本发明属于靶材制造技术领域，特别涉及一种铝靶材反溅膜的清理方法。本发明提供的铝靶材反溅膜的清理方法，包括以下步骤：采用包裹材料包裹住未解绑铝靶材中的铝残靶面，得到待清理铝靶材；所述包裹材料不与碱液反应；所述未解绑铝靶材包括铝残靶和铜背板...

本发明提供了一种平面靶材解绑定装置及方法，属于靶材解绑定技术领域。本发明提供的平面靶材解绑定装置可实现平面靶材的解绑定，其中，利用传送装置可以实现平面靶材在各区域的输送，利用红外加热装置可以对平面靶材进行红外加热，实现平面靶材中铟焊料的...

本发明提供了一种溅射靶材的去内应力校正方法，属于靶材制造领域。本发明通过预压使溅射靶材在冷却过程中不发生变形，再利用高频振动的方式释放靶材绑定过程中产生的残余应力，最后进行校直保压处理。相比于传统工艺中的直接保压方法，本发明的方法具有生...

本发明提供了一种低电阻率五氧化二铌热压靶材及其制备方法，属于镀膜材料技术领域。本发明将五氧化二铌粉和铌粉的混合物进行真空预烧结，部分五氧化二铌与铌反应生成一氧化铌和二氧化铌，同时五氧化二铌在真空失氧状态下，生成二氧化铌，得到含一氧化铌的...

本发明提供了一种ITO蒸镀料及其制备方法，属于蒸发镀膜材料技术领域。本发明将铟锡氧化物四边形板材组装为四边形板材组装块体，然后平行于所述四边形板材组装块体的一对平行边对其从上到下进行第一多刀切割，然后平行于所述四边形板材组装块体的另一对...

本发明提供了一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法，属于ITO靶材制造技术领域。本发明将ITO靶材磨削废液进行固液分离，得到含ITO粉末的固体；将所述含ITO粉末的固体进行化学除油，得到ITO粉末和SiC粉末的混合粉末；将所述I...

本发明涉及靶材制备技术领域，提供了一种高压注浆成型装置以及一种ITO旋转靶材的制备方法。本发明提供的高压注浆成型装置包括成型装置、高压注浆装置和抽滤装置；所述的成型装置设置真空抽滤室、树脂外模和可伸缩的树脂内模。本发明将高压注浆与抽滤成...

本发明提供了一种钼晶圆片的磨抛方法，属于磨抛技术领域。本发明的磨抛方法包括以下步骤：将工装安装到双面研磨装置中，并将待磨抛钼晶圆片置于工装的装夹孔内，采用双面研磨装置对待磨抛钼晶圆片进行双面磨抛；所述工装的厚度小于钼晶圆片的目标厚度。本...

本发明涉及溅射靶材制备技术领域，具体涉及一种端部强化旋转靶材及其制备方法。本发明提供的端部强化旋转靶材，包括旋转靶材和固定在所述旋转靶材两端的靶材连接法兰；所述固定的方式为螺纹连接结合导电银胶填充；所述靶材连接法兰包括法兰盘和设置在所述...

本发明提供了一种铝钪合金靶材的及其制备方法和应用及真空自耗电弧炉，涉及靶材制备技术领域。本发明提供的铝钪合金靶材的制备方法，包括以下步骤：将铝源和钪源混合后进行压制和组焊，将所得组焊电极在水冷铜结晶器中进行两次真空电弧熔炼；然后进行重复...

本发明涉及靶材制备技术领域，尤其涉及一种ITO靶材及其制备方法。本发明提供的制备方法，包括以下步骤：分别对氧化铟粉和氧化锡粉进行球磨，得到氧化铟浆料和氧化锡浆料；将所述氧化铟浆料、氧化锡浆料和粘结剂置于储存罐中，利用隔膜泵使储存罐中的物...

本发明涉及靶材制备技术领域，提供了一种高纯金属旋转靶材及其制备方法。本发明提供的高纯金属旋转靶材的制备方法包括以下步骤：将金属铸锭进行真空熔炼，得到熔融金属液；将熔融金属液进行离心铸造后脱模，得到空心铸坯；对所述空心铸坯进行车制，得到旋...

本发明涉及粉末冶金制备技术领域，提供了一种钼铌合金靶材及其制备方法。本发明提供的制备方法包括以下步骤：将钼粉和铌粉混合后压制，得到生坯；所述钼粉的平均颗粒尺寸为2～5μm，铌粉的平均颗粒尺寸≤2μm；将所述生坯进行真空烧结处理，得到钼铌...

本发明提供了一种不易结瘤的ITO溅射靶材及其制备方法，属于靶材制备技术领域。本发明提供的制备方法包括以下步骤：将脱脂后的ITO靶坯依次进行第一烧结和第二烧结，冷却后得到不易结瘤的ITO溅射靶材；所述第一烧结和第二烧结均在氧气通入的条件下...

本发明提供了一种靶材自动化绑定方法，属于靶材绑定技术领域。本发明提供的靶材自动化绑定方法，包括依次进行的检料处理、第一预热处理、金属化处理、第二预热处理和自动化绑定处理，各处理步骤基于自动化设备(检料设备、第一预热设备、金属化设备、第二...

本发明提供了一种铝钪合金靶坯及其制备方法和应用，涉及铝钪合金制备技术领域。本发明提供的铝钪合金靶坯的制备方法，包括以下步骤：将铝源和钪源置于水冷铜坩埚中，抽真空后充入惰性气体，重复进行电弧熔炼，得到熔融合金液；在惰性气体保护下将所述熔融...

本发明提供了一种细晶粒均相高钪含量的铝钪合金烧结靶材及其制备方法和应用，涉及功能材料制备技术领域。本发明方法包括以下步骤：(1)将高纯铝块和高纯钪块混合依次进行真空悬浮熔炼和气雾化，得到雾化铝钪合金粉；所述雾化铝钪合金粉中钪的质量含量为...

本实用新型涉及一种无拼接旋转靶材的钎焊装置，包括电热恒温鼓风干燥箱，所述电热恒温鼓风干燥箱内通过隔板形成有热风通道和加热室，所述电热恒温鼓风干燥箱上设有温控器、加热开关和鼓风开关，所述电热恒温鼓风干燥箱上设有鼓风机，所述鼓风机的送风口与...

本发明提供了一种从ITO蒸镀料切割废液中回收ITO粉末的方法，属于ITO蒸镀料制备技术领域。本发明将ITO蒸镀料切割废液进行固液分离，将所得固体依次在柴油和阴离子表面活性剂水溶液中浸泡洗涤后，得到初始粉末；将所述初始粉末进行碱煮，得到混...

本实用新型公开一种用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置，校正平台安装在设备底座上方，主油缸系统包括主油缸支架和滑动安装在主油缸支架上的主油缸，主油缸支架通过第一运动驱动机构安装在设备底座上；靶材顶出油缸系统包括两个以上靶材顶出油缸，各...