物理量传感器、电子设备、以及移动体制造技术

本发明专利技术提供一种能够使配线的布局简单，并实现小型化的物理量传感器、电子设备以及移动体。本发明专利技术所涉及的物理量传感器(100)包括：基板(10)；第一可动体(20a)，其被配置于基板(10)上，且能够围绕第一支承轴(Q1)进行位移，并且具备第一可动电极部(24a)；第二可动体(20b)，其被配置于基板(10)上，且能够围绕第二支承轴(Q2)进行位移，并且具备第二可动电极部(23b)；固定电极部(53)，其以在俯视观察时与第一可动电极部(24a)以及第二可动电极部(23b)重合的方式而被配置于基板(10)上。

【技术实现步骤摘要】
物理量传感器、电子设备、以及移动体
本专利技术涉及一种物理量传感器、电子设备、以及移动体。
技术介绍
近年来，例如，开发出了一种使用娃MEMS (Micro Electro Mechanical Systems:微机电系统)技术来对加速度等物理量进行检测的物理量传感器。 物理量传感器例如具有:基板；固定电极部，其被固定于基板上；可动体，其具备相对于固定电极部而被对置配置的可动电极部，并且所述物理量传感器根据固定电极部与可动电极部之间的静电电容，而对加速度等物理量进行检测。 例如在专利文献I中，记载了如下内容，即，在对铅直方向上的加速度(将铅直方向设为检测方向)进行检测的物理量传感器中，为了通过信号处理来消除由于对检测方向以外的方向具有检测灵敏度所导致的误差，而包括两个可动体、和对应于该可动体的可动电极部而被设置的四个固定电极部。 然而，在上述的这种物理量传感器中，为了向四个固定电极部施加电位而设置有分别与固定电极部连接的配线。因此，存在配线的布局变得复杂，并且不易实现物理量传感器的小型化的情况。 本专利技术的几个方式所涉及的目的之一在于，提供一种使配线的布局简单，且能够实现小型化的物理量传感器。此外，本专利技术的几个方式所涉及的目的之一还在于，提供一种包括上述物理量传感器的电子设备以及移动体。 专利文献1:日本特开2011-247812号公报
技术实现思路
本专利技术为用于解决上述课题的至少一部分而完成的专利技术，并且能够作为以下的方式或应用例来实现。 应用例一 本应用例所涉及的物理量传感器具有:基板；第一可动体，其被配置于所述基板上，且能够围绕第一支承轴进行位移，并且具备第一可动电极部；第二可动体，其配置于所述基板上，且能够围绕第二支承轴进行位移，并且具备第二可动电极部；固定电极部，其以在俯视观察时与所述第一可动电极部以及所述第二可动电极部重叠的方式而被配置于所述基板上。 在这种物理量传感器中，例如与分别在四个固定电极部上连接配线的方式(分别从四个固定电极部引出配线的方式)相比，能够使配线的布局简单。其结果为，在这种物理量传感器中，能够实现小型化。 应用例二 在本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，S卩，所述物理量传感器具有第一固定电极部和第二固定电极部，在以所述第一支承轴为界将所述第一可动体划分为第一部分和第二部分的情况下，所述第一固定电极部以与所述第一部分对置的方式而被配置于所述基板上，所述第二固定电极部以与所述第二部分对置的方式而被配置于所述基板上，并且所述物理量传感器具有第三固定电极部和第四固定电极部，在以所述第二支承轴为界将所述第二可动体划分为第三部分和第四部分的情况下，所述第三固定电极部以与所述第三部分对置的方式而被配置于所述基板上，且与所述第二固定电极部电连接，所述第四固定电极部以与所述第四部分对置的方式而被配置于所述基板上。 在这种物理量传感器中，例如与分别在四个固定电极部上连接有配线的方式相t匕，能够使配线的布局简单。其结果为，在这种物理量传感器中，能够实现小型化。 另外，在本专利技术所涉及的记载中，“电连接”这一书面语以如下方式使用，即，例如“与特定的部件(以下称为‘A部件’)‘电连接’的其他的特定的部件(以下称为‘B部件’)”等。在本专利技术所涉及的记载中，在该示例的这种情况下，包括A部件与B部件以直接连接方式电连接的情况、和A部件与B部件经由其他部件而电连接的情况下，使用“电连接”这一书面语。 应用例三 本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，S卩，所述第二固定电极部以及所述第三固定电极部通过第一配线而与第一衬垫连接，所述第一固定电极部以及所述第四固定电极部通过第二配线而与第二衬垫连接。 在这种物理量传感器中，例如与分别在四个固定电极部上连接有配线的方式相t匕，能够使配线的布局简单。其结果为，在这种物理量传感器中，能够实现小型化。 应用例四 本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，S卩，具备信号处理电路，所述信号处理电路对所述第一衬垫的输出信号与所述第二衬垫的输出信号之差进行运算。 在这种物理量传感器中，能够通过差动检测方式来对加速度或角速度等的朝向与大小等的物理量进行检测。 应用例五 本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，S卩，所述第一固定电极部、所述第二固定电极部、所述第三固定电极部、以及所述第四固定电极部被设置于同一基板上。 在这种物理量传感器中，能够使配线的布局简单，并实现小型化。 应用例六 本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，即， 在所述基板上，在如下区域的至少一个区域内配置有电极，S卩，所述第一固定电极部与所述第二固定电极部之间的区域、所述第二固定电极部与所述第三固定电极部之间的区域、以及所述第三固定电极部与所述第四固定电极部之间的区域。 在这种物理量传感器中，能够对作用于第一可动体或第二可动体与基板之间的静电力进行抑制，从而防止第一可动体或第二可动体贴附于基板上的情况。因此，例如在制造物理量传感器时，不会产生如下问题，即，在第一可动体或第二可动体与基板产生电位差，第一可动体或第二可动体通过静电力而被拉向基板侧，从而第一可动体或第二可动体贴附于基板上的问题。 应用例七 本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，S卩，被配置于所述第一固定电极部和所述第二固定电极部之间的所述电极，与所述第一可动体电连接。 在这种物理量传感器中，能够对作用于第一可动体或第二可动体与基板间的静电力进行抑制，从而防止第一可动体或第二可动体贴附于基板之上的情况。 应用例八 本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，S卩，被配置于所述第二固定电极部和所述第三固定电极部之间的所述电极，与所述第一可动体以及所述第二可动体中的至少一方电连接。 在这种物理量传感器中，能够对第一可动体或第二可动体与基板之间的静电力进行抑制，从而防止第一可动体或第二可动体贴附于基板上的情况。 应用例九 本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，S卩，被配置于所述第三固定电极部和所述第四固定电极部之间的所述电极，与所述第二可动体电连接。 在这种物理量传感器中，能够对作用于第一可动体或第二可动体与基板之间的静电力进行抑制，从而防止第一可动体或第二可动体贴附于基板上的情况。 应用例十 本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，S卩，分别在所述第一固定电极部、所述第二固定电极部、所述第三固定电极部、以及所述第四电极部的两侧处配置有所述电极。 在这种物理量传感器中，能够很容易地将第一固定电极部与电极之间产生的寄生电容、第二固定电极部与电极之间产生的寄生电容、第三固定电极部与电极之间产生的寄生电容、以及第四固定电极部与电极之间产生的寄生电容设为彼此相等。因此，能够使用差动检测方式来消除第一固定电极部、第二固定电极部、第三固定电极部、以及第四固定电极部的寄生电容的影响。 应用例^^一 本应用例所涉及的物理量传感器中，可以采用如下方式，S卩，在所述基板上，于所述电极和与之相邻的固定电极部之间，设置有槽部。 在这种物理量传感器中，能够对作用于第一可动体以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物理量传感器，其特征在于，具有：基板；第一可动体，其被配置于所述基板上，且能够围绕第一支承轴进行位移，并且具备第一可动电极部；第二可动体，其被配置于所述基板上，且能够围绕第二支承轴进行位移，并且具备第二可动电极部，固定电极部，其以在俯视观察时与所述第一可动电极部以及所述第二可动电极部重叠的方式而被配置于所述基板上。

【技术特征摘要】
2013.08.06 JP 2013-1630011.一种物理量传感器，其特征在于，具有: 基板； 第一可动体，其被配置于所述基板上，且能够围绕第一支承轴进行位移，并且具备第一可动电极部； 第二可动体，其被配置于所述基板上，且能够围绕第二支承轴进行位移，并且具备第二可动电极部， 固定电极部，其以在俯视观察时与所述第一可动电极部以及所述第二可动电极部重叠的方式而被配置于所述基板上。2.如权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于， 所述物理量传感器具有第一固定电极部和第二固定电极部， 在以所述第一支承轴为界将所述第一可动体划分为第一部分和第二部分的情况下， 所述第一固定电极部以与所述第一部分对置的方式而被配置于所述基板上， 所述第二固定电极部以与所述第二部分对置的方式而被配置于所述基板上， 并且所述物理量传感器具有第三固定电极部和第四固定电极部， 在以所述第二支承轴为界将所述第二可动体划分为第三部分和第四部分的情况下， 所述第三固定电极部以与所述第三部分对置的方式而被配置于所述基板上，且与所述第二固定电极部电连接， 所述第四固定电极部以与所述第四部分对置的方式而被配置于所述基板上。3.如权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于， 所述第二固定电极部以及所述第三固定电极部通过第一配线而与第一衬垫连接， 所述第一固定电极部以及所述第四固定电极部通过第二配线而与第二衬垫连接。4.如权利要求3所述的物理量传感器，其特征在于， 具备信号处理电路， 所述信号处...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中悟，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP