剥离方法及剥离装置制造方法及图纸

本发明专利技术关于一种剥离方法及剥离装置。本发明专利技术的保持机构通过保持第一板状体而保持密接体，且使抵接部件抵接在第二板状体。与抵接部件沿剥离方向移动连动，沿与密接体的主面平行的剥离方向排列的多个剥离机构通过依次保持第二板状体且使第二板状体向自第一板状体离开的方向移动而使两者剥离。关于各剥离机构的移动开始时序，通过事前执行抵接部件的移动，并实际测定表示该移动中的抵接部件的位置的位置资讯、与抵接部件通过与剥离机构的对向位置的时序而规定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种使直接或隔着薄层相互密接的两片板状体剥离的剥离方法及剥离装置。
技术介绍
作为在玻璃基板或半导体基板等板状体上形成特定的图案或薄膜的技术，有将担载于其他板状体的图案或薄膜(以下，称为“图案等”)转印至基板的技术。在此技术中，必须在使两片板状体密接而将图案等自其中一片转印至另一片之后，不损坏图案等即可将两片板状体剥离。作为用以实现该目的而可利用的技术，有例如专利文献1中记载的技术。在此技术中，包含相互密接的第一板状体及第二板状体的密接体通过将第一板状体吸附保持在载台而保持为水平姿势。而且，排列在第二板状体侧的多个剥离机构依次抵接在第二板状体，且一面保持第二板状体一面朝自第一板状体离开的方向移动，由此第一板状体与第二板状体之间的剥离向特定的剥离方向前进。此时，以如下方式管理，即，抵接部件一面抵接在第二板状体的表面一面朝剥离方向移动，由此以固定的速度进行剥离。[
技术介绍
文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2014-189350号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]在板状体的尺寸大型化、或在两片板状体之间担载有薄膜的情况下，存在对应于其密接力的不同等而増减所设置的剥离机构的数量或间隔。另外，为通过剥离机构与抵接部件的协调动作而良好地控制剥离的前进，优选在抵接部件通过之后至剥离机构抵接在第二板状体的表面并进行保持为止的时间尽可能短。为能够实现这些，必须一面防止剥离机构与抵接部件的干涉，一面使剥离机构相对于抵接部件通过后的第二板状体表面迅速地抵接。因此，要求根据剥离机构的配置而适当且简单地设定与抵接部件协作的各剥离机构的动作时序。在所述
技术介绍
中，剥离机构的设置数量较少，且其等的间隔也较大。因此，相对较容易使动作时序最佳化。例如，可使用预先通过教学作业而使装置学习抵接部件的位置与剥离机构的移动时序的对应关系的方法。然而，如果剥离机构的设置数量变大，则调整作业将会变得非常繁杂。本专利技术是鉴于所述课题而完成者，其目的在于提供一种技术，在使相互密接的两片板状体剥离的剥离方法及剥离装置中，可根据剥离机构的配置而使各个剥离机构的动作简单地最佳化。[解决问题的技术手段]为达成所述目的，本专利技术的剥离方法的一态样是使第一板状体与第二板状体直接或隔着薄层密接而成的密接体剥离的剥离方法，其具备：配置步骤，保持机构通过保持所述第一板状体而保持所述密接体，且各者具有部分性地抵接在所述第二板状体而保持所述第二板状体的功能的多个剥离机构，沿与所述第二板状体的表面平行的剥离方向、且在所述第二板状体的表面与所述剥离机构之间隔开间隙而排列；以及剥离步骤，抵接部件一面抵接在所述第二板状体的表面一面在与所述剥离机构的间隙空间向所述剥离方向移动，所述剥离机构的各者在沿所述剥离方向依次向所述第二板状体移动且抵接在所述抵接部件通过后的所述第二板状体的表面之后，一面保持所述第二板状体一面相对于所述第一板状体沿离开方向移动而使所述第二板状体自所述第一板状体离开；且所述剥离机构各者的移动时序是根据预先使所述抵接部件向所述剥离方向移动而取得的所述抵接部件通过与所述剥离机构的对向位置的时序、与表示所述抵接部件的所述剥离方向上的位置的位置资讯的对应关系而设定。另外，为达成所述目的，本专利技术的剥离装置的一态样具备：保持机构，其通过保持所述第一板状体而保持第一板状体与第二板状体直接或隔着薄层相互密接而成的密接体；抵接部件，其一面抵接在通过所述保持机构保持的所述密接体的所述第二板状体的表面，一面沿与所述第二板状体的表面平行的剥离方向移动；多个剥离机构，沿所述剥离方向排列，各者具有部分性地抵接在所述第二板状体而保持所述第二板状体的功能，并且能够在抵接在所述第二板状体的表面的抵接位置、与自所述第二板状体的表面离开而设置有用以供所述抵接部件通过的间隙的待机位置之间移动；以及控制机构，其控制所述剥离机构及所述抵接部件的移动而执行剥离动作；在所述剥离动作中，所述抵接部件一面抵接在所述第二板状体的表面一面在与所述剥离机构的间隙空间向所述剥离方向移动，所述剥离机构的各者在沿所述剥离方向依次向所述第二板状体移动且抵接在所述抵接部件通过后的所述第二板状体的表面之后，一面保持所述第二板状体一面相对于所述第一板状体沿离开方向移动而使所述第二板状体自所述第一板状体离开，所述剥离机构各者的移动时序是根据预先使所述抵接部件沿所述剥离方向移动而取得的所述抵接部件通过与所述剥离机构的对向位置的时序、与表示所述抵接部件的所述剥离方向上的位置的位置资讯的对应关系而设定。在如此般构成的专利技术中，根据抵接部件在移动时实际上通过与剥离机构的对向位置的时序和抵接部件的位置的对应关系，设定与抵接部件协作而使剥离前进的剥离机构各者的移动时序。即，在掌握抵接部件实际上通过与剥离机构的对向位置的时序和表示抵接部件的位置的位置资讯的对应关系之后，决定剥离机构的动作。因此，无论剥离机构如何配置，均可在与其配置对应的时序使各剥离机构动作。由此，可避免在抵接部件通过之前剥离机构接近第二板状体而使抵接部件与剥离机构碰撞，或利用剥离机构对第二板状体的保持过慢而无法良好地进行剥离的问题，从而能够使各剥离机构的动作最佳化。[专利技术的效果]如上所述，根据本专利技术，能够使各剥离机构的移动时序对应于剥离机构的实际配置，从而可避免抵接部件与剥离机构的干涉，并且可简单地使各个剥离机构的动作最佳化。附图说明图1是表示本专利技术的剥离装置的一实施方式的立体图。图2是表示该剥离装置的主要构成的立体图。图3是表示初始剥离单元的构造及各部的位置关系的侧视图。图4是表示该剥离装置的电性构成的框图。图5A～图5D是表示剥离动作的过程中的各部的动作的图。图6A～图6C是表示吸附单元的配设图案不同的例的图。图7A及图7B是表示辊单元与吸附单元的位置关系的图。图8A～图8C是表示利用摄像部拍摄吸附单元的态样的图。图9是表示吸附单元的移动时序的设定方法的流程图。图10A及图10B是说明吸附单元的移动时序的原理的图。具体实施方式图1是表示本专利技术的剥离装置的一实施方式的立体图。为统一地表示各图中的方向，如图1右下所示设定XYZ正交座标轴。此处，XY平面表示水平面。另外，Z轴表示铅垂轴，更详细而言，(-Z)方向表示铅垂朝下方向。该剥离装置1是用以使以主面彼此相互密接的状态搬入的两片板状体剥离的装置。例如在玻璃基板或半导体基板等基板的表面形成特定图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种剥离方法，使第一板状体与第二板状体直接或隔着薄层密接而成的密接体剥离，且具备：配置步骤，保持机构通过保持所述第一板状体而保持所述密接体，各者具有部分性地抵接在所述第二板状体而保持所述第二板状体的功能的多个剥离机构，沿与所述第二板状体的表面平行的剥离方向、且在所述第二板状体的表面与所述剥离机构之间隔开间隙而排列；以及剥离步骤，抵接部件一面抵接在所述第二板状体的表面一面在与所述剥离机构的间隙空间沿所述剥离方向移动，所述剥离机构的各者在沿所述剥离方向依次向所述第二板状体移动且抵接在所述抵接部件通过后的所述第二板状体的表面之后，一面保持所述第二板状体一面相对于所述第一板状体沿离开方向移动而使所述第二板状体自所述第一板状体离开；且所述剥离机构各者的移动时序是根据预先使所述抵接部件沿所述剥离方向移动而取得的所述抵接部件通过与所述剥离机构的对向位置的时序、与表示所述抵接部件的所述剥离方向上的位置的位置资讯的对应关系而设定。

【技术特征摘要】
2014.12.26 JP 2014-2650381.一种剥离方法，使第一板状体与第二板状体直接或隔着薄层密接而成的密接体剥离，
且具备：
配置步骤，保持机构通过保持所述第一板状体而保持所述密接体，各者具有部
分性地抵接在所述第二板状体而保持所述第二板状体的功能的多个剥离机构，沿与
所述第二板状体的表面平行的剥离方向、且在所述第二板状体的表面与所述剥离机
构之间隔开间隙而排列；以及
剥离步骤，抵接部件一面抵接在所述第二板状体的表面一面在与所述剥离机构
的间隙空间沿所述剥离方向移动，所述剥离机构的各者在沿所述剥离方向依次向所
述第二板状体移动且抵接在所述抵接部件通过后的所述第二板状体的表面之后，一
面保持所述第二板状体一面相对于所述第一板状体沿离开方向移动而使所述第二
板状体自所述第一板状体离开；且
所述剥离机构各者的移动时序是根据预先使所述抵接部件沿所述剥离方向移
动而取得的所述抵接部件通过与所述剥离机构的对向位置的时序、与表示所述抵接
部件的所述剥离方向上的位置的位置资讯的对应关系而设定。
2.根据权利要求1所述的剥离方法，其中设置有与所述抵接部件一体地沿所述剥离方
向移动且检测所述剥离机构的检测机构，根据所述检测机构的检测结果与所述位置
资讯的对应关系而设定所述剥离机构各者的移动时序。
3.根据权利要求2所述的剥离方法，其中所述检测机构具有拍摄所述剥离机构的摄像
功能，根据所拍摄的图像而检测所述抵接部件通过与所述剥离机构的对向位置的时
序。
4.根据权利要求2所述的剥离方法，其中在相对于并未保持所述密接体的所述保持机
构而排列有所述剥离机构的状态下，所述抵接部件沿所述剥离方向移动，所述检测
机构检测所述剥离机构。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的剥离方法，其中所述位置资讯是通过测定伴随
所述抵接部件的移动而定期性地产生的信号所取得的资讯。
6.根据权利要求5所述的剥离方法，其中所述位置资讯是使所述抵接部件沿所述剥离
方向移动的脉冲电动机的驱动脉冲数。
7.根据权利要求1至4中任一项的剥离方法，其中在所述配置步骤中，所述保持机构
是以使所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：上野美佳，
申请(专利权)人：株式会社思可林集团，
类型：发明
国别省市：日本;JP