一种无拼接旋转靶材的钎焊方法技术

本发明专利技术涉及一种无拼接旋转靶材的钎焊方法，具体为：利用超声波焊头将钎焊料高频振荡进入靶管内表面和背管的外表面；将靶管和背管安装于定位底座上，再将钎料盘连接于靶管的上方端部；将组装好的钎焊装置置于电热恒温鼓风干燥箱内，通过温控器设定温控升温曲线，保温时间到之后，自然冷却到室温；待整套装置冷却到室温，将钎料盘上残余的钎焊料用刮刀去除，将钎料盘和定位底座拆除，得到钎焊完成的旋转靶材。本钎焊方法能够解决靶材钎焊过程中靶管和背管加热过程温差的大的问题；本钎焊方法容易控制升温速率，可以避免靶材因升温过快导致开裂的问题。

A brazing method of non splicing rotating target

【技术实现步骤摘要】
一种无拼接旋转靶材的钎焊方法
本专利技术涉及靶材制备
，尤其涉及一种无拼接旋转靶材的钎焊方法。
技术介绍
旋转靶材是用于溅射镀膜制程中的关键材料。由于旋转靶材需要安装在镀膜机上使用，因此需要加工出与镀膜机相连接的结构以便安装，由于一些材料难以加工复杂结构因此需要将靶材材料钎焊在不锈钢背管或钛背管上，在背管上加工连接结构使其能够正常安装。目前已公开的现有技术，是利用不同的加热方式进行靶材和背管的加热并钎焊的方法；如公开号为CN109352109A，专利名称为一种旋转靶材绑定的装置及方法，其记载了一种利用油浴加热背管的方式进行靶材绑定的方法。这种方法能解决加热均匀性问题，但只加热背管，会存在靶管和背管温差过大问题。另如,公开号为CN110218983A，专利名称为一种磁控溅射旋转靶材的绑定方法，其记载了一种通过电热丝加热或者感应加热进行靶材和背管的加热，这种方法升温速率过快容易造成靶材开裂，且该方法仅能绑定多段拼接，单节长度较短的材料。靶材制造企业通常将钎焊表达为绑定，因此在该
，靶材钎焊和靶材绑定是一样的意思。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种无拼接旋转靶材的钎焊方法，其特征在于，包括以下具体步骤：/n步骤一：靶管内表面和背管外表面金属化处理：利用超声波焊头将钎焊料高频振荡进入靶管(10)内表面和背管(12)的外表面，使得靶管(10)的内表面和背管(12)的外表面形成一层钎焊料层，/n步骤二：组装旋转靶材钎焊装置：将靶管(10)和背管(12)安装于定位底座(9)上，靶管(10)套设于背管(12)上，再将钎料盘(11)连接于靶管(10)的上方端部，钎料盘(11)内设有钎料出料孔，钎料出料孔与靶管(10)和背管(12)之间形成的钎焊间隙相通；/n步骤三：加钎焊料：按靶管(10)和背管(12)之间形成的钎焊间隙，计算钎焊所需的理论...

【技术特征摘要】
1.一种无拼接旋转靶材的钎焊方法，其特征在于，包括以下具体步骤：
步骤一：靶管内表面和背管外表面金属化处理：利用超声波焊头将钎焊料高频振荡进入靶管(10)内表面和背管(12)的外表面，使得靶管(10)的内表面和背管(12)的外表面形成一层钎焊料层，
步骤二：组装旋转靶材钎焊装置：将靶管(10)和背管(12)安装于定位底座(9)上，靶管(10)套设于背管(12)上，再将钎料盘(11)连接于靶管(10)的上方端部，钎料盘(11)内设有钎料出料孔，钎料出料孔与靶管(10)和背管(12)之间形成的钎焊间隙相通；
步骤三：加钎焊料：按靶管(10)和背管(12)之间形成的钎焊间隙，计算钎焊所需的理论重量，取重量等于理论重量*1.1的钎焊料置于步骤二所述钎料盘(11)内；
步骤四：钎焊：将组装好的钎焊装置置于电热恒温鼓风干燥...

【专利技术属性】
技术研发人员：林志河，陈钦忠，汪家兵，叶开满，张科，
申请(专利权)人：福建阿石创新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35