【技术实现步骤摘要】
201521119572
【技术保护点】
一种扩散插片装置,其特征在于,包括支撑斜面体,在支撑斜面体的斜面上相对设有石英舟定位卡条与硅片盒定位卡条,在石英舟定位卡条上设有带有卡槽的石英舟,在硅片盒定位卡条上设有带有卡槽的硅片盒,在硅片盒定位条的右侧上下设有推挡装置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:蒋建宝,李科伟,
申请(专利权)人:无锡赛晶太阳能有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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