【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及移载方法、保持装置及移载系统。
技术介绍
在向处理装置等输送基板时,如柔性基板的那样比较薄的基板存在产生翘度的情况,存在其输送困难的情况。因此,在由载体保持了基板的状态下向输送目的地输送的方案已被提出。在此情况下,需要从载体仅将基板取出向处理装置等移载的结构。在日本特开2010-272650号公报中,公开了一种将基板的罩卸下并由销顶起基板而取出的装置。在日本特开2010-272650号公报的装置中,需要去掉罩进行移动的工序和取出基板进行移动的工序的2个工序,在基板的移载的效率的方面存在改善的余地。
技术实现思路
专利技术所要解决的课题本专利技术的目的,在于提高基板的移载效率。为了解决课题的手段根据本专利技术,提供一种移载方法,是从具备载置基板的载置部和紧贴地重叠在上述载置部上面上的罩的载体,移载被保持在上述载置部和上述罩之间的上述基板的移载方法,其特征在于,包含:由保持装置保持上述载置部上的上述基板及上述罩的保持工序;和通过移动上述保持装置,从载置部向移载目的地移动上述基板及上述罩的移动工序,在上述保持工序中,以上述罩和上述基板平行的姿势,由上述保持装置的罩保持单元保持上述罩,由上述保持装置的基板保持单元保持上述基板。另外,根据本专利技术,提供一种保持装置,是从具备载置基板的载置部和紧贴地重叠在上述载置部上面上的罩的载体,保持被保持在上述载 ...
【技术保护点】
一种移载方法,是从具备载置基板的载置部和紧贴地重叠在上述载置部上面上的罩的载体,移载被保持在上述载置部和上述罩之间的上述基板的移载方法,其特征在于,包含:由保持装置保持上述载置部上的上述基板及上述罩的保持工序;和通过移动上述保持装置,从载置部向移载目的地移动上述基板及上述罩的移动工序,在上述保持工序中,以上述罩和上述基板平行的姿势,由上述保持装置的罩保持单元保持上述罩,由上述保持装置的基板保持单元保持上述基板。
【技术特征摘要】
2014.01.10 JP 2014-0036751.一种移载方法,是从具备载置基板的载置部和紧贴地重叠在上
述载置部上面上的罩的载体,移载被保持在上述载置部和上述罩之间
的上述基板的移载方法,其特征在于,包含:
由保持装置保持上述载置部上的上述基板及上述罩的保持工序;
和
通过移动上述保持装置,从载置部向移载目的地移动上述基板及
上述罩的移动工序,
在上述保持工序中,
以上述罩和上述基板平行的姿势,由上述保持装置的罩保持单元
保持上述罩,由上述保持装置的基板保持单元保持上述基板。
2.如权利要求1记载的移载方法,其特征在于,
在上述保持工序中,
上述罩保持单元吸附上述罩,
上述基板保持单元吸附上述基板,并且由规定构件进行基板的定
位。
3.如权利要求1记载的移载方法,其特征在于,
在上述保持工序中,
上述罩保持单元吸附上述罩,
上述基板保持单元对上述基板进行非接触吸附,并且限制被进行
了非接触吸附的上述基板的向基板面方向的自由移动。
4.如权利要求1记载的移载方法,其特征在于,
在上述保持工序中,
上述基板保持单元保持上述基板的不与上述罩重叠的部分。
5.如权利要求1记载的移载方法,其特征在于,还包含:
将由上述移动工序向上述移载目的地移动了的上述基板及上述罩
之中的上述基板的保持解除,向移载目的地载置上述基板的工序;
使仅保持上述罩的上述保持装置向移载起始地的上述载置部移动
\t的工序;和
将上述罩重叠在移载起始地的上述载置部上面上的工序。
6.如权利要求5记载的移载方法,其特征在于,还包含:
将移载起始地的上述载置部和重叠在上述载置部上的上述罩输
出,将新的上述载体输入的输入输出工序。
7.一种保持装置,是从具备载置基板的载置部和紧贴地重叠在上
述载置部上面上的罩的载体,保持被保持在上述载置部和上述罩之间
的上述基板和上述罩的装置,其特征在于,具备:
保持上述罩的罩保持单元;
保持上述基板的基板保持单元;和
对上述罩保持单元及上述基板保持单元进行支承的支承单元,
上述支承单元,
以上述罩保持单元在与上述载体接近或离开的方向可位移的方式
支承上述罩保持单元。
8.如权利要求7记载的保持装置,其特征在于,
上述支承单元,具备:
在与上述载体接近或离开的方...
【专利技术属性】
技术研发人员:坂本秀夫,小室秀一,
申请(专利权)人:平田机工株式会社,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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