经过干式蚀刻,将红、蓝、绿三原色与黑色以微细的结构建置于玻璃表面,成为彩色滤色片,IC驱动电路则利用半导体制程,再将CMOS电路建置于玻璃表面,玻璃基板的功能是作为彩色滤色片与IC驱动电路的承载材料,而液晶显示装置(TFT-LCD)制程需要真空蒸镀与蚀刻,所以玻璃基板,必须要能忍受强酸强碱的腐蚀、高温的制程环境,并且必须具备非常精密的表面平整度与平面起伏度。因此,玻璃基板在制造过程中的每个流程都非常精细,其中,当涂抹光阻液后,需经过烘烤将感光剂及光阻液等化学物质挥发,此时,请配合参阅图1所示,该基板1进行烘烤时,是将基板1放在热板11上,再藉由热板11的热度使基板1表面的化学物质挥发,在此过程中,其温度高达约70~150℃,且热板11的热源来自于底部的加热器12,而该加热器12则以1~15个区域设置在热板11下方,使热板11中央、环边或端边能尽量保持均衡的温度,然而,尽管热板11已经设置1~15个区域来控制温度,却还是无法在烘烤过程中保持均温,加上每一相邻区域的温度会互相干扰,使得烘烤效果不佳,而影响液晶显示装置的生产品质。有鉴于此,专利技术人特别针对热板端边受热不足的缺失进行改良,而研发一种内环边加热器,使热源除了底部的加热器外,更于腔体侧边进行加热,能将热板内的温度达到均匀一致,藉以将进行烘烤的玻璃基板达到均衡的受热,有效降低生产的不合格率,而为一理想的光阻预烤炉腔体内均匀加热的结构。
技术实现思路
本专利技术有关于一种改良的光阻预烤炉内环边加热器,特别是指一种运用在液晶显示装置(LCD)制程上的光阻预烤炉内环边加热器,藉由腔体内侧边的加热装置,使加热区域能达到均匀的受热,有效提升产品品质及生产合格率。其主要是由腔体、加热器、热板、温度感应器及内环边加热器所组成,该腔体为一容槽状,底部为支撑底板,并能于顶面盖合一上盖板而形成一封闭的加热空间,位于该腔体一侧设有入口,供置入玻璃基板,而于任一侧边开设有排风口,且于该支撑底板上方设有该加热器,能对该加热器上的热板进行加热,并于该热板上分成有多个小分区,该小分区是由多个独立设置的加热器分别投影至热板上所产生,位于该小分区内或该加热器内设有该温度感应器,使得该每一小分区具有独立的温度控制,而该腔体内侧装设有该内环边加热器,其是利用电热丝产生热源,确实加强热板端边的受热,将热板内全区域的温度调整至均衡一致,以提升加热玻璃基板的效能。当光阻预烤炉腔体内进行烘烤作业时,是先将玻璃基板由入口置入腔体内,然后将入口封闭,使腔体形成一封闭空间,仅保留侧边的排风口,以便于空气流通,而位于腔体内的热板,受加热器的加温,使其达到约70~150℃的温度,藉以将挥发玻璃基板表面的光阻溶剂及固化光阻,当烘烤一段时间后,该热板的每一小分区的温度会有些微的变化,一般来说,位于热板中央的温度通常高于端边,而容易导致玻璃基板的受热不均,此时维持热板的均温相当重要,虽然将热板分成多区加热可达到小分区的温度改善,但热板端边的温度却不易掌握,主要因为腔体内为密闭空间,所以温度还是容易集中在中央及环边,所以四周端边的温度偏低,而影响整体温度的一致性,因此,位于腔体侧边设置有内环边加热器,其为电热丝,藉由在腔体侧边产生热源,以平衡热板端边较差的受热,并达到热板内的均匀受热,而此些微的温度调整,就能大为降低玻璃基板的不合格率,同时提升生产效能,实为一突破性的改良。附图说明图1为现有烘烤玻璃基板的示意图;图2为本专利技术的立体图;图3为本专利技术的立体分解图;图4为本专利技术另一实施例的示意图;图5为本专利技术烘烤玻璃基板的示意图;图6为本专利技术调整小分区的示意图。附图标记说明:1基板;11热板;12加热器;2腔体;20上盖板;201支撑底板;202排风口;203入口;21加热器;22热板;221小分区;23温度感应器;25内环边加热器;3玻璃基板。具体实施方式以下是实施例,但本专利技术的内容并不局限于这些实施例的范围。本专利技术一种改良的光阻预烤炉内环边加热器,首先,请参阅图2并配合图3所示,其主要是由腔体2、加热器21、热板22、温度感应器23及内环边加热器25所组成,该腔体2为一容槽状,底部为支撑底板201,并能于顶面盖合一上盖板20而形成一封闭的加热空间,位于腔体2一侧设有入口203,供置入玻璃基板3,并于任一侧边开设有排风口202,且于支撑底板201上方设有加热器21,能对加热器21上的热板22进行加热,而该热板22上分成多个小分区221,其是由下方多个独立的加热器21投影至热板22所产生的加热区域,且该热板22内或加热器21内皆可设置有温度感应器23(请配合图4所示),其是能配合加热器21来进行加热区域的独立温度控制,并于腔体2内侧装设有内环边加热器25,其是利用电热丝产生热源,以加强热板22端边的受热,使热板22内全区域的温度调整达到均匀一致,可全面性的烘烤玻璃基板3,进而提升玻璃基板3的生产合格率。当腔体2内进行烘烤作业时,请仍然参阅图4并配合图5所示,先将玻璃基板3由入口203置入腔体2内,然后将入口203封闭,使腔体2形成一封闭空间,仅保留侧边的排风口202,以便于空气进行流通,而位于腔体2加热器21则持续对热板22加温,使腔体2内的温度达到约摄氏70~150℃,并藉由该热度将放置在热板22上的玻璃基板3表面的光阻溶剂挥发,当烘烤一段时间后,请再配合参阅图6所示,该热板22的每一小分区221的温度会有些微的变化,即每一小分区221的温度不一致,这样的差异会严重影响玻璃基板3的品质,尤其位于热板22中央及环边的温度会高于端边,使得玻璃基板3的受热不均,而为了改善热板22端边的偏低温度,当温度感应器23显示热板22端边温度较低时,可启动腔体2内侧的内环边加热器25,其能对腔体2的内环边提供热源,以弥补热板2端边的温度上的本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种改良的光阻预烤炉加热装置,其主要由腔体、加热器、热板和温度感应器所组成,该腔体为一容槽状,底部为支撑底板,并能于顶面盖合一上盖板而形成一封闭的加热空间,位于该支撑底板上方设有该加热器,能对该加热器上的热板进行加热,而该热板配合下方独立的该加热器产生有小分区,且该小分区内或该加热器内设有该温度感应器,以进行该小分区的独立温度控制,其特征在于:该腔体内侧装设有内环边加热器,其利用电热丝产生热源,以加强该热板端边的受热,使该热板内全区域的温度调整达到均匀一致,而能全面性的烘烤放置于该热板上的玻璃基板。

【技术特征摘要】
1.一种改良的光阻预烤炉加热装置,其主要由腔体、加热器、热板和温度感应器
所组成,该腔体为一容槽状,底部为支撑底板,并能于顶面盖合一上盖板而形成一封
闭的加热空间,位于该支撑底板上方设有该加热器,能对该加热器上的热板进行加热,
而该热板配合下方独立的该加热器产生有...

【专利技术属性】
技术研发人员:李东明
申请(专利权)人:李东明
类型:发明
国别省市:中国台湾;71

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