本发明涉及一种无拼接旋转靶材的钎焊方法，具体为：利用超声波焊头将钎焊料高频振荡进入靶管内表面和背管的外表面；将靶管和背管安装于定位底座上，再将钎料盘连接于靶管的上方端部；将组装好的钎焊装置置于电热恒温鼓风干燥箱内，通过温控器设定温控升温...

本发明涉及靶材绑定技术领域，具体涉及一种平面靶材的绑定方法。本发明提供的平面靶材的绑定方法，包括以下步骤：将背板、绑定材料和靶坯依次叠层放置，进行真空绑定，得到绑定后的平面靶材。本发明利用绑定材料与背板之间，绑定材料与靶坯之间的毛细和扩...

本发明涉及一种旋转铌残靶的修复方法，包括以下步骤：步骤一：修复前处理：采用机加工将旋转铌残靶表面的凹凸层去除，形成表面平整的旋转铌残靶；步骤二：对步骤一加工后的旋转铌残靶的表面进行等离子清洁活化，将旋转铌残靶固定在旋转喷涂工装上，旋转铌...

本发明提供了一种镀膜材料及其制备方法和应用，属于镀膜材料技术领域。本发明提供的镀膜材料的制备方法，包括以下步骤：将五氧化三钛、三氧化二铝和粘结剂混合，依次进行压制、破碎、压片成型和真空烧结，得到镀膜材料。本发明提供的制备方法制备的镀膜材...

本发明公开一种用于溅射靶材翘曲度自动校正与测量的装置，校正平台安装在设备底座上方，主油缸系统包括主油缸支架和滑动安装在主油缸支架上的主油缸，主油缸支架通过第一运动驱动机构安装在设备底座上；靶材顶出油缸系统包括两个以上靶材顶出油缸，各靶材...

本发明涉及一种试验机中使用的平面小规格溅射靶材的绑定方法，包括以下步骤：步骤一：铜背板和靶胚预处理：分别对铜背板和靶胚的绑定面进行喷砂处理；步骤二：高温胶制备：将双组份硅酮弹性体搅拌；步骤三：绑定处理：选取绑定层，将制备好的高温胶均匀涂...

本发明涉及一种低氧含量钼粉的制备方法，包括以下步骤：以2‑10微米钼粉为原料，通过冷等静压机150‑300MPa成型，然后用磨盘机破碎至100‑200目并过100目筛，将粉末在1000‑1500℃氢化处理，保温1‑5h，粉末降温至室温后...

本发明提供了一种抽滤成型装置以及制备ITO平面靶材的方法，属于光电材料成型技术领域。本发明提供了一种抽滤成型装置，包括树脂模具；与所述树脂模具的进料口相连通的浆料压注设备；与所述树脂模具的抽滤口相连通的抽滤设备；所述树脂模具的内侧设置有...

本发明提供了一种金属旋转靶材及其制备方法和应用，属于集成电路和平面显示制造技术领域。本发明提供的金属旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：将金属板坯依次进行铣削、轧制、再结晶处理和车铣，得到金属靶坯；将所述金属靶坯依次进行弯曲变形和对焊，得...

本发明提供了一种离心成型装置以及制备ITO旋转靶材的方法，属于光电材料成型技术领域。本发明提供了一种离心成型装置，包括离心装置；与所述离心装置相连的电动机；与所述离心装置相连的抽真空装置；所述离心装置内设置有树脂模具；所述树脂模具包括树...

本发明提供了一种掺杂氧化锡的银靶材及其制备方法和应用，属于靶材制备技术领域。包含0.05～1.0％质量百分含量的氧化锡，余量为银。本发明中，氧化锡是一种n型宽禁带半导体，在电磁波可见光范围内吸收率很小而具有极高的透射率，在可见光区透过率...

本发明提供了一种银铜合金靶材及其制备方法，属于溅射靶材技术领域。本发明提供的银铜合金靶材的制备方法，包括以下步骤：将铜和银在保护气氛下进行熔炼，得到液态合金；将所述液态合金进行喷射沉积处理，得到银铜合金铸锭；将所述银铜合金铸锭依次进行均...

本发明提供了一种溅射靶材及其制备方法和装置，属于溅射靶材制造领域。本发明提供的制备方法，包括以下步骤：在惰性气氛下，将金属粉末同步送粉至激光光斑处进行激光金属熔覆处理后进行冷却，得到溅射靶材。本发明采用激光金属熔覆工艺，利用激光光斑将同...

本发明提供了一种铜背板水路的电镀防护装置及方法，属于靶材制备技术领域，本发明提供的铜背板水路的电镀防护装置，包括铜背板、外水路管道，镀液槽和直流电源；所述铜背板内设置有铜背板水路，所述铜背板水路通过外水路管道与镀液槽相连形成循环水路系统...

本发明提供了一种铜背板水路的化学镀防护方法，属于靶材制备技术领域。本发明提供的铜背板水路的化学镀防护方法，包括以下步骤：先对铜背板水路进行除油处理；然后向所述除油处理后的铜背板水路通入镀液，进行氧化还原反应，在所述除油处理后的铜背板水路...

本发明公开了一种金属靶材的制备系统，包括：中控台、冷水机组、真空室以及设置在真空室内的工作台、旋转机构、背管、移动机构、送料器和电子枪；工作台两端设置有旋转机构，旋转机构用于安装并固定背管的端部，中控台控制旋转机构带动背管沿圆周方向旋转...

本发明提供了一种Al2O3‑TiOx靶材及其制备方法和应用，属于靶材制备技术领域。本发明提供的Al2O3‑TiOx靶材包含以下百分含量的组分：30wt％～50wt％TiOx和50wt％～70wt％Al2O3；所述TiOx中x为1.8～1...

本发明提供了一种掺杂银的氧化锡靶材及其制备方法和应用，属于靶材制备技术领域。由包括Ag粉体和SnO2粉体制得，所述Ag粉体和SnO2粉体的质量比为1:50～1:100。本发明在氧化锡靶材中掺杂Ag，不仅能改善SnO2基靶材的烧结特性，而...

本发明提供了一种旋转金属靶材及其制备方法和装置，属于靶材制备领域。本发明提供的制备方法包括以下步骤：在真空条件下，对金属管材进行高能电子束区域重熔处理后进行冷却，得到旋转金属靶材。本发明利用高能电子束对金属管材进行区域重熔，同时结合冷却...

本发明涉及磁控溅射靶材制造技术领域，提供了一种细晶粒铝钪合金靶材及其制备方法。本发明首先将分散剂、粘结剂和水混合，得到预混液；然后将纳米级铝粉、纳米级钪粉和所述预混液混合后进行湿法球磨，得到铝钪合金靶材浆料；将所述铝钪合金靶材浆料注浆成...