一种可动镜片调整机构制造技术

本发明专利技术公开一种可动矩形镜片调整机构，包括：支撑基座、2侧的柔性块、所述矩形镜片、至少一个电机和若干的弹簧座和拉簧，所述柔性块固定在所述支撑基座上，所述支撑基座用于支撑所述矩形镜片；其特征在于，所述柔性块为对称结构且有8处开槽。与现有技术相比较，本发明专利技术可动镜片调整机构通过在矩形镜片的两条短边处各布置一个双平行四边形铰链机构，保证整个运动机构只有一个自由度，结构简单，稳定可靠。

【技术实现步骤摘要】


本专利技术涉及一种集成电路装备制造领域,尤其涉及一种可动镜片调整机构。

技术介绍

在光刻投影物镜中，由于镜片的制造和装配误差，使得物镜的成像像质变差，为了解决这一问题，一般采用可动镜片以补偿镜片的制造和装配误差。美国专利US2008/0204905,可动镜组由三个均布的柔性块支撑，通过柔性块的弹性变形实现可动镜片的移动。中国专利CN200810204974，可动镜组由三个均布的杠杆机构支撑，通过杠杆的转动实现可动镜片的移动。
上述两个专利，在实现上有一定的局限性，结构比较复杂，且需要三点均布支撑镜片，通过调整三个支撑点的位置，实现镜片的运动，这两种结构适用于调整圆形镜片，但对应长条形矩形镜片，一般从结构布局上无法实现三点支撑。

技术实现思路

为了克服现有技术中存在的缺陷，本专利技术提出一种可动镜片调整机构，用以解决现有像差补偿机构结构复杂的问题。
为了实现上述专利技术目的，本专利技术公开一种可动矩形镜片调整机构，包括：支撑基座、2侧的柔性块、所述矩形镜片、至少一个电机和若干的弹簧座和拉簧，所述柔性块固定在所述支撑基座上，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可动矩形镜片调整机构，包括：支撑基座、2侧的柔性块、所述矩形镜片、至少一个电机和若干的弹簧座和拉簧，所述柔性块固定在所述支撑基座上，所述支撑基座用于支撑所述矩形镜片；其特征在于，所述柔性块为对称结构且有8处开槽。

【技术特征摘要】
1.一种可动矩形镜片调整机构，包括：支撑基座、2侧的柔性块、所述矩形镜片、至少一个电机和若干的弹簧座和拉簧，所述柔性块固定在所述支撑基座上，所述支撑基座用于支撑所述矩形镜片；其特征在于，所述柔性块为对称结构且有8处开槽。
2.如权利要求1所述的可动矩形镜片调整机构，其特征在于，所述柔性块由若干杠杆组合并设置有一边重叠的双平行四边形铰链机构组成。
3.如权利要求1所述的可动矩形镜...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭云平，王洪尊，马很很，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31