感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法和印刷配线板的制造方法技术

一种感光性树脂组合物，其含有(A)成分：粘合剂聚合物、(B)成分：光聚合性化合物和(C)成分：光聚合引发剂，其中，上述(B)成分包含(B1)成分：具有聚氧化亚烷基[‑(CmH2mO)n‑：m、n各自独立地为2以上的数]作为结构单元、并且双键当量为700以上的光聚合性化合物，上述(A)成分和上述(B)成分的总量中上述(B1)成分的含有率为5质量％以上。

Photosensitive resin composition, photosensitive element, method for forming resist pattern, and method for manufacturing printed wiring board

A photosensitive resin composition comprising (A) ingredients: binder polymer, (B) a photopolymerizable compound and composition: Ingredients: (C) a photopolymerization initiator, wherein the composition contains (B) (B1) with ingredients: polyalkylene oxide [(CmH2mO) n: m and N independently for more than 2 of the number as a structural unit, and the double bond equivalents for more than 700 of the above photopolymerizable compound (A) and the component (B) of the components of the total composition (B1) containing 5 mass% or more.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法和印刷配线板的制造方法。
技术介绍
以往，在印刷配线板的制造领域中，作为蚀刻处理或镀覆处理等中使用的抗蚀剂材料，广泛地使用了感光性树脂组合物以及具有使用感光性树脂组合物而得到的感光性树脂层、支撑体和保护层的感光性元件。印刷配线板采用下述方法制造：将上述感光性元件层压到电路形成用基板上，对上述感光性树脂层以图案状曝光后，用显影液将未曝光部除去而形成抗蚀图案，实施蚀刻处理或镀覆处理而在基板上形成了电路后，将作为曝光部的固化部分从基板上剥离除去。从环境性和安全性的观点出发，作为上述显影液，碳酸钠水溶液、碳酸氢钠水溶液等碱显影液成为了主流。通过采用这些显影液进行的显影和水洗的喷射压，将感光性树脂层的未曝光部分从基板除去。因此，对于感光性树脂组合物要求曝光后可以形成不因显影和水洗的喷射压而破损、具有优异的遮盖可靠性(遮盖性)的固化膜(抗蚀图案)。进而，最近，作为不需要掩模的曝光方法，强烈希望向被称为LDI(激光直接成像技术；Laser Direct Imaging)方式、DLP(数字化光处理技术；Digital Light Processing)的利用激光光将通过CAD(计算机辅助设计；Computer-aided design)制作的图案的数字数据直接描绘于感光性树脂组合物层的直接描绘曝光法的协调。从每单位时间的处理能力(生产量)的观点出发，对于直接描绘曝光法中使用的抗蚀剂材料，要求低曝光量和低固化度下的耐碱性，因此多使其含有刚直骨架的化合物。但是，刚直骨架的化合物存在使固化膜的遮盖可靠性降低的倾向。为了提高固化膜的遮盖可靠性，提高使用感光性树脂组合物形成的固化膜的强度是有效的。但是，如果提高固化膜的强度，存在剥离时间延长、生产率降低这样的问题，这样一来，即使应用直接描绘曝光法，目前为止也尚未开发出满足高生产量的同时遮盖可靠性和剥离时间优异的抗蚀剂材料。例如，即使使用日本特开2006-234995号公报、日本特开2007-122028号公报、国际公开第2008/078483号、日本特开2009-69465号公报和国际公开第2010/103918号中记载的感光性树脂组合物的情况下，也有改善的余地。
技术实现思路
专利技术要解决的课题因此，本专利技术的目的在于提供即使以低曝光量也可以形成抗蚀图案、形成的固化膜的遮盖可靠性和剥离时间优异的感光性树脂组合物。另外，目的还在于提供使用了上述感光性树脂组合物的感光性元件、抗蚀图案的形成方法和印刷配线板的制造方法。用于解决课题的手段用于解决上述课题的具体手段中包含以下的实施方式。＜1＞一种感光性树脂组合物，其含有(A)成分：粘合剂聚合物、(B)成分：光聚合性化合物和(C)成分：光聚合引发剂，其中，上述(B)成分包含(B1)成分：具有聚氧化亚烷基[-(CmH2mO)n-：m、n各自独立地为2以上的数]作为结构单元、并且双键当量为700以上的光聚合性化合物，上述(A)成分和上述(B)成分的总量中上述(B1)成分的含有率为5质量％以上。＜2＞根据上述＜1＞所述的感光性树脂组合物，其中，上述(A)成分包含来自于从苯乙烯、苯乙烯衍生物、(甲基)丙烯酸苄酯和(甲基)丙烯酸苄酯衍生物中选择的至少1种的结构单元(A1)，上述(A)成分的总量中上述结构单元(A1)的含有率为10质量％～60质量％。＜3＞根据上述＜1＞或＜2＞所述的感光性树脂组合物，其中，上述(B1)成分包含在一个分子中具有2个以上的光聚合性双键的光聚合性化合物。＜4＞根据上述＜1＞～＜3＞中的任一项所述的感光性树脂组合物，其中，上述(A)成分还包含来自于烷基的碳原子数为5～20的(甲基)丙烯酸烷基酯的结构单元(A2)。＜5＞根据上述＜1＞～＜4＞中的任一项所述的感光性树脂组合物，其中，上述(B1)成分包含具有选自聚氧化亚乙基[-(C2H4O)n-：n为2以上的数]和聚氧化四亚甲基[-(C4H8O)n-：n为2以上的数]中的至少一种作为结构单元的光聚合性化合物。＜6＞根据上述＜1＞～＜4＞中的任一项所述的感光性树脂组合物，其中，上述(C)成分含有(C1)化合物：具有2个吖啶基的吖啶化合物。＜7＞根据上述＜1＞～＜6＞中的任一项所述的感光性树脂组合物，其中，上述(C)成分中，(C2)化合物：具有1个吖啶基的吖啶化合物的含量相对于(A)成分和(B)成分的总量100质量份为0.3质量份～1.5质量份。＜8＞根据上述＜1＞～＜7＞中的任一项所述的感光性树脂组合物，其中，上述(C)成分中，(C3)化合物：N-苯基甘氨酸的含量相对于(A)成分和(B)成分的总量100质量份为0.1质量份以下。＜9＞一种感光性元件，其具有支撑体；和使用＜1＞～＜8＞中的任一项所述的感光性树脂组合物在上述支撑体上形成的感光性树脂层。＜10＞一种抗蚀图案的形成方法，其具有：感光性树脂层形成工序，该工序中使用＜1＞～＜8＞中的任一项所述的感光性树脂组合物或＜9＞所述的感光性元件在基板上形成感光性树脂层；曝光工序，该工序中对上述感光性树脂层的至少一部分的区域照射活性光线从而使上述区域固化；和将上述感光性树脂层的上述区域以外的未曝光部分从上述基板除去的显影工序。＜11＞一种印刷配线板的制造方法，其包含对采用＜10＞所述的方法形成有抗蚀图案的基板进行蚀刻或镀覆的工序。专利技术效果根据本专利技术，可以提供即使是低曝光量也可以形成抗蚀图案、所形成的固化膜的遮盖可靠性和剥离时间优异的感光性树脂组合物。另外，可以提供使用了上述感光性树脂组合物的感光性元件、抗蚀图案的形成方法和印刷配线板的制造方法。附图说明图1为表示本专利技术的感光性元件的一个实施方式的端面图。图2为表示使用本专利技术的感光性元件的多层印刷配线基板的制造方法的一个例子的工序图。图3为遮盖可靠性的评价中使用的破孔数测定用基板的俯视图。具体实施方式以下根据需要参照附图对用于实施本专利技术的方式详细地说明。不过，本专利技术并不限于以下的实施方式。此外，附图中，对于同一要素标记同一符号，省略重复的说明。另外，附图的尺寸比率并不限于图示的比率。本说明书中的“(甲基)丙烯酸”是指“丙烯酸”和“甲基丙烯酸”中的至少一者，“(甲基)丙烯酸酯”是指“丙烯酸酯”和与其对应的“甲基丙烯酸酯”中的至少一者，“(甲基)丙烯酰基”是指“丙烯酰基”和“甲基丙烯酰基”中的至少一者。“聚氧化亚烷基”是指由[-(CmH2mO)n-：m、n各自独立地为2以上的数]表示的结构单元。结构单元数表示对应的结构单元在分子中以何种程度加成。因此，对于单一的分子而言，表示整数值；作为多种分子的集合体，表示作为平均值的有理数。“不挥发分”是指水分、后述的有机溶剂等挥发的物质以外的组合物中的成分。在此，挥发的物质是指沸点在大气压下为155℃以下的物质。“(A)成分的总量”和“(B)成分的总量”是指仅为不挥发分的总量。本说明书中“工序”这一用语不仅是独立的工序，即使在不能与其他工序明确地区别的情况下，只要能实现该工序的所期望的目的，则也包含在本用语中。另外，使用“～”表示的数值范围表示包含“～”的前后记载的数值分别作为最小值和最大值的范围。进而，组合物中的各成分的含量在组合物中存在多个相当于各成分的物质的情况下，只要无特别说明本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光性树脂组合物，其含有(A)成分：粘合剂聚合物、(B)成分：光聚合性化合物和(C)成分：光聚合引发剂，其中，所述(B)成分包含(B1)成分：具有以‑(CmH2mO)n‑表示的聚氧化亚烷基作为结构单元、并且双键当量为700以上的光聚合性化合物，所述m、n各自独立地为2以上的数，所述(A)成分和所述(B)成分的总量中所述(B1)成分的含有率为5质量％以上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.05.13 JP 2014-0996291.一种感光性树脂组合物，其含有(A)成分：粘合剂聚合物、(B)成分：光聚合性化合物和(C)成分：光聚合引发剂，其中，所述(B)成分包含(B1)成分：具有以-(CmH2mO)n-表示的聚氧化亚烷基作为结构单元、并且双键当量为700以上的光聚合性化合物，所述m、n各自独立地为2以上的数，所述(A)成分和所述(B)成分的总量中所述(B1)成分的含有率为5质量％以上。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述(A)成分包含来自于从苯乙烯、苯乙烯衍生物、(甲基)丙烯酸苄酯和(甲基)丙烯酸苄酯衍生物中选择的至少1种的结构单元(A1)，所述(A)成分的总量中所述结构单元(A1)的含有率为10质量％～60质量％。3.根据权利要求1或权利要求2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(B1)成分包含在一个分子中具有2个以上的光聚合性双键的光聚合性化合物。4.根据权利要求1～权利要求3中的任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述(A)成分还包含来自于烷基的碳原子数为5～20的(甲基)丙烯酸烷基酯的结构单元(A2)。5.根据权利要求1～权利要求4中的任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述(B1)成分包含具有选自以-(C2H4O)n-表示的聚氧化亚乙基和以-(C4H8O)n-表示的...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤井彻文，梶原卓哉，小野博史，
申请(专利权)人：日立化成株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP