感光性树脂组成物、保护膜及元件制造技术

本发明专利技术涉及一种感光性树脂组成物，包括碱可溶树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)以及溶剂(C)，其中碱可溶树脂(A)是由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)、含环氧基的不饱和单体(a2)、由式(I)表示的不饱和单体(a3)及其它不饱和单体(a4)所共聚合而得：在式(I)中，A为二价脂环族烃基，L1及L2各自独立为单键、C1‑C5二价烃基或经卤素原子取代的C1‑C5二价烃基，R为氢原子或甲基，Y1为‑OH或‑COOH。以前述感光性树脂组成物制作的保护膜具有良好耐热透光率。本发明专利技术还涉及一种保护膜，其利用前述的感光性树脂组成物所制得。本发明专利技术还涉及一种元件，包括前述的保护膜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于一种感光性树脂组成物，且特别是有关于一种用以在元件中形成具有良好的耐热透光率的保护膜的感光性树脂组成物。
技术介绍
一般而言，制造液晶显示元件或固态成像装置等光学元件包含条件严苛的处理程序，例如以浸泡酸性溶剂或碱性溶液的处理方式或以溅镀(sputtering)的处理方式形成配线电极层时，基板表面会造成局部腐蚀或产生高温。因此，为了防止元件表面的元件受损，元件的表面需铺设保护膜。保护膜需与基板具有优异的附着力，且需具有高透明度、高表面硬度与平滑的表面。保护膜亦应具有高耐热性与耐光性，以于长期使用下不致有变色、黄化或白化等变质情况发生。此外，保护膜还需具有良好的耐水性、耐化性、耐溶剂性、耐酸性及耐碱性等特性。尽管已针对前述所需特性提出种种用于制作保护膜的感光性树脂组成物，然而以已知的感光性树脂组成物制成的保护膜，仍有耐热透光率不佳的问题，有待改善。
技术实现思路
因此，本专利技术的一个方面在于提供一种感光性树脂组成物，此感光性树脂组成物包括碱可溶性树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)以及溶剂(C)，其中各个成分将于下文进行详细说明。以此种感光性树脂组成物来制作保护膜时，可得到具有良好耐热透光率的保护膜。本专利技术的另一方面在于提供一种保护膜，其利用前述的感光性树脂组成物所制得。本专利技术的又一方面在于提供一种元件，包括前述的保护膜。根据本专利技术的上述方面，提出一种感光性树脂组成物。此感光性树脂组成物包含碱可溶性树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)以及溶剂(C)。以下析述之。在本文中，如果没有特别指明某一基团是否经过取代，则该基团可表示经取代或未经取代的基团。例如，「烷基」可表示经取代或未经取代的烷基。另外，对某一基团冠以「CX」来描述时，表示该基团具有X个碳原子。另外，在本文中，有时以键线式(skeletonformula)表示化合物的(部份)结构。这种表示法可以省略碳原子、氢原子以及碳氢键。若结构式中已明确绘出原子或原子基团，则以绘示者为准。感光性树脂组成物碱可溶性树脂(A)本专利技术的碱可溶性树脂(A)是指可溶于碱性水溶液中的树脂，其构造并无特别限制，较佳地，碱可溶性树脂(A)例如可为具有羧酸基的树脂。具体而言，碱可溶性树脂(A)可由一混合物于适当的聚合起始剂存在下所共聚合而得。前述混合物可包含不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)、含环氧基的不饱和单体(a2)、由式(I)表示的不饱和单体(a3)及其它不饱和单体(a4)。不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)可为包含羧酸基或羧酸酐结构，以及用于聚合键结的不饱和键的化合物。不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)的结构并无特别限制，且不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)可包含但不限于不饱和单羧酸化合物、不饱和二羧酸化合物、不饱和酸酐化合物、多环型不饱和羧酸化合物、多环型不饱和二羧酸化合物或多环型不饱和酸酐化合物等。前述不饱和单羧酸化合物的具体例可包含但不限于(甲基)丙烯酸、丁烯酸、α-氯丙烯酸、乙基丙烯酸、肉桂酸、2-(甲基)丙烯酰乙氧基丁二酸酯[2-(meth)acryloyloxyethylsuccinatemonoester]、2-(甲基)丙烯酰乙氧基六氢化苯二甲酸酯、2-(甲基)丙烯酰乙氧基苯二甲酸酯或omega-羧基聚己内酯多元醇单丙烯酸酯(如东亚合成制造的商品，且其型号为ARONIXM-5300)等。前述不饱和二羧酸化合物的具体例可包含但不限于马来酸、富马酸、甲基富马酸、衣康酸或柠康酸等。前述的不饱和酸酐化合物可为不饱和二羧酸化合物的酸酐化合物。前述多环型不饱和羧酸化合物的具体例可包含但不限于5-羧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯或5-羧基-6-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯。前述多环型不饱和二羧酸化合物的具体例可包含但不限于5,6-二羧酸二环[2.2.1]庚-2-烯。前述多环型不饱和酸酐化合物可为多环型不饱和二羧酸化合物的酸酐化合物。前述不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)可单独一种使用或混合多种使用。较佳地，不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)的具体例可为丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸酐、2-甲基丙烯酰乙氧基丁二酸酯或2-甲基丙烯酰基乙氧基六氢化苯二甲酸。基于不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)、含环氧基的不饱和单体(a2)、由式(I)表示的不饱和单体(a3)及其它不饱和单体(a4)的总使用量为100重量份，不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)的使用量可为10重量份至30重量份，较佳为15重量份至30重量份，且更佳可为15重量份至25重量份。含环氧基的不饱和单体(a2)含环氧基的不饱和单体(a2)可包含具有环氧基的(甲基)丙烯酸酯化合物、具有环氧基的α-烷基丙烯酸酯化合物或环氧丙醚化合物等。前述具有环氧基的(甲基)丙烯酸酯化合物的具体例可包含但不限于(甲基)丙烯酸环氧丙酯、(甲基)丙烯酸2-甲基环氧丙酯、(甲基)丙烯酸3,4-环氧丁酯、(甲基)丙烯酸6,7-环氧庚酯、(甲基)丙烯酸3,4-环氧环己酯或(甲基)丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯等。前述具有环氧基的α-烷基丙烯酸酯化合物的具体例可包含但不限于α-乙基丙烯酸环氧丙酯、α-正丙基丙烯酸环氧丙酯、α-正丁基丙烯酸环氧丙酯或α-乙基丙烯酸6,7-环氧庚酯等。前述环氧丙醚化合物的具体例可包含但不限于邻-乙烯基苯甲基环氧丙醚(o-vinylbenzylglycidylether)、间-乙烯基苯甲基环氧丙醚(m-vinyl-benzylglycidylether)或对-乙烯基苯甲基环氧丙醚(p-vinylbenzylglycidylether)等。前述含环氧基的不饱和单体(a2)可单独一种使用或混合多种使用。较佳地，含环氧基的不饱和单体(a2)的具体例可为甲基丙烯酸环氧丙酯、(甲基)丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯、甲基丙烯酸6,7-环氧庚酯、邻-乙烯基苯甲基环氧丙醚、间-乙烯基苯甲基环氧丙醚或对-乙烯基苯甲基环氧丙醚。基于不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)、含环氧基的不饱和单体(a2)、由式(I)表示的不饱和单体(a3)及其它不饱和单体(a4)的总使用量为100重量份，含环氧基的不饱和单体(a2)的使用量可为25重量份至45重量份，较佳为30重量份至45重量份，且更佳可为30重量份至40重量份。由式(I)表示的不饱和单体(a3)不饱和单体(a3)是具有(甲基)丙烯酰氧基、脂环结构以及羟基和羧基两者之一的不饱和单体。不饱和单体(a3)可由式(I)表示：在式(I)中，A为二价脂环族烃基，L1及L2各自独立为单键、C1-C5二价烃基或经卤素原子取代的C1-C5二价烃基，R为氢原子或甲基，Y1为-OH或-COOH。较佳的实施例中，L1可为二价烷基；L2亦可为二价烷基；A可为具有环戊烷结构、环己烷结构、降冰片烷结构、三环癸烷结构或金刚烷结构的二价基团。不饱和单体(a3)的具体例可以是下列式I-01到式I-34所示的化合物：当碱可溶性树脂(A)的共聚合用单体中不包括由式(I)表示的不饱和单体(a3)时，由感光性树本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光性树脂组成物，其特征在于包括：碱可溶树脂(A)，其中该碱可溶树脂(A)是由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)、含环氧基的不饱和单体(a2)、由式(I)表示的不饱和单体(a3)及其它不饱和单体(a4)所共聚合而得：在式(I)中，A为二价脂环族烃基，L1及L2各自独立为单键、C1‑C5二价烃基或经卤素原子取代的C1‑C5二价烃基，R为氢原子或甲基，Y1为‑OH或‑COOH；邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)；以及溶剂(C)。

【技术特征摘要】
2015.07.09 TW 1041223671.一种感光性树脂组成物，其特征在于包括：碱可溶树脂(A)，其中该碱可溶树脂(A)是由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)、含环氧基的不饱和单体(a2)、由式(I)表示的不饱和单体(a3)及其它不饱和单体(a4)所共聚合而得：在式(I)中，A为二价脂环族烃基，L1及L2各自独立为单键、C1-C5二价烃基或经卤素原子取代的C1-C5二价烃基，R为氢原子或甲基，Y1为-OH或-COOH；邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)；以及溶剂(C)。2.如权利要求1所述的感光性树脂组成物，其特征在于更包括式(III)所示的化合物(D)；其中Ra、Rb及Rc各自独立代表三烷氧基硅烷基，且X、Y、Z分别代表次烷基或次芳基。3.如权利要求1所述的感光性树脂组成物，其特征在于其中基于该碱可溶树脂(A)的使用量为100重量份，该邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)的使用量为5重量份到50重量份，且该溶剂(C)的使用量为...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄伟杰，吴明儒，施俊安，
申请(专利权)人：奇美实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71