本发明提供一种在杆构件(3)与螺帽构件(2)之间组入缓冲机构，却能够达成装置整体的小型化的进给螺杆装置，该进给螺杆装置包括：螺杆轴(1)；螺帽构件(2)，其在外周面具有凸缘部(23)，并且装配在上述螺杆轴(1)；带有中空部杆构件(3)，...

本发明用以提高对于被保持在部件的能够转运位置的托盘的部件转运作业效率。本发明的转运装置在以规定间隔容纳多个部件的托盘被搬运的搬运区域与部件搬入搬出位置之间转运部件，包括：第一搬运单元，其设于搬运区域，保持托盘在搬运方向上的一侧并搬运托盘...

一种构成搬运半导体晶片的机器人臂的手的手构件，所述手构件是载置所述半导体晶片的U字形的构件，所述手构件在其内周缘部和外周缘部配备有嵌合部，保持所述半导体晶片的摩擦保持构件从侧方与所述嵌合部嵌合。

一种制造装置以及制造方法，其一边更可靠地保持面板一边防止气泡的混入。制造装置是将第一面板和第二面板粘合制造层叠体的制造装置，其中具备：保持前述第一面板的第一保持单元；在前述第一面板的下方保持前述第二面板的多个第二保持单元；从被保持在前述...

本发明的课题在于更可靠地保持面板并防止气泡的混入，是一种保持单元，对相互贴合的面板中的一方的面板进行保持，包含具备多个供气排气路径的支承部件和被所述支承部件支承并与面板接触的接触部，所述接触部包含多个开口部和能够在与面板的中央部对应的位...

一种制造方法、加工装置及钻头。本发明的加工装置具备旋转驱动切削工具的加工单元；和可在前述切削工具的轴方向移动前述加工单元的移动单元，前述切削工具具备形成第一孔的第一钻头；和形成与前述第一孔相比为大径的第二孔的第二钻头，前述第二钻头绕前述...

提供一种翻转装置，与翻转对象物的大小差异的对应容易等通用性优秀，即使翻转对象物的下表面的高度位置发生变化的情况下，与其变化的对应也容易。工件翻转装置具备保持板状或者片状的工件的保持部(10)；将保持部支承为能够翻转的支承部(11)；以及...

一种保持吸嘴，所述保持吸嘴由负压吸附保持工件，其中，具备在一方侧设置了吸附前述工件的吸附部的吸附部件；与负压产生源连接，具备收容前述吸附部件的另一方侧的收容部，进退移动自由地支承前述吸附部件的支承部件；和将前述吸附部件向前述进退移动的前...

本发明提供搬送装置、搬送系统和搬送方法，搬送装置相对于处理装置搬入搬出工件，具备：本体部，能够沿水平方向移动；臂部，相对于该本体部能够转动地设置；手部，相对于该臂部能够转动地设置，把持上述工件；以及控制部件，与上述处理装置正对着的上述手...

本发明提供一种压入装置，其可与多个压入部位对应。本发明的压入装置，具备在水平方向可移动地被支承的可动工作台；保持工件的保持单元；相对于前述可动工作台，可相对地水平移动地支承前述保持单元的水平移动机构；将零件向下方向压入被保持在前述保持单...

本发明提供一种涂敷方法、涂敷装置、制造方法及制造装置。涂敷方法是将液状的光硬化性树脂涂敷在面板的表面上的涂敷方法，其中，在上述面板的上述表面的周边缘部形成了表面高度的台阶，上述涂敷方法，包含：以具备可输出光硬化性树脂的狭缝状的喷嘴的涂敷...

本发明提供一种收容装置，该收容装置具备在板状被收容构件的厚度方向上分离收容板状被收容构件的多个收容部，具备构成所述收容装置的壁体、以及分别具备所述收容部并沿所述壁体的壁面邻接配置的多个分区部，所述多个分区部分别具备与邻接的所述分区部卡合...

本发明为工件形状测定系统及控制方法，课题是提高工件的形状检测精度。工件形状测定系统具备保持装置、检测装置和移动装置；该保持装置对板状的工件进行保持；该检测装置相对于被保持于保持装置的工件离开规定距离地设置，对该工件的形状进行检测；该移动...

本发明涉及制造方法及制造装置。本发明由更简易的结构实现从两面板的搬运到面板彼此的对位。具备分别检测各面板的位置的位置检测工序和沿规定的方向朝作业区域分别搬运各面板的搬运工序。在设定工序中，基于各面板的位置检测结果控制各面板的搬运量，以便...

本发明的试验装置是在模拟的驱动状态下对具备了包含进气口及排气口的多个口的多气缸发动机进行试验的试验装置；该试验装置具备多个压力检查单元和至少一个开闭机构。上述多个压力检查单元分别具备与上述多个口中的一个连接的配管、对上述配管内的压力进行...

本发明的输送系统，是将载置工件的多个工件载置部呈矩阵状地配置的托架以水平姿势进行输送的输送系统，其特征为，具备输送前述托架的多条输送线的第一输送部；具备输送来自前述第一输送部的前述托架的至少1条输送线的第二输送部；在前述第一输送部与前述...

本发明提供一种停止装置及辅助停止单元。该停止装置是与输送中的工件抵接而使工件停止的停止装置，具备：可与输送中的上述工件抵接而将上述工件停止在规定的停止位置的停止杆；朝向上述工件的输送方向的下游侧地在规定的范围内可转动地支承上述停止杆的可...

本发明提供对工件进行输送的输送装置。此输送装置具有托板、输送机、以及上下摆动抑制导向构件；该托板对上述工件进行支承；该输送机从下方支承上述托板的与输送方向正交的方向的一方侧、并且具有对上述托板进行输送的输送辊部及驱动该输送辊部的驱动源；...

本发明提供一种移载方法、保持装置及移载系统。移载方法是从具备载置基板的载置部和紧贴地重叠在上述载置部上面上的罩的载体，移载被保持在上述载置部和上述罩之间的上述基板的移载方法，其特征在于，包含：由保持装置保持上述载置部上的上述基板及上述罩...

本发明提供一种输送单元、减速停止装置、输送系统及控制方法，一种输送单元，是具备在工件(W)的输送方向排列的多个驱动辊(R1、R2)，在由上述多个驱动辊(R1、R2)输送的工件(W)到达了规定的停止位置时，使工件(W)的移动停止的输送单元...