本发明提供了一种使用实时环境补偿方法的超精密双频干涉测量系统能够用于超精密双频干涉测量的实时环境补偿方法，只需要在传统的双频干涉测量的基础上增加一个干涉仪和相关的接收元件即可，无需其它的额外设备，使用简单，计算方便，费用低廉，实时性好，...

本发明关于一种高精度六轴激光测量装置及方法，包括激光干涉测量系统，工作台，运动执行系统。激光干涉测量系统包括：垂向沿ｚ轴布置的三个激光干涉仪，负责测量垂向三轴（Ｚ，θｘ、θｙ）的运动量，沿ｘ轴布置的两个激光干涉仪负责测量工作台沿ｘ轴运动...

一种测量位移的外差干涉测量系统和测量方法，测量系统包含工件台反射镜组和激光外差干涉仪；工件台反射镜组包含安装在工件台侧面上的与光轴平行的第一平面反射镜，与光轴成一定角度的第二平面反射镜；激光外差干涉仪包含偏振分光棱镜，角锥棱镜，与光轴成...

本发明提供一种激光干涉对比测校装置，其中，该装置主要包括运动平台、激光器组件、５０％分光镜、测量系统和标准系统；其中，标准系统为已知精确的激光干涉测量系统；测量系统与标准系统同时测量运动平台位移，然后通过比较测量结果检测测量系统的精度和...

本实用新型的半导体制冷装置包括一个冷却水腔，与冷却水腔相配合的两个导冷板，分别与两个导冷板相配合的两个散热板，以及分别与两个散热板配合的散热水腔；导冷板的一侧对应设置至少８个大小均匀的凸台，散热板在对应导冷板的一侧设有至少８个凸台，且导...

本发明提供一种提高制冷系统可靠性及效率的温控装置，其包含依次连接的温度采集模块，控制器，功率驱动模块和半导体制冷模块；该温度采集模块由温度传感器和激励源组成；该半导体制冷模块包含２个相同的、由若干制冷片机械连接构成的半导体制冷器；该控制...

本实用新型涉及用于精密加工、集成半导体制造、生物医药加工、光学及图像对准领域的运动平台，特别是一种三自由度精密定位平台。下平台和运动平台之间通过平面滑动轴承相接触，通过安装于下平台上的柔性件支架，用弹性柔性件在三个方向把下平台和运动平台...

本实用新型提出了一种可调移动垫铁，其包括一具有下斜面的上块，一具有上斜面的下块，该上斜面与上述下斜面可相对滑动；一螺杆，该螺杆的一端安装在该下块的一侧，并且该端依次安装有一六角法兰螺母，该螺杆的另一端沿轴向延伸入该上块的内部；复数个压入...

本发明提出一种主动减振隔振装置和由该主动减振隔振装置组成的减振隔振系统。本发明所揭露的主动减振隔振装置包括：具有密封活塞的气腔；倒立摆，其一端与所述活塞固定连接；承载部件，其与所述倒立摆的另一端固定连接；垂向直线执行器设置于所述承载部件...

本发明提供了一种精密机械设备减震器，包括四组柔性单元，呈十字排列；一块上板以及一块下板分别与四组柔性单元的上下接触面连接，形成夹层结构。柔性单元包括四个承压块、若干橡胶块以及两个双斜面连接块，呈Ｘ型结构。本发明结构简单，两层的对称结构受...

本实用新型为一种精密提升装置，包括承载板（４），提升机构（６），上面板（６０１），下面板（６０２），驱动装置（１９），其中提升机构（６）由两个以上的提升单元并联组成，所述的提升单元由两个Ｘ型桁架通过铰链连接，所述的驱动装置（１９）装配在...

本实用新型涉及一种快速提升装置，包括支架、提升器、上夹板、下夹板、导向法兰；提升轴，其上端部设有与上圆锥轴承相配合的圆锥型端头，其中部穿过下圆锥轴承、导向法兰，下端与提升器固定连接，提升轴相应于下圆锥轴承处固定有锥套；提升轴上设有键槽；...

本发明为一种精密提升装置，包括承载板（４），提升机构（６），上面板（６０１），下面板（６０２），驱动装置（１９），其中提升机构（６）由两个以上的提升单元并联组成，所述的提升单元由两个Ｘ型桁架通过铰链连接，所述的驱动装置（１９）装配在所述...

一种滚动支撑千斤顶，包括，底座（４）、位于底座（４）上的可提升轴、位于底座（４）上外螺纹处的升降套筒（６）以及位于可提升轴顶端的顶端滚子。该滚动支撑千斤顶能在零件被支撑的情况下，实现定位。

本发明提供一种剪式提升装置，其包括承载板、底板、两组呈Ｘ状交叉相连的连杆、连杆驱动部件；所述的两组连杆，其中一对同向连杆的下端通过驱动滑块与底板滑动连接，上端与承载板固定连接，另一对同向连杆的上端通过滑块与承载板滑动连接，下端与底板固定...

一种升降式推车，其特征在于，包含底座机构和上支架机构，还包含连接所述底座机构和上支架机构的若干升降锁紧机构，以及设置在所述上支架机构上的若干工件升降锁紧定位机构。本发明提供的一种升降式推车，升降高度可调、牢固、载重量大，在工作时间不松动...

本实用新型公开了一种可折叠悬臂起重设备，旨在满足狭窄空间的运输和起吊。本实用新型的折叠悬臂起重设备包括：底座，安装于底座上的纵向支架，纵向支架上端通过旋转关节连接的悬臂，以及悬臂远离纵向支架的一端连接的吊具，所述设备的悬臂包括至少两节悬...

本发明提供了一种提高机械手示教效率的方法，可有效解决片库安装误差对机械手传输的影响，提高机械手示教效率。所述方法包括步骤１：定义自定义坐标系，将机械手示教的片库的物理坐标系存入自定义坐标系的数据结构；步骤２：分别示教机械手在自定义坐标系...

一种抓手角度可调的夹取装置，包括，基板、站立腿、抓手、偏心提升机构、夹紧机构和角度调整机构，其中所述的抓手、偏心提升机构和角度提升机构均固定在基板上，所述的抓手与偏心提升机构相连，所述的角度调整机构和夹紧机构均安装在抓手上，所述的站立腿...

一种三自由度高精密定位运动台装置及定位方法，该运动台装置除包含运动平台外，还包含水平丝杠电机，第一垂直丝杠电机和第二垂直丝杠电机，以及各自对应设置的Ｈｏｍｅ位置传感器；该运动台装置的定位方法通过采用水平方向，垂直方向及旋转角度的三自由度...