本发明的电气膜体的制造方法以短时间高效率且高精度地形成薄膜电阻等元件。该电气膜体的制造方法是将膜体形成为符合所希望的电气特性的形状的电气膜体的制造方法，其具有以下工序：在基板层上形成电气膜体的成膜工序，测量在该成膜工序中成膜的电气膜体的...

本发明提供一种吸附台。吸附台用于保持显示面板，其包括：支承台，其具有开设有负压开口的吸附面；多个升降条，其配置为横穿吸附面；多个凹部，该多个凹部彼此并行地设置在吸附面上，以便将升降条收容在支承台内而使升降条不会自吸附面突出；支承机构，其...

本发明提供能够不会造成结构的复杂化且在不会使较强的应力局部地作用于显示面板地使该显示面板在被交接时在吸附面上升降的吸附台。本发明的吸附台用于保持显示面板，其中，该吸附台包括：支承台，其具有开设有负压开口的吸附面；多个升降条，其以横穿上述...

本发明提供一种检查装置，其可以使连接配线构造简单，且容易进行等长度配线。该检查装置至少包括：具有分别与半导体晶片的每个检查对象芯片对应排列的、与各芯片的多个电极接触的多个探针的探针卡；和分别与该探针卡的上述各探针电连接、并将来自测试机的...

本发明的课题为提供一种能够在晶片状态下对在晶片基板的两面具有电极的半导体器件的特性进行高精度测定的半导体器件的检查装置及其所使用的吸盘台。本发明通过提供如下的半导体器件的检查装置来解决上述课题，所述检查装置具有表面电极用探针以及背面电极...

本发明的课题在于提供一种能够防止探针或半导体器件的通电所引起的温度上升、能够进行正确测定的电力用半导体器件检查用探针组件和使用其的检查装置。本发明通过提供如下的电力用半导体器件检查用探针组件和使用其的检查装置来解决上述课题，该电力用半导...

本发明提供一种具有优良高频特性且维护容易的平衡信号传输用的探针，及具备该探针的探针卡和探针装置。通过提供以下的探针块，及具备该探针块的探针卡以及探针装置来解决上述课题，所述探针具备：设有第一槽的导电性的基座构件；2根一对的信号用探针材料...

本发明提供一种提高扩张晶片上的发光元件的光学特性的检测效率，使每单位时间的检测个数增多的发光元件的检测装置及检测方法。本发明的课题通过以下的检测装置及采用该检测装置的检测方法来解决。该检测装置包括：晶片卡盘台，其具备多个晶片卡盘；位置测...

本发明提供一种晶片的分离方法及分离装置，其在从呈多片晶片层叠的状态的层叠晶片组分离晶片、将分离后的晶片一片一片地移动运载到规定部位的作业中，通过尽量不对分离的晶片施加因摩擦、变形等而产生的应力而防止破损，由此能够进一步提高晶片的合格率、...

本发明涉及一种绝缘测定用探针单元以及绝缘测定装置，可以在短时间容易地且高精度地检查基板的周边部的残膜。绝缘测定用探针单元测定基板表面的内侧部和周边部之间的绝缘状态。该绝缘测定用探针单元包括：面探针，其形成为与上述基板表面的周边部相同的形...

本发明提供探测装置及其制造方法。其能够防止探测装置的接触电极相对于被检查体的电极发生位置错位。探测装置包括：布线板，其具有挠性；支承体，其用于支承该布线板；间隔维持构件，其被安装于布线板。上述布线板包括：多条布线，其设于该布线板的一个面...

本发明涉及一种触头和电连接装置，用于改善电气接触性，提高耐久性，降低成本。该触头包括：与一个部件接触的板状的第一插棒；板状的第二插棒，在与该第一插棒重叠的状态下，与另一部件接触，与所述第一插棒协动以使得所述一个部件与另一个部件之间电导通...

本发明提供一种能够长时间持续形成稳定的布线的布线形成装置。在利用膏材料附着装置将膏材料供给到绝缘基板上而形成布线图案的布线形成装置中，上述膏材料附着装置包括：雾化装置，其用于使上述膏材料雾化；喷嘴，其用于将利用该雾化装置雾化了的膏材料喷...

本发明提供一种不用缩小带槽杆的槽的间距就能以狭窄间距配置探针的探针组合体。探针组合体包括：支承片；多个探针，其包括带状的安装区域、自该安装区域向前方延伸的前部区域、和自该前部区域向下方突出的前端针尖，该多个探针在上述安装区域的宽度方向成...

本发明提供一种平板状被检查体的检查装置，其无需更换面板支承座并且不管被检查体是否具有偏光板都能够正确地检查被检查体，该平板状被检查体的检查装置包括：第1底座，其具有第1开口；4个第2底座，其共同形成与第1开口相对的第2开口；以及至少1个...

本发明提供一种无需缩小狭缝杆的狭缝的间距就能够以窄间距配置探针的探针组合体。在探针组合体中，具有在左右方向上隔开间隔并向下方开放的多个第１狭缝的第１狭缝杆配置在支承片的顶端部下侧，具有在左右方向上隔开间隔并向下方开放的多个第２狭缝的第２...

本发明提供了一种探测单元相对平行度调整装置，其能够在短时间内确认探测单元相对于在带状电极的宽度方向并列设置有带状电极的板构件是否平行，并在短时间内对其平行度进行调整。本发明的探测单元相对平行度调整装置包括：对探测单元相对于板构件的平行度...

本发明提供一种电气处理装置及方法、以及探测单元。本发明涉及一种包含具有吸附水的性质的材料的薄膜太阳能电池的电气处理装置。而且，本发明的电气处理装置包括：薄膜太阳能电池的电气处理所采用的探测单元；和吸引机构，其在采用所述探测单元对所述薄膜...

本发明提供一种电池短路部去除电压确定装置，其能够不造成不必要的损坏以有效去除短路部，其确定电池短路部去除装置通过施加反向偏压去除电池的短路部，所述电池具有一个或多个电池单元，所述电池单元在基板上依次层叠有第一电极、作为电力发生部的中间层...

本发明的目的在于提供一种能以低价的手段高精度地检测缺陷像素的地址的缺陷像素检测方法和装置。其使用可以对作为检查对象的显示面板的一部分进行拍摄的、能够移动的拍摄装置，使该拍摄装置移动对被发现的缺陷像素进行拍摄，根据在被拍摄的图像上确定了缺...