一种平面镜调整装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种平面镜调整装置，包括用于固定镜片组件的基座、设于所述基座上的调整组件，还包括至少一个设于基座上的预紧组件，所述调整组件包括球面副、支撑板和电机组件，所述镜片组件反射面的光轴中心线通过球面副的球心，所述球面副的活动端通过所述支撑板与所述电机组件连接，所述镜片组件通过所述支撑板与所述球面副的活动端连接。本实用新型专利技术通过设置预紧装置，调整系统的预紧力，从而改善系统的稳定性和模态，稳定性好，响应速度快；采用球面副配合，调整范围较大，同时采用直线电机驱动，数据分析和建模简单，控制简单方便，提高了系统的重复定位精度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及集成电路装备制造
，具体涉及一种平面镜调整装置。
技术介绍
平面镜(如反射镜、分束器等)是光学系统的重要组成部分，随着对成像质量要求的不断提高，镜片的调整精度也需相应提高，否则将影响整个光学系统的成像质量。平面镜由于其工作面为平面，对于其平移精度要求不高，然而其倾角的变化则会引起中心光线反射点的位置发生改变，从而致使局部光程发生偏移，因此对平面镜倾斜度的调整精度要求相当高。传统的平面镜调整装置，通常采用轴向三点支撑的调整方式或采用双层轴承旋转方式。其中轴向三点支撑调整比较简单，但两个方向的倾斜调整相关联，数据分析和建模困难，从而导致控制难度增大，调整时间延长。而双层轴承旋转方式则对轴承的安装精度有很高的要求，且由于轴承本身存在游隙，很难实现较高的调整精度。针对以上问题，现有技术中提供了一种反射镜精密调整装置。该技术中提供了消隙机构，即两个镜环之间采用簧片组件连接，以消除该装置的装配间隙，同时，在电机与接触点之间采用弹簧预紧，消除了运动间隙。然而该技术依然存在以下几个问题：一是由于簧片组件本身的变形范围有限，因此很难实现大范围的调整；二是由于簧片组件本身受到变形影响，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平面镜调整装置，包括用于固定镜片组件的基座、设于所述基座上的调整组件，其特征在于，还包括至少一个设于基座上的预紧组件，所述调整组件包括球面副、支撑板和电机组件，所述镜片组件反射面的光轴中心线通过球面副的球心，所述球面副的活动端通过所述支撑板与所述电机组件连接，所述镜片组件通过所述支撑板与所述球面副的活动端连接。

【技术特征摘要】
1.一种平面镜调整装置，包括用于固定镜片组件的基座、设于所述基座上的调整组件，其特征在于，还包括至少一个设于基座上的预紧组件，所述调整组件包括球面副、支撑板和电机组件，所述镜片组件反射面的光轴中心线通过球面副的球心，所述球面副的活动端通过所述支撑板与所述电机组件连接，所述镜片组件通过所述支撑板与所述球面副的活动端连接。2.根据权利要求1所述的平面镜调整装置，其特征在于，所述电机组件设置有两个，且呈直角分布。3.根据权利要求2所述的平面镜调整装置，其特征在于，所述预紧组件设于两个所述电机组件形成的直角内侧。4.根据权利要求1所述的平面镜调整装置，其特征在于，所述调整组件还包括与所述基座连接的固定板，两端分别与所述固定板和所述支撑板连接的弹簧板，以及设于所述调整组件和所述镜片组件之间的隔离罩。5.根据权利要求4所述的平面镜调整装置，其特征在于，所述球面副包括设于所述固定板上的球面座、以及两端分别连接所述球面座和所述支撑板的球面件，所述球面座的工作面为凹球面，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏海业，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31