探测单元相对平行度调整装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种探测单元相对平行度调整装置，其能够在短时间内确认探测单元相对于在带状电极的宽度方向并列设置有带状电极的板构件是否平行，并在短时间内对其平行度进行调整。本发明专利技术的探测单元相对平行度调整装置包括：对探测单元相对于板构件的平行度进行调整的倾斜度调整机构；检测探测单元和板构件之间的距离的多个传感器；传感器输出取得单元，其取得探针和带状电极相对接近并接触前后的来自各传感器的输出；调整参照信息形成单元，其根据取得的各传感器的输出，形成在探测单元的平行度调整中所参照的信息。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种探测单元相对平行度调整装置、探测单元相对平行度调整方法、 记录了探测单元相对平行度调整程序的记录介质、探测单元以及板输送构件，其可以适用于例如测定太阳能电池板的特性、检测短路部、或者去除短路部的装置。
技术介绍
在制造使用非晶半导体等的薄膜太阳能电池板时，例如，在夹着用于发电的光电转换半导体层的基板侧电极和背面电极的电极之间、2个背面电极之间或者各层内等有时会产生短路部。例如，薄膜太阳能电池板是在1块玻璃基板上并列设置多个层叠有基板侧电极、光电转换半导体层以及背面电极的太阳能电池单元。例如，在基板上层叠基板侧电极、光电转换半导体层、背面电极等的工序对于多个太阳能电池单元是共通的，再将各层 (含有电极)利用激光等切分，在相邻的太阳能电池单元之间形成沟槽(划线槽)，从而形成多个太阳能电池单元。有时该切槽工序不适当，可能会在相邻的太阳能电池单元之间产生短路部，或者在同一太阳能电池单元的基板侧电极和背面电极之间产生短路部。例如，在制造工序中，由于在光电转换半导体层形成小孔，或者混入杂质，可以会使相邻的太阳能电池单元之间或者同一太阳能电池单元的基板侧电极和背面电极之间产生短本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种探测单元相对平行度调整装置，其能够调整探测单元相对于板构件的相对平行度，在所述板构件上设置有沿带状电极的宽度方向并列设置的多个所述带状电极，在所述探测单元上设有下降时与所述各带状电极接触的探针，所述探测单元相对平行度调整装置的特征在于，包括：对所述探测单元相对于所述板构件的平行度进行调整的倾斜度调整机构；检测部位不同的多个传感器，其至少能够检测所述探测单元和所述板构件之间的距离；传感器输出取得单元，其取得从所述探针和所述带状电极之间从非接触状态开始到相对地接近并接触为止的位置变化期间中至少接触前后的来自所述各传感器的输出；和调整参照信息形成单元，其根据所述传感器输出取得单元所取得的所述...

【技术特征摘要】
2010.03.23 JP 2010-0663231.一种探测单元相对平行度调整装置，其能够调整探测单元相对于板构件的相对平行度，在所述板构件上设置有沿带状电极的宽度方向并列设置的多个所述带状电极，在所述探测单元上设有下降时与所述各带状电极接触的探针，所述探测单元相对平行度调整装置的特征在于，包括对所述探测单元相对于所述板构件的平行度进行调整的倾斜度调整机构；检测部位不同的多个传感器，其至少能够检测所述探测单元和所述板构件之间的距离；传感器输出取得单元，其取得从所述探针和所述带状电极之间从非接触状态开始到相对地接近并接触为止的位置变化期间中至少接触前后的来自所述各传感器的输出；和调整参照信息形成单元，其根据所述传感器输出取得单元所取得的所述各传感器的输出，形成在所述探测单元的平行度调整中所参照的信息。2.一种探测单元相对平行度调整方法，其用于调整探测单元相对于板构件的相对平行度，在所述板构件上设置有沿带状电极的宽度方向并列设置的多个所述带状电极，在所述探测单元上设有下降时与所述各带状电极接触的探针，所述探测单元相对平行度调整方法的特征在于，设置对所述探测单元相对于所述板构件的平行度进行调整的倾斜度调整机构，并预先设置至少能够检测所述探测单元和所述板构件之间的距离的、检测部位不同的多个传感器，传感器输出取得单元取得来自所述各传感器的输出，该输出是在所述探针和所述带状电极之间从非接触状态到相对地接近并接触为止的位置变化期间、至少接触前后的输出； 调整参照信息形成单元根据所述传感器输出取得单元所取得的所述各传感器的输出， 形成在所述探测单元的平行度调整中...

【专利技术属性】
技术研发人员：宇田隆，池谷武久，町田洋，
申请(专利权)人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP