本实用新型公开了一种基底交接装置，包括直线电机组件、升降板、接板手组件及控制传感器组件，所述直线电机组件包括底座、外壳体、电机动子及电机定子，所述外壳体位于所述底座上方，所述电机动子与所述电机定子以同心圆方式设置在所述外壳体内，所述升降...

本发明公开一种基于掩模板的投影物镜性能测试装置，包括：一掩模台组件，用于将该掩模板的标记阵列经该投影物镜成像形成以标记像点；一掩模台对准组件，用以实现该掩模台组件的对准安装；一标记探测组件，该标记探测组件用于测量该掩模板的标记阵列及该标...

本实用新型公开了一种平面镜调整装置，包括用于固定镜片组件的基座、设于所述基座上的调整组件，还包括至少一个设于基座上的预紧组件，所述调整组件包括球面副、支撑板和电机组件，所述镜片组件反射面的光轴中心线通过球面副的球心，所述球面副的活动端通...

本发明公开一种步进式激光封装温度及功率探测与控制装置，包括：一激光器，用于产生一激光束加热一玻璃料，该激光束投射在该玻璃料上的光斑的宽度大于该玻璃料的宽度；一运动控制模块，用于使该光斑与该玻璃料同步步进运动；一温度检测模块，用于测量该同...

本发明提出一种高效光刻机大面积静态调焦调平装置，包括：投影物镜、硅片、工件台和调焦调平装置，所述投影物镜将掩膜图形曝光到硅片上；所述调焦调平装置包括光源、照明镜组、投影狭缝、投影镜组、探测镜组和探测器，所述光源经过所述照明镜组和所述投影...

本实用新型公开了一种掩模版存储定位装置，包括版盒和与版盒相匹配的版盒盖，其中，所述版盒包括第一定位件组和导向件组，所述版盒盖中设置有与所述第一定位件组配合的第二定位件组，所述第一定位件组与第二定位件组共同配合形成横向和上下限位的限位槽，...

本发明提供了一种振幅监测系统、调焦调平装置及离焦量探测方法，调整所述扫描反射镜的振幅，采样扫描反射镜的实时振幅以及光电探测器输出的实时电压值，计算出补偿后的实时解调量Si，并记录工件台的实时离焦量Hi，根据所述补偿后的实时解调量Si和工...

本发明公开一种多重曝光方法，其特征在于，多重曝光工艺层包含n组图形并进行n次曝光，每次曝光前先进行图形对准，所述图形中包含对准标记，其中，第1次曝光的图形对准前层工艺层；第2次曝光的图形对准第1层图形的对准标记；之后第n次曝光的图形对准...

本发明公开一种硅片和基板预对准测量装置，其特征在于，沿光线传播方向依次包括：激光器、柱面镜、被测物、成像镜片、照明光阑、成像镜片、柱面镜和CCD探测器探测器；所述激光器、被测物和CCD探测器探测器，各位于整个所述测量装置所形成的三角型的...

一种工件六自由度位置和姿态测量传感器装置，用于同时对工件的垂向和水平向进行测量，包括光源，用于提供探测所述工件所需的光束；以及若干光学元件，用于将所述光束投射至所述工件上，并将所述工件上的反射光分别传送至第一光电探测器和第二光电探测器，...

本发明公开了一种用于套刻误差检测的装置和方法，该装置包括：光源，用于产生测量光；照明系统，将测量光入射到物镜中；物镜，用于将测量光入射到套刻标记上，同时收集从套刻标记衍射的各主极大衍射光，并将各主极大衍射光汇聚到物镜光瞳面；探测器，位于...

本发明公开一种浸没式光刻机浸液流场维持装置，包括：浸没头和密封单元；所述浸没头，用于在投影物镜与基底之间提供所述浸液；所述基底，位于基底台之上并部分浸没于所述浸液中；所述密封单元，用于在所述光刻机工作状态时维持所述投影物镜与所述基底之间...

本发明公开了一种用于光刻机曝光分系统的自阻尼快门装置，包括：至少两片快门叶片，用于在快门关闭时切断曝光区域的光源；快门驱动臂，用于带动所述快门叶片同时开启或关闭；磁阻尼制动电机，用于驱动并制动所述快门驱动臂，磁阻尼制动电机通过所述快门驱...

本发明公开了一种六自由度直线电机，包括磁铁阵列和线圈绕组，磁铁阵列包括第一海尔贝克磁铁阵列和第二海尔贝克磁铁阵列，第一海尔贝克磁铁阵列沿XY平面的截面为平行四边形，第二海尔贝克磁铁阵列与第一海尔贝克磁铁阵列结构相同，两者关于Y轴镜像对称...

本发明公开了一种硅片边缘保护装置，包括：水平运动机构；垂直运动机构；调速装置，用于调节所述垂直运动机构的运行速度；柔性防撞机构，用于连接所述水平运动机构和所述垂直运动机构；控制装置，所述控制装置与所述调速装置信号连接，发出控制信号至调速...

本发明提出一种硅片对准测量系统，包括：工件台，用于支撑所述硅片；光源，用于照射所述硅片上的对准标记；图像探测单元，用于获取所述对准标记的透射成像信息，其特征在于，所述工件台带有光源通道，所述光源通道用于使所述光源发出的光线无遮挡地通过；...

本发明公开了一种激光辅助的玻璃料封装装置及方法，该装置包括：激光扫描模块，用于对工件台上的玻璃料进行扫描和封装；膜厚采集模块，用于测量所述玻璃料的膜厚，并反馈至主机模块；位置信息处理模块，用于将玻璃料上的膜厚测量点的位置信息反馈至主机模...

本发明提供了一种减振装置及减振方法，其减振装置包括：多个励磁线圈；位于每个所述励磁线圈内部的铁芯；包围每个所述励磁线圈的磁流变弹性材料；与每个所述励磁线圈相对应的振动传感器，用于检测与所述减振装置相连接的设备的振动信号；以及控制器，接收...

本发明公开一种可动矩形镜片调整机构，包括：支撑基座、2侧的柔性块、所述矩形镜片、至少一个电机和若干的弹簧座和拉簧，所述柔性块固定在所述支撑基座上，所述支撑基座用于支撑所述矩形镜片；其特征在于，所述柔性块为对称结构且有8处开槽。与现有技术...

本发明提出一种投影物镜倍率调整系统，用于光刻设备，所述光刻设备包括掩模、投影物镜以及工件台，其特征在于，所述投影物镜光学系统中还包括一气体密封腔，通过调整所述气体密封腔中混合气体的配比来调整所述混合气体的折射率，从而调整所述投影物镜的倍...