【技术实现步骤摘要】
一种提高ITO靶材坯体强度的方法
本专利技术涉及靶材生产
，特别是一种提高靶材坯体强度的方法。
技术介绍
ITO坯体是由铟锡氧化物制成的坯体，成型技术通常分为干法成型和湿法成型两大类。干法成型是采用先模压再冷等静压的方法制备，湿法成型分为常压注浆成型、压滤注浆成型等方法，注浆成型通常是将预先制备好的ITO浆料浇注到石膏模中，使ITO坯体成型，该方法可得到均匀的板状坯体，因此应用较为广泛。但是，由于ITO靶材坯体的粉末原料属于瘠性原料，粘性较差，且靶材产品对于纯度的要求较高，因此不能使用黏土等添加物，导致制备的ITO靶材坯体脆性较大，抗弯强度较差。为了提高ITO靶材坯体的强度，通常会在注浆浆料中会添加有机粘结剂，但一般的粘结剂在成型初期对坯体的强度有一定提高，随着坯体的逐步干燥，粘结剂的作用会逐渐减弱，导致坯体强度随干燥而降低。并且，ITO坯体后续还要经过脱脂、烧结多个工序，转移过程中容易开裂，成品率低。中国专利CN108298977A公开了一种提高ITO靶材坯体强度的方法，同样是通过向注浆材料中添加粘接...
【技术保护点】
1.一种提高ITO靶材坯体强度的方法，其特征在于，在向石膏模中浇注ITO浆料前，首先配置保护液，然后将保护液涂覆于石膏模型腔表面，然后再浇注ITO浆料，在ITO浆料浇注完成后，在石膏模中裸露的ITO浆料表面喷洒保护液，成型后脱模即可得到表面裹附有固化保护膜的ITO浆料坯体。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种提高ITO靶材坯体强度的方法，其特征在于，在向石膏模中浇注ITO浆料前，首先配置保护液，然后将保护液涂覆于石膏模型腔表面，然后再浇注ITO浆料，在ITO浆料浇注完成后，在石膏模中裸露的ITO浆料表面喷洒保护液，成型后脱模即可得到表面裹附有固化保护膜的ITO浆料坯体。
2.根据权利要求1所述的一种提高ITO靶材坯体强度的方法，其特征在于，所述保护液为水基硅橡胶、固化剂和水的混合溶液。
技术研发人员：王雪涛，宋蕊立，李玉新，
申请(专利权)人：河北惟新科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13
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