一种端部强化旋转靶材及其制备方法技术

本发明专利技术涉及溅射靶材制备技术领域，具体涉及一种端部强化旋转靶材及其制备方法。本发明专利技术提供的端部强化旋转靶材，包括旋转靶材和固定在所述旋转靶材两端的靶材连接法兰；所述固定的方式为螺纹连接结合导电银胶填充；所述靶材连接法兰包括法兰盘和设置在所述法兰盘一面的螺纹杆；所述螺纹杆上设有外螺纹，所述旋转靶材的两端设置内螺纹，所述内螺纹的尺寸与所述螺纹杆上外螺纹的尺寸相配合。本发明专利技术利用螺纹杆上的外螺纹与旋转靶材的端部固定，配合导电银胶提高连接强度，借助法兰盘的高强度，能够有效提高靶材和设备连接部位的强度，相比较一体靶材能够有效避免旋转靶材在安装过程中出现损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种端部强化旋转靶材及其制备方法
本专利技术涉及溅射靶材制备
，具体涉及一种端部强化旋转靶材及其制备方法。
技术介绍
铝靶材适用于直流二极溅射、三极溅射、四级溅射、射频溅射、对向靶溅射、离子束溅射和磁控溅射等，可镀制反光膜、导电膜、半导体薄膜、电容器薄膜、装饰膜、保护膜、集成电路和显示器等。铝靶材要求纯度高，密度高，晶粒尺寸细小。由于旋转靶材的利用率远高于平面靶材，因此，旋转铝靶材的需求量在日渐增加。目前已公开的旋转铝靶材技术，是直接做成一体靶材或端部焊接铝合金法兰。中国专利CN109807452A提供了一种高纯铝旋转靶的端头焊接方法，该方案利用电子束焊接铝合金法兰的方式进行靶材端部强化，这种方法能解决纯铝容易磕伤的风险，但是铝合金法兰相对金属件强度较差，亦存在较大的磕碰伤风险；且利用电子束焊接的方式会存在变形风险，导致产品不良或靶材装机困难的问题。一些高纯金属单质或合金(例如铝、铜、铟、铟锡靶材等)的硬度比较小，如果加工成一体靶材在装机过程容易碰伤和损坏靶材，造成经济损失。因此生产这些材质的旋转靶材需要利用钎焊的方式生产本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种端部强化旋转靶材，包括旋转靶材和固定在所述旋转靶材两端的靶材连接法兰；所述固定的方式为螺纹连接结合导电银胶填充；所述靶材连接法兰包括法兰盘和设置在所述法兰盘一面的螺纹杆；所述螺纹杆上设有外螺纹，所述旋转靶材的两端设置内螺纹，所述内螺纹的尺寸与所述螺纹杆上外螺纹的尺寸相配合。/n

【技术特征摘要】
1.一种端部强化旋转靶材，包括旋转靶材和固定在所述旋转靶材两端的靶材连接法兰；所述固定的方式为螺纹连接结合导电银胶填充；所述靶材连接法兰包括法兰盘和设置在所述法兰盘一面的螺纹杆；所述螺纹杆上设有外螺纹，所述旋转靶材的两端设置内螺纹，所述内螺纹的尺寸与所述螺纹杆上外螺纹的尺寸相配合。


2.根据权利要求1所述的端部强化旋转靶材，其特征在于，所述法兰盘和螺纹杆为一体结构。


3.根据权利要求1或2所述的端部强化旋转靶材，其特征在于，所述法兰盘和螺纹杆的材质为不锈钢或钛合金。


4.根据权利要求1所述的端部强化旋转靶材，其特征在于，所述外螺纹的长度为40～60mm。


5.根据权利要求1或4所述的端部强化旋转靶材，其特征在于，所述外螺纹的螺距为1～3mm；所述外螺纹的公称直径比旋转靶材的内径大3～5mm。

【专利技术属性】
技术研发人员：林志河，张瑜，汪家兵，
申请(专利权)人：福建阿石创新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35