【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种距离测量系统，特别涉及一种双频干涉测量系统。
技术介绍
双频激光干涉测量系统才艮据光学干涉原理，通过光学和电子细分技术，可 以进行高速高精密的位移测量，如果与不同的附件组合，还可以进行长度、速 度、角度、平面度、直线度等测量，具有测量范围大、分辨率高、精度高等优 势。作为一种超精密的非接触式测量设备，激光干涉测量系统在半导体制造、 精密机床加工、军事航天、汽车制造、坐标测量等领域都具有非常广泛的用途。尽管双频激光干涉仪可以达到纳米甚至亚纳米的分辨率，但它的测量精度 却受很多因素的影响，如环境误差、余弦误差、阿贝误差等，导致实际测量时 达到的精度常常是微米量级，甚至更差。这其中，环境误差又是影响测量精度 的最主要因素。环境误差产生的原因在于测量光路上空气折射率在不断波动。由于双频干 涉测量给出的是干涉仪参考臂与移动臂之间的光程差，因此其物理路径长度是 光程除以光束通过路径上空气的平均折射率。在实际应用中，沿测量路径的空 气折射率经常会因温度、压力以及气流的波动(尤其在运动台进行往复运动时) 而变化，导致测量结果出现误差。必须对此加以实时补偿修正...
【技术保护点】
一种使用实时环境补偿方法的超精密双频干涉测量系统，包括：激光器；测量干涉仪；被测物体；第一光电接收元件；第一计数电路；所述激光器发出的光束进入所述测量干涉仪后照射所述被测物体反射回到所述测量干涉仪，经 过所述测量干涉仪的干涉的光束经所述第一光电接收元件转换后进入所述第一计数电路，所述激光器、测量干涉仪、第一光电接收元件、第一计数电路构成测量光路；其特征在于，还包括：补偿分光镜；测量补偿干涉仪；参考镜； 第二光电接收元件；第二...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张晓文，池峰，陈勇辉，陈飞彪，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，上海微高精密机械工程有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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