石墨烯生长用石英舟制造技术

本发明专利技术公开了一种石墨烯生长用石英舟，属于石墨烯生长工具的技术领域，该装置包括一个石英舟本体，一个楔形石英体，所述楔形石英体其上表面与下表面成一定夹角，上下表面间距沿气源方向逐渐减小，楔形石英体上表面设置有条状凸起。所提出的石墨烯生长用石英舟可以实现金属衬底与碳源气体的充分接触，在石英舟本体宽度较窄的情况下能够实现大面积石墨烯的生长。该石英舟结构稳固且方便安装拆洗，易于加工，成本较低。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种石墨烯生长用石英舟，其特征在于，包括石英舟本体（1），楔形石英体（2），其特征在于，所述楔形石英体（2）上表面与下表面成1°~75°夹角，上下表面间距沿气源方向逐渐减小，楔形石英体（2）上表面设置有一个或多个并行排列的条状凸起（3）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：况亚伟，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33